Ư¼ö°¡½º ÆǸŠȣÁ¶·Î ¸ÅÃâ 2,000¾ï¿ø µ¹ÆÄ ‘´«¾Õ’
Àü³âÝï 32.5% ¼ºÀå…¼öÀ͵µ ²ÙÁØÇÑ Áõ°¡
¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ Á¦Á¶ °øÁ¤¿ë Ư¼ö°¡½º Àü¹® Á¦Á¶¾÷üÀÎ (ÁÖ)¿øÀ͸ÓÆ®¸®¾óÁî(´ëÇ¥ ÀÌÇö´ö)°¡ Áö³ÇØ Æ¯¼ö°¡½º ÆǸŠȣÁ¶¿Í ÇÔ²² â»ç ÀÌ·¡ ÃÖ´ë ¸ÅÃâ½ÇÀûÀ» ±â·ÏÇß´Ù.
°í¼øµµ ¾Ï¸ð´Ï¾Æ(NH3)¿Í ¾Æ»êÈÁú¼Ò(N2O), ºÒ¼Ò(F2) µîÀÇ ÆǸŠȣÁ¶¿¡ ÈûÀÔ¾î Ç÷¯½º ¼ºÀåÀ» À̾´Ù.
ÃÖ±Ù ¿øÀ͸ÓÆ®¸®¾óÁî°¡ ¹ßÇ¥ÇÑ 2015ȸ°è³âµµ °æ¿µ½ÇÀû º¸°í¼(¿¬°áÀ繫ÀçÇ¥)¸¦ »ìÆ캸¸é ÀÌ È¸»ç´Â Áö³ÇØ 1,924¾ï6,000¸¸¿øÀÇ ¸ÅÃâÀ» ´Þ¼ºÇß´Ù. ÀÌ´Â Àü³â(1,451¾ï5,000¸¸¿ø)´ëºñ ¹«·Á 32.5% Áõ°¡ÇÑ ¼öÄ¡·Î ´ë¸ÁÀÇ 2,000¾ï¿ø´ë ¸ÅÃâÀ» ´«¾Õ¿¡ µ×´Ù.
ÀÌ¿Í ÇÔ²² ȸ»ç´Â Áö³ÇØ ¸ÅÃâÃÑÀÌÀÍÀÌ ´Ã¸é¼ ¿µ¾÷ÀÌÀÍ¿¡¼µµ 333¾ï3,000¸¸¿øÀ» ¿Ã·Á Àü³â(273¾ï4,000¸¸¿ø)´ëºñ 21.9% Áõ°¡ÇßÀ¸¸ç ´ç±â¼øÀÌÀ͵µ Àü³â(200¾ï3,000¸¸¿ø)º¸´Ù 5.9% ´Ã¾î³ 212¾ï2,000¸¸¿øÀ» ±â·ÏÇÏ¸ç ¼öÀ͵µ ²ÙÁØÇÑ ¼ºÀå ÆøÀ» ³ªÅ¸³Â´Ù.
ÀÌ°°Àº ȸ»çÀÇ ½ÇÀû Áõ´ë´Â Áö³ÇØ ¹ÝµµÃ¼ ¹× LED¸¦ ºñ·ÔÇÑ µð½ºÇ÷¹ÀÌ ºÐ¾ßÀÇ È£È² ¼Ó¿¡¼ Ư¼ö°¡½º °ø±ÞÀÌ Áõ°¡Çѵ¥ µû¸¥ °ÍÀÌ´Ù. ƯÈ÷ °í¼øµµ NH3ÀÇ ²ÙÁØÇÑ ¼ö¿ä¿Í ÇÔ²² ¹ÝµµÃ¼ ¹× CVD°øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â µð½Ç¶õ(Si2H6)°ú Ç÷¡½Ã ¸Þ¸ð¸® ¹ÝµµÃ¼¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ¾Æ»êÈÁú¼Ò(N2O) ÇÔ²² ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ ºÐ¾ßÀÇ ¿¡Äª °øÁ¤¿¡¼ °¢±¤ ¹Þ°í ÀÖ´Â ºÒ¼Ò(F2)ÀÇ °ø±ÞÀÌ ´Ã¾ú±â ¶§¹®À¸·Î ºÐ¼®µÈ´Ù. ƯÈ÷ ½ÃÀå¼ö¿ä ¿¹»ó¿¡ µû¶ó N2O¸¦ ºñ·ÔÇØ Àú¸ÞÀÎ(GeH4), Si2H6 ÇÕ¼º°øÀå °Ç¼³, °í¼øµµ ÀÌ»êÈź¼Ò(CO2) Áõ¼³ µî°ú °°Àº ½ÃÀå¼ö¿ä ¿¹Ãø¿¡ µû¸¥ ¼³ºñÁõ¼³·Î ÀÎÇÑ ¼öÀ͵µ ½ÇÀûÀ» µÞ¹ÞħÇß´Ù. ¾Æ¿ï·¯ °¡½º ¼³ºñ°ø»ç½ÇÀûµµ ¸ÅÃâ ½ÅÀå¿¡ ±â¿©ÇÑ °ÍÀ¸·Î ³ªÅ¸³µ´Ù.
Àü¹®°¡µéÀº ¿ÃÇØ ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀåÀÇ È£Á¶¼¼¿Í ¸Â¹°·Á ¿øÀ͸ÓÆ®¸®¾óÁî°¡ ½ÅÁ¦Ç° Ãâ½Ã µîÀÇ È¿°ú·Î ÀÎÇØ ¸ÅÃâ 2,000¾ï¿øÀ» µ¹ÆÄÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ȸ»ç´Â Áö³ÇØ 8¿ù HCDS ¹× HCDS ÇÕ¼º±â¼úÀ» È°¿ëÇÑ Si º£À̽º Àü±¸Ã¼ ±¹»êȸ¦ ÃßÁøÇÏ°í °í°´»çÀÇ ¿ä±¸¿¡ ´ëÀÀ °¡´ÉÇÑ ½Å±Ô¼ÒÀç °³¹ß ´É·Â È®´ë¸¦ À§ÇØ 279¾ï¿ø ±Ô¸ðÀÇ ¿Àâ 3°øÀåÀÇ ½Å±Ô ½Ã¼³ ÅõÀÚ¸¦ ´ÜÇàÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù.
½ÇÁ¦ ¿Àâ 3°øÀå¿¡¼ HCDSÇÕ¼º ¹× Á¤Á¦¸¦ ÅëÇÑ Àü±¸Ã¼ »ý»ê°ú ÀüÀÇ Á¦2°øÀå¿¡¼ ¿¢½Ã¸Ó·¹ÀÌÀú¿ë Ư¼ö°¡½º°¡ Ãâ½ÃµÇ¸é Å« ÆøÀÇ ¸ÅÃâ Áõ´ë°¡ ÀÌ·ïÁú °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù. ´õ¿íÀÌ ÀüÀÇ 2°øÀå ºÎÁö¿¡ ¿¬°£ 7¸¸5,000BTÀÇ »ý»ê´É·ÂÀ» °¡Áø ¼¼°è ÃÖ´ë ±Ô¸ðÀÇ ¿¢½Ã¸Ó·¹ÀÌÀú¿ë Ư¼ö°¡½º Á¦Á¶ ½Ã¼³ÀÌ µé¾î¼°í ´ë±Ô¸ð ¿¬±¸¼Ò±îÁö °Ç¸³µÇ¸é ¸í½Ç»óºÎ ±¹³» ÃÖ´ëÀÇ Æ¯¼ö°¡½º ¸ÞÀÌÄ¿·Î ¿ì¶Ò ¼°Ô µÉ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÇ°í ÀÖ´Ù. |