세계 반도체 장비 재료협회(SEMI)가 주최하는 SEMICON CHINA 2017(FPD China 동시개최)이 지난 3월 14일부터 16일까지 3일간 중국 상하이 뉴엑스포 센터(SNIEC) W1~5 전시관에서 성황리에 개최됐다.

올해로 29회를 맞이한 세미콘 차이나는 중국은 물론 한국, 미국, 일본, 대만, 유럽국가 등 전 세계 20여개국에서 반도체 및 평판디스플레이용 장비 및 소재관련 900여개 업체가 3,000개부스로 참가해 정보 및 기술 각축전을 벌였다.

특히 지난 2월에 열린 세미콘 코리아의 행사분위기가 예년과는 사뭇 다른 역동감을 보였던 탓에 세계 반도체 산업의 이목이 집중되고 있는 세미콘 차이나의 성장세에 기대감이 넘쳐났다는 게 참관객들의 반응이다.

해마다 전시규모가 꾸준히 성장하고 있는 세미콘 차이나는 전 세계의 반도체산업 현황과 기술 및 연구동향 등에 대한 변화를 직접 확인하고 관련정보를 공유 및 홍보를 통해 신규 사업진출을 위한 모티브를 제공하고 있다.

또한 SEMICON과 더불어 FPD가 60,000㎡의 규모에 달하는 W1~W5의 개별 전시관에는 TOUCH, LED & Sapphire, MEMS, IC Manufacturing, ICMTIA 등 각각의 Pavilion으로 구분돼 반도체, 소재, 장비 등 분야별로 부스를 배치해 열띤 홍보의 장을 이뤘다.

이번 전시회도 지난해와 마찬가지로 반도체제조와 관련한 시험, 조립 및 포장재료, 웨이퍼 가공 및 FAB 장비, 가스 및 소재 및 부품과 LED제조 등 SEMI 산업과 태양광 셀, 모듈, 발전 및 빌딩 통합 솔루션, 검사 및 계측, 통합 및 자동화, 모듈, 박막, 웨이퍼, 규소, Monocrystalline 실리콘, 다결정 실리콘, UMG, 등 SOLAR 산업은 물론 이들 모두에 빠짐없이 사용되는 벌크 및 특수가스 산업 등의 업체가 참가했다.

반도체와 태양광 등 소재와 관련한 다양한 산업의 변화속에서도 가스산업의 연관성은 품질에 직접적인 영향을 미치는 만큼 세계적인 다국적 가스업체를 비롯 현지 특수가스업체들의 전시관이 유난히 증가해 다양한 정보를 제공하기도 했다.

산업용 특수가스 관련업체로는 Air Products, SK materials, VERSUM MATRIALS, WONIK MATERIALS, Huate Gas, SAES Pure Gas, Air Liquide, PUJIANG Specialty GAS, LINGGAS, ROTAREX, KC Tech, EDWARDS, SUNGDO E&C, Hanwha Techwin, Swagelok, HANMI, LS, LEENO, SK solmics, KCC, DONGJIN SEMICHEM, Honeywell, CKD 등이 참가해 선의의 홍보각축전을 벌였다.

이와 함께 이번 전시회에 참가한 특수가스 관련업체들은 대부분 Rare Gas, Electronic Gas, Chemical 등 다양한 특수가스와 고순도가스를 포스터와 함께 전시했으며 초저온밸브나 레규레이터 신제품 등을 선보여 눈길을 끌었다. 이중에는 Clean Gas Cylinder, 고순도 벌크공급시스템, 정제기, 밸브 및 캐비닛 등을 선보인 업체들도 있다.

주요 특수가스 참가업체로는 세계 최대의 NF3 생산업체인 SK머티리얼즈가 국내외 생산공장의 생산능력을 강화한다는 입장을 나타냈다. 중국내 생산능력을 기존 설비를 보강해 총 1,500톤 규모로 증설하기 위한 막바지 공사가 한창이며 한국에는 총생산능력 11,100톤 규모를 단계적으로 증설해 나간다는 계획이 진행중이다.

이 회사는 주력제품인 NF3를 비롯 SiH4, WF6, SiH2Cl2, Si2H6 등을 선보였다.

또한 최근 각각 합작설립한 SK트리켐을 통해 반도체용 전구체 제조사업과 SK쇼와덴코를 통해 CH3F 등 반도체 및 디스플레이용 식각가스에 대한 사업전망을 소개하기도 했다.

원익머트리얼즈는 중국 반도체 시장의 성장세에 따라 N2O 제조설비를 중국 현지에 추진한다는 계획으로 시장조사에 나섰으며 초기 투자는 1,800톤 규모로 진행될 것으로 보인다.

N2O는 CVD의 실리콘 표면 코팅작업인 Epitaxy 공정에 주로 사용되며 한국과 중국의 반도체 공장 신증설로 인해 공급부족이 예상되고 있는 것으로 전했다.‘

이밖에도 원익머트리얼즈는 CF4, Cl2, Ne, Xe, GeH4 등의 특수가스와 전구체인 ‘HCDS(Si2Cl6)’, ‘3DMAS’, ‘BDEAS’와 High-k 유전체 전구체 ‘Cp-Zr’ 등의 제품을 선보였다.

또한 글로벌 특수가스업체인 버슘머트리얼즈는 Air Producs와의 분사이후 빠른 속도로 성장하면서 NF3, WF6, N2O, C4F6, PH3 등과 전구체 TEOS, TiCl4, LTO-520 등을 선보였다.

또한 2,400톤 규모의 NF3 연간 생산능력을 보유하고 있는 이 회사는 조만간 추가 증설계획을 발표한다는 입장이며 아시아 시장에 대한 선제적 마케팅에 집중하고 있다고 설명하고 있다.

세계 경기의 부진 속에서도 예년과 다르게 인산인해를 이룬 세미콘 차이나 2017에는 이처럼 특수가스 관련업체들이 다수 참가하면서 여타 장비제조와 반도체산업의 빠른 변화에 비해서 접목되는 제품개발 속도가 상대적으로 더디게 나타나는 특수가스 산업이 공급방식 개선과 공급량 확대, 대처품의 적극적인 개발 등의 대처를 통해 첨단산업의 한 분야로 자리매김하는 모습을 보였다는 평이다.

한편 한국과 중국, 대만 등 아시아를 중심으로 한 세계 반도체 시장의 흐름을 한 눈에 파악할 수 있는 SEMICON China는 올해로 29년째로 중국반도체협회가 설립된 직후인 지난 88년부터 시작돼 중국이 아시아 시장의 중심으로 부각되면서부터 반도체용 제조장비는 물론 특수가스, 소재, 재료, 설비 등을 망라한 세계 최대의 반도체장비 전시회로 자리매김을 하고 있다.