¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ Àç·áÇùȸ(SEMI)°¡ ÁÖÃÖÇÏ´Â SEMICON CHINA 2017(FPD China µ¿½Ã°³ÃÖ)ÀÌ Áö³ 3¿ù 14ÀϺÎÅÍ 16ÀϱîÁö 3ÀÏ°£ Áß±¹ »óÇÏÀÌ ´º¿¢½ºÆ÷ ¼¾ÅÍ(SNIEC) W1~5 Àü½Ã°ü¿¡¼ ¼ºÈ²¸®¿¡ °³ÃֵƴÙ.
¿ÃÇØ·Î 29ȸ¸¦ ¸ÂÀÌÇÑ ¼¼¹ÌÄÜ Â÷À̳ª´Â Áß±¹Àº ¹°·Ð Çѱ¹, ¹Ì±¹, ÀϺ», ´ë¸¸, À¯·´±¹°¡ µî Àü ¼¼°è 20¿©°³±¹¿¡¼ ¹ÝµµÃ¼ ¹× ÆòÆǵð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë Àåºñ ¹× ¼ÒÀç°ü·Ã 900¿©°³ ¾÷ü°¡ 3,000°³ºÎ½º·Î Âü°¡ÇØ Á¤º¸ ¹× ±â¼ú °¢ÃàÀüÀ» ¹ú¿´´Ù.
ƯÈ÷ Áö³ 2¿ù¿¡ ¿¸° ¼¼¹ÌÄÜ ÄÚ¸®¾ÆÀÇ Çà»çºÐÀ§±â°¡ ¿¹³â°ú´Â »ç¹µ ´Ù¸¥ ¿ªµ¿°¨À» º¸¿´´ø Å¿¿¡ ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ À̸ñÀÌ ÁýÁߵǰí ÀÖ´Â ¼¼¹ÌÄÜ Â÷À̳ªÀÇ ¼ºÀå¼¼¿¡ ±â´ë°¨ÀÌ ³ÑÃijµ´Ù´Â °Ô Âü°ü°´µéÀÇ ¹ÝÀÀÀÌ´Ù.
Çظ¶´Ù Àü½Ã±Ô¸ð°¡ ²ÙÁØÈ÷ ¼ºÀåÇÏ°í ÀÖ´Â ¼¼¹ÌÄÜ Â÷À̳ª´Â Àü ¼¼°èÀÇ ¹ÝµµÃ¼»ê¾÷ ÇöȲ°ú ±â¼ú ¹× ¿¬±¸µ¿Ç⠵ ´ëÇÑ º¯È¸¦ Á÷Á¢ È®ÀÎÇÏ°í °ü·ÃÁ¤º¸¸¦ °øÀ¯ ¹× È«º¸¸¦ ÅëÇØ ½Å±Ô »ç¾÷ÁøÃâÀ» À§ÇÑ ¸ðƼºê¸¦ Á¦°øÇÏ°í ÀÖ´Ù.
¶ÇÇÑ SEMICON°ú ´õºÒ¾î FPD°¡ 60,000§³ÀÇ ±Ô¸ð¿¡ ´ÞÇÏ´Â W1~W5ÀÇ °³º° Àü½Ã°ü¿¡´Â TOUCH, LED & Sapphire, MEMS, IC Manufacturing, ICMTIA µî °¢°¢ÀÇ PavilionÀ¸·Î ±¸ºÐµÅ ¹ÝµµÃ¼, ¼ÒÀç, Àåºñ µî ºÐ¾ßº°·Î ºÎ½º¸¦ ¹èÄ¡ÇØ ¿¶í È«º¸ÀÇ ÀåÀ» ÀÌ·ð´Ù.
À̹ø Àü½Ãȸµµ Áö³ÇØ¿Í ¸¶Âù°¡Áö·Î ¹ÝµµÃ¼Á¦Á¶¿Í °ü·ÃÇÑ ½ÃÇè, Á¶¸³ ¹× Æ÷ÀåÀç·á, ¿þÀÌÆÛ °¡°ø ¹× FAB Àåºñ, °¡½º ¹× ¼ÒÀç ¹× ºÎÇ°°ú LEDÁ¦Á¶ µî SEMI »ê¾÷°ú ž籤 ¼¿, ¸ðµâ, ¹ßÀü ¹× ºôµù ÅëÇÕ ¼Ö·ç¼Ç, °Ë»ç ¹× °èÃø, ÅëÇÕ ¹× ÀÚµ¿È, ¸ðµâ, ¹Ú¸·, ¿þÀÌÆÛ, ±Ô¼Ò, Monocrystalline ½Ç¸®ÄÜ, ´Ù°áÁ¤ ½Ç¸®ÄÜ, UMG, µî SOLAR »ê¾÷Àº ¹°·Ð ÀÌµé ¸ðµÎ¿¡ ºüÁü¾øÀÌ »ç¿ëµÇ´Â ¹úÅ© ¹× Ư¼ö°¡½º »ê¾÷ µîÀÇ ¾÷ü°¡ Âü°¡Çß´Ù.
¹ÝµµÃ¼¿Í ž籤 µî ¼ÒÀç¿Í °ü·ÃÇÑ ´Ù¾çÇÑ »ê¾÷ÀÇ º¯È¼Ó¿¡¼µµ °¡½º»ê¾÷ÀÇ ¿¬°ü¼ºÀº Ç°Áú¿¡ Á÷Á¢ÀûÀÎ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡´Â ¸¸Å ¼¼°èÀûÀÎ ´Ù±¹Àû °¡½º¾÷ü¸¦ ºñ·Ô ÇöÁö Ư¼ö°¡½º¾÷üµéÀÇ Àü½Ã°üÀÌ À¯³È÷ Áõ°¡ÇØ ´Ù¾çÇÑ Á¤º¸¸¦ Á¦°øÇϱ⵵ Çß´Ù.
»ê¾÷¿ë Ư¼ö°¡½º °ü·Ã¾÷ü·Î´Â Air Products, SK materials, VERSUM MATRIALS, WONIK MATERIALS, Huate Gas, SAES Pure Gas, Air Liquide, PUJIANG Specialty GAS, LINGGAS, ROTAREX, KC Tech, EDWARDS, SUNGDO E&C, Hanwha Techwin, Swagelok, HANMI, LS, LEENO, SK solmics, KCC, DONGJIN SEMICHEM, Honeywell, CKD µîÀÌ Âü°¡ÇØ ¼±ÀÇÀÇ È«º¸°¢ÃàÀüÀ» ¹ú¿´´Ù.
ÀÌ¿Í ÇÔ²² À̹ø Àü½Ãȸ¿¡ Âü°¡ÇÑ Æ¯¼ö°¡½º °ü·Ã¾÷üµéÀº ´ëºÎºÐ Rare Gas, Electronic Gas, Chemical µî ´Ù¾çÇÑ Æ¯¼ö°¡½º¿Í °í¼øµµ°¡½º¸¦ Æ÷½ºÅÍ¿Í ÇÔ²² Àü½ÃÇßÀ¸¸ç ÃÊÀú¿Â¹ëºê³ª ·¹±Ô·¹ÀÌÅÍ ½ÅÁ¦Ç° µîÀ» ¼±º¸¿© ´«±æÀ» ²ø¾ú´Ù. ÀÌÁß¿¡´Â Clean Gas Cylinder, °í¼øµµ ¹úÅ©°ø±Þ½Ã½ºÅÛ, Á¤Á¦±â, ¹ëºê ¹× ijºñ´Ö µîÀ» ¼±º¸ÀÎ ¾÷üµéµµ ÀÖ´Ù.
ÁÖ¿ä Ư¼ö°¡½º Âü°¡¾÷ü·Î´Â ¼¼°è ÃÖ´ëÀÇ NF3 »ý»ê¾÷üÀÎ SK¸ÓƼ¸®¾óÁî°¡ ±¹³»¿Ü »ý»ê°øÀåÀÇ »ý»ê´É·ÂÀ» °ÈÇÑ´Ù´Â ÀÔÀåÀ» ³ªÅ¸³Â´Ù. Áß±¹³» »ý»ê´É·ÂÀ» ±âÁ¸ ¼³ºñ¸¦ º¸°ÇØ ÃÑ 1,500Åæ ±Ô¸ð·Î Áõ¼³Çϱâ À§ÇÑ ¸·¹ÙÁö °ø»ç°¡ ÇÑâÀ̸ç Çѱ¹¿¡´Â ÃÑ»ý»ê´É·Â 11,100Åæ ±Ô¸ð¸¦ ´Ü°èÀûÀ¸·Î Áõ¼³ÇØ ³ª°£´Ù´Â °èȹÀÌ ÁøÇàÁßÀÌ´Ù.
ÀÌ È¸»ç´Â ÁÖ·ÂÁ¦Ç°ÀÎ NF3¸¦ ºñ·Ô SiH4, WF6, SiH2Cl2, Si2H6 µîÀ» ¼±º¸¿´´Ù.
¶ÇÇÑ ÃÖ±Ù °¢°¢ ÇÕÀÛ¼³¸³ÇÑ SKÆ®¸®ÄÍÀ» ÅëÇØ ¹ÝµµÃ¼¿ë Àü±¸Ã¼ Á¦Á¶»ç¾÷°ú SK¼î¿Íµ§ÄÚ¸¦ ÅëÇØ CH3F µî ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë ½Ä°¢°¡½º¿¡ ´ëÇÑ »ç¾÷Àü¸ÁÀ» ¼Ò°³Çϱ⵵ Çß´Ù.
¿øÀ͸ÓÆ®¸®¾óÁî´Â Áß±¹ ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀåÀÇ ¼ºÀå¼¼¿¡ µû¶ó N2O Á¦Á¶¼³ºñ¸¦ Áß±¹ ÇöÁö¿¡ ÃßÁøÇÑ´Ù´Â °èȹÀ¸·Î ½ÃÀåÁ¶»ç¿¡ ³ª¼¹À¸¸ç Ãʱâ ÅõÀÚ´Â 1,800Åæ ±Ô¸ð·Î ÁøÇàµÉ °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.
N2O´Â CVDÀÇ ½Ç¸®ÄÜ Ç¥¸é ÄÚÆÃÀÛ¾÷ÀÎ Epitaxy °øÁ¤¿¡ ÁÖ·Î »ç¿ëµÇ¸ç Çѱ¹°ú Áß±¹ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ °øÀå ½ÅÁõ¼³·Î ÀÎÇØ °ø±ÞºÎÁ·ÀÌ ¿¹»óµÇ°í ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ÀüÇß´Ù.‘
À̹ۿ¡µµ ¿øÀ͸ÓÆ®¸®¾óÁî´Â CF4, Cl2, Ne, Xe, GeH4 µîÀÇ Æ¯¼ö°¡½º¿Í Àü±¸Ã¼ÀÎ ‘HCDS(Si2Cl6)’, ‘3DMAS’, ‘BDEAS’¿Í High-k À¯Àüü Àü±¸Ã¼ ‘Cp-Zr’ µîÀÇ Á¦Ç°À» ¼±º¸¿´´Ù.
¶ÇÇÑ ±Û·Î¹ú Ư¼ö°¡½º¾÷üÀÎ ¹ö½·¸ÓÆ®¸®¾óÁî´Â Air Producs¿ÍÀÇ ºÐ»çÀÌÈÄ ºü¸¥ ¼Óµµ·Î ¼ºÀåÇÏ¸é¼ NF3, WF6, N2O, C4F6, PH3 µî°ú Àü±¸Ã¼ TEOS, TiCl4, LTO-520 µîÀ» ¼±º¸¿´´Ù.
¶ÇÇÑ 2,400Åæ ±Ô¸ðÀÇ NF3 ¿¬°£ »ý»ê´É·ÂÀ» º¸À¯ÇÏ°í ÀÖ´Â ÀÌ È¸»ç´Â Á¶¸¸°£ Ãß°¡ Áõ¼³°èȹÀ» ¹ßÇ¥ÇÑ´Ù´Â ÀÔÀåÀÌ¸ç ¾Æ½Ã¾Æ ½ÃÀå¿¡ ´ëÇÑ ¼±Á¦Àû ¸¶ÄÉÆÿ¡ ÁýÁßÇÏ°í ÀÖ´Ù°í ¼³¸íÇÏ°í ÀÖ´Ù.
¼¼°è °æ±âÀÇ ºÎÁø ¼Ó¿¡¼µµ ¿¹³â°ú ´Ù¸£°Ô ÀλêÀÎÇظ¦ ÀÌ·é ¼¼¹ÌÄÜ Â÷À̳ª 2017¿¡´Â ÀÌó·³ Ư¼ö°¡½º °ü·Ã¾÷üµéÀÌ ´Ù¼ö Âü°¡ÇÏ¸é¼ ¿©Å¸ ÀåºñÁ¦Á¶¿Í ¹ÝµµÃ¼»ê¾÷ÀÇ ºü¸¥ º¯È¿¡ ºñÇؼ Á¢¸ñµÇ´Â Á¦Ç°°³¹ß ¼Óµµ°¡ »ó´ëÀûÀ¸·Î ´õµð°Ô ³ªÅ¸³ª´Â Ư¼ö°¡½º »ê¾÷ÀÌ °ø±Þ¹æ½Ä °³¼±°ú °ø±Þ·® È®´ë, ´ëóǰÀÇ Àû±ØÀûÀÎ °³¹ß µîÀÇ ´ëó¸¦ ÅëÇØ Ã·´Ü»ê¾÷ÀÇ ÇÑ ºÐ¾ß·Î ÀÚ¸®¸Å±èÇÏ´Â ¸ð½ÀÀ» º¸¿´´Ù´Â ÆòÀÌ´Ù.
ÇÑÆí Çѱ¹°ú Áß±¹, ´ë¸¸ µî ¾Æ½Ã¾Æ¸¦ Áß½ÉÀ¸·Î ÇÑ ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀåÀÇ È帧À» ÇÑ ´«¿¡ ÆľÇÇÒ ¼ö ÀÖ´Â SEMICON China´Â ¿ÃÇØ·Î 29³â°·Î Áß±¹¹ÝµµÃ¼Çùȸ°¡ ¼³¸³µÈ Á÷ÈÄÀÎ Áö³ 88³âºÎÅÍ ½ÃÀ۵ŠÁß±¹ÀÌ ¾Æ½Ã¾Æ ½ÃÀåÀÇ Áß½ÉÀ¸·Î ºÎ°¢µÇ¸é¼ºÎÅÍ ¹ÝµµÃ¼¿ë Á¦Á¶Àåºñ´Â ¹°·Ð Ư¼ö°¡½º, ¼ÒÀç, Àç·á, ¼³ºñ µîÀ» ¸Á¶óÇÑ ¼¼°è ÃÖ´ëÀÇ ¹ÝµµÃ¼Àåºñ Àü½Ãȸ·Î ÀÚ¸®¸Å±èÀ» ÇÏ°í ÀÖ´Ù. |