¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º ½ÃÀåÀÌ ÇϹݱâ DRAM ½Å±Ô ÅõÀÚ È®´ë·Î ÀÎÇØ ½ÇÀû »ó½ÂÀÌ Àü¸ÁµÆ´Ù.
NHÅõÀÚÁõ±ÇÀº ÃÖ±Ù ‘2018 ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç »ê¾÷’ »ê¾÷ºÐ¼® ¸®Æ÷Æ®¸¦ ÅëÇØ ¹ÝµµÃ¼ Àü¹æ ¾÷üÀÇ ¸Þ¸ð¸® ÅõÀÚ È®´ë ¹× ºñ¸Þ¸ð¸® ½ÃÀå °æÀï·Â °È Á¤Ã¥À¸·Î ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç¾÷üÀÎ SK¸ÓƼ¸®¾óÁî¿Í ¿øÀ͸ÓÆ®¸®¾óÁî µî Ư¼ö°¡½º ¾÷üÀÇ ÇϹݱ⠼öÀÍ »ó½ÂÀÌ ±â´ëµÈ´Ù°í ¿¹ÃøÇß´Ù.
¸®Æ÷Æ®¿¡ µû¸£¸é ¹ÝµµÃ¼ Àü¹æ ¾÷üÀÇ ÅõÀÚ È®´ë¿¡ ÇϹݱâ·Î °¥¼ö·Ï ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç »ç¿ë·® Áõ°¡ÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÇ°í ÀÖ´Ù. ƯÈ÷ ÀÛ³â°ú ´Þ¸® ¿ÃÇØ´Â DRAMÇâ ÅõÀÚ°¡ ´Ã¾î³ª¸é¼ ¼ÒÀç ¼ö¿ä¸¦ °ßÀÎÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÅ NANDÀÇ °æ¿ì 3D NAND °í´ÜÈ·Î ¹ÝµµÃ¼ Çʼö °øÁ¤ÀÎ ÁõÂø °øÁ¤ÀÌ ´Ã¾î³¯ Àü¸Á, ÀÌ¿¡ µû¸¥ °ü·Ã Ư¼ö°¡½º ¼ö¿ä°¡ È®´ëµÉ °ÍÀ¸·Î ÆÇ´ÜÇÏ°í ÀÖ´Ù.
½ÇÁ¦ ÃÖ±Ù ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è´Â ¹Ì¼¼°øÁ¤ ÀüȯÀÇ ¾î·Á¿ò°ú ±â´ëº¸´Ù ³ôÀº ¼¹öÇâ DRAM ¼ö¿ä, ¸ð¹ÙÀÏ ±â±â´ç ¸Þ¸ð¸® žÀç·® Áõ°¡ ¹× ÀÌ·Î ÀÎÇÑ ¸ð¹ÙÀÏ DRAM ¼ö¿ä ȸº¹À¸·Î ¹ÝµµÃ¼ Àü¹æ ¾÷üµéÀÇ DRAMÇâ ÅõÀÚ°¡ ´Ã¾î³¯ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÇ°í ÀÖ´Ù. DRAMÀÇ °æ¿ì ¹Ì¼¼°øÁ¤ Àüȯ °ü·Ã ±â¼ú·ÂÀÇ ÇÑ°è·Î °ú°Åº¸´Ù ¹Ì¼¼°øÁ¤ ÀüȯÀ¸·Î ÀÎÇÑ »ý»ê·®ÀÌ ÁÙ¾îµé°í ÀÖ´Â Ãß¼¼ÀÌ´Ù. °ú°Å¿¡´Â ¹Ì¼¼°øÁ¤ ÀüȯÀ¸·Î ÀÎÇÑ »ý»ê´É·Â ¼Õ½ÇÀ» ¸Þ²Ù´Â ¼öÁØÀÇ ÅõÀÚ¸¸À¸·Îµµ ¼ö¿ä¸¦ ¸ÂÃâ ¼ö ÀÖ¾úÁö¸¸ ÃÖ±Ù¿¡´Â ±â¼ú ³À̵µ°¡ ³ô¾ÆÁ® »ý»ê´É·Â ¼Õ½Ç ¼öÁØ ±× ÀÌ»óÀÇ ÅõÀÚ°¡ ÇÊ¿äÇÑ »óȲÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ® ÀÖ´Ù.
ÀÌ¿¡ »ï¼ºÀüÀÚµµ ¹Ì¼¼°øÁ¤ Àüȯ ¹× ¶óÀÎ ÀüȯÀ¸·Î ÀÎÇÑ »ý»ê·® ¼Õ½ÇÀ» º¸¿ÏÇϱâ À§ÇØ DRAM ÅõÀÚ¸¦ È®´ë¸¦ ¹ßÇ¥Çß°í SKÇÏÀ̴нºµµ ±âÁ¸ 2019³â »ó¹Ý±â·Î °èȹµÅ ÀÖ´ø DRAM ¶óÀÎ Áõ¼³ ½ÃÁ¡À» 2018³â ¸»·Î ¾Õ´ç±ä´Ù°í ¹ßÇ¥ÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù.
SK¸ÓƼ¸®¾óÁî, Á¦ÇÑÀûÀÎ Áõ¼³Á¤Ã¥ ÁÖÈ¿
NF3 ¼ö±Þ°³¼± ±â´ë·WF6 Áõ¼³ ¿Ï·á
¿ì¼± Àü ¼¼°è NF3(»ïºÒÈÁú¼Ò) °ø±Þ·®ÀÇ 40%¸¦ Â÷ÁöÇϸç 1À§ ÁöÀ§¸¦ À¯ÁöÇÏ°í ÀÖ´Â SK¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â Áö³ÇØ ±¹³» °í°´»çÀÇ ½Å±Ô °øÀå °¡µ¿ ¹× 3D NAND ¾ç»ê È®´ë°¡ ¿¹»óº¸´Ù Áö¿¬µÇ¸é¼ ÀÚ»çÀÇ Æ¯¼ö°¡½º ¼ö¿äµµ ±â´ëº¸´Ù ³·Àº ¼öÁØÀ» ±â·ÏÇß´Ù. ¶ÇÇÑ NF3 »ý»ê¾÷üµéÀÌ ¼±Á¦ÀûÀ¸·Î NF3 °ø±Þ ´É·ÂÀ» Å©°Ô ´Ã¸®¸é¼ ¼ö±ÞÀÌ ¾ÇȵŠ½ÇÀû ¼ºÀåÀÌ ±â´ëº¸´Ù ´õµð°Ô ³ªÅ¸³µ´Ù. ÇÏÁö¸¸ ¿ÃÇØ´Â °¡Æĸ¥ ¼ö¿ä È®´ë ¼Ó ¾÷üµéÀÇ CAPA Áõ¼³µµ Á¦ÇÑÀûÀÏ Àü¸ÁÀÌ¾î¼ NF3 ¼ö±Þ °³¼±ÀÌ ±â´ëµÇ°í ÀÖ´Â »óȲÀÌ´Ù.
¿ÃÇØ SK¸ÓƼ¸®¾óÁ ºñ·ÔÇØ °æÀï»çÀÇ NF3 ijÆÄ Áõ¼³ ±Ô¸ð´Â Áö³Çغ¸´Ù ³·Àº ¼öÁØÀ¸·Î ÃßÁ¤µÇ°í ÀÖ´Ù. ½ÇÁ¦ ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¾÷üµéÀÇ ÅõÀÚ°¡ È®´ëµÊ¿¡ µû¶ó Àڻ縦 ºñ·ÔÇØ °æÀï»çµéÀÌ NF3 ½Å±Ô CAPA 4,000Åæ °¡·®À» ´Ã·Á ¼ö±ÞÀÌ ¾ÇȵƴÙ. ÇÏÁö¸¸ ¿ÃÇØ SK¸ÓƼ¸®¾óÁîÀÇ °æ¿ì Ãß°¡ CAPA Áõ¼³Àº ¿¬¸»·Î °èȹµÅ ÀÖ¾î ¿ÃÇØ º¸´Ù ³»³â °ø±Þ¿¡ ¿µÇâÀ» ÁÙ Àü¸ÁÀÌ´Ù. ¾Æ¿ï·¯ °æÀï»çµéµµ Á¦ÇÑÀûÀÎ Áõ¼³ Á¤Ã¥À¸·Î NF3 ¼ö±Þ °³¼±¿¡ ±àÁ¤ÀûÀÎ ¿µÇâÀ» ÁÙ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù. ÃÖ±Ù Áß±¹ NF3 Á¦Á¶ ¾÷üµéÀÇ ÅõÀÚ°¡ ´Ã°í ÀÖÁö¸¸ ¾ÆÁ÷ SK¸ÓƼ¸®¾óÁî¿Í Á¦Ç° °æÀï·Â Ãø¸é¿¡¼ Å©°Ô Â÷À̳ª´Â »óȲÀ¸·Î ±â¼ú ÁøÀÔ À庮ÀÌ ³·Àº Áß±¹ µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¾÷üÇâ °ø±Þ¿¡¸¸ ¿µÇâÀ» ÁÙ Àü¸ÁÀÌ´Ù.
µû¶ó¼ ¿ÃÇØ´Â ¼ö¿ä È®´ë ±â´ë°¨ÀÌ ³ôÀº »óȲ¿¡¼ °ø±Þ Áõ°¡µµ ¹Ì¹ÌÇÒ °ÍÀ¸·Î ÆǴܵŠÆÇ°¡ Ç϶ô ¿ì·Á´Â ÇϹݱâ·Î °¥¼ö·Ï »ç¶óÁú Àü¸ÁÀÌ´Ù. ÀÌ¿¡ ÆÇ°¡ »ó½Â ¹ÝÀüÀÌ ¿¹»óµÇ´Â ¿ÃÇØ°¡ SK¸ÓƼ¸®¾óÁî ½ÇÀû Àç»ó½ÂÀÇ ½Ã¹ßÁ¡ÀÌ µÉ °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.
ÇöÀç SK¸ÓƼ¸®¾óÁîÀÇ ÁÖ¿ä »ç¾÷ºÎ¹®Àº NF3, WF6(À°ºÒÈÅÖ½ºÅÙ), SiH4(¸ð³ë½Ç¶õ) µî ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ °øÁ¤¿¡ ¾²ÀÌ´Â ¼ÒÀ縦 »ý»êÇϴ Ư¼ö°¡½º ºÎ¹®ÀÌ´Ù. ¶ÇÇÑ Æ¯¼ö°¡½º »ç¾÷ ¿Ü 2016³â ¸» ÀμöÇÑ SK¿¡¾î°¡½º¸¦ ÅëÇØ »ê¾÷¿ë°¡½º ½ÃÀå¿¡ ÁøÃâÇßÀ¸¸ç Áö³ÇØ Àü±¸Ã¼ »ý»ê¾÷üÀÎ SKÆ®¸®ÄÍ, ½Ä°¢°¡½º »ý»ê¾÷üÀÎ SK¼î¿Íµ§ÄÚÀÇ ½ÇÀûÀÌ µ¿»ç ½ÇÀû¿¡ ¹Ý¿µµÉ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. 2017³â ±âÁØ ¸ÅÃâºñÁßÀº Ư¼ö°¡½º 81.7%, »ê¾÷°¡½º 18%, Àü±¸Ã¼ 0.3%ÀÌ°í Àüü ¸ÅÃâ Áß NF3°¡ 60%¸¦ Â÷ÁöÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ȸ»ç´Â »ç¾÷ ´Ùº¯È¸¦ ÅëÇØ Á¡Â÷ NF3 ÀÇÁ¸µµ¸¦ ÁÙ¿©³ª°¥ °èȹÀÌÁö¸¸ ¾ÆÁ÷±îÁö´Â NF3 ½ÇÀûÀÌ °¡Àå Áß¿äÇÑ »óȲÀÌ´Ù. ¹«¾ùº¸´Ù ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ °í°´»çÀÇ DRAM ÅõÀÚ È®´ë, 3D NAND °í´ÜÈ, Flexible OLED ¼ö¿ä ȸº¹¿¡ µû¶ó ÇϹݱâ·Î °¥¼ö·Ï ¼ö±ÞÀÌ °³¼±µÉ Àü¸ÁÀÌ¾î¼ NF3ÀÇ È¸»ç ³» Áß¿äµµ´Â ´çºÐ°£ Áö¼ÓµÉ Àü¸ÁÀÌ´Ù. ¾Æ¿ï·¯ WF6 ¶ÇÇÑ 3D NAND °øÁ¤ ½Ã ¸ÞÅ» ¼ö¿ä°¡ Å©°Ô ´Ã¾î³¯ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÅ ±àÁ¤ÀûÀÌ´Ù. SK¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â NF3 »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó WF6ÀÇ °ø±Þ´É·Âµµ Áö³ÇØ ¸» Áõ¼³(Àü ¼¼°è °ø±Þ·® 1À§)À» ¸¶¹«¸®ÇÏ°í ÇâÈÄ ´Ã¾î³¯ ¼ö¿ä¿¡ ´ëÀÀÇÒ Áغñ¸¦ ³¡³½ »óȲÀÌ´Ù.
ÀÌ¿¡ SK¸ÓƼ¸®¾óÁîÀÇ 2018³â Ư¼ö°¡½º ºÎ¹® ¸ÅÃâ¾×Àº 4,850¾ï¿ø(Àüü¸ÅÃâ¾× 6,362¾ï¿ø)À¸·Î Àü³â´ëºñ 15.8% Áõ°¡ÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÆ´Ù.
¿øÀ͸ÓÆ®¸®¾óÁî, 100¿©Á¾ÀÇ Æ¯¼ö°¡½º·Î Àü¹æÀ§Àû ´ëÀÀ °¡´É
Á¦Ç° ¸ÅÃâ È®´ë·Î ¼öÀͼº °³¼± ¿¹»ó
¿øÀ͸ÓÆ®¸®¾óÁîµµ Àüü ¸ÅÃâ Áß 85% Á¤µµ°¡ ¹ÝµµÃ¼ ¸ÅÃâÀÌ°í ÀÌÁß DRAMÇâ ¸ÅÃâÀÌ 70% ÀÌ»óÀ¸·Î ÃßÁ¤µÅ ¿ÃÇØ DRAMÇâ ÅõÀÚ È®´ëÀÇ ¼öÇý¸¦ °í½º¶õÈ÷ ¹ÞÀ» ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÆ´Ù. ƯÈ÷ ¸ð³ë½Ç¶õ°ú °áÇÕÇØ ½Ç¸®ÄÜ°Ô¸£¸¶´½ÇüÅ·ΠÁõÂøµÇ´Â GeH4(»ç¼ö¼ÒÈ°Ô¸£¸¶´½), Àý¿¬¸· ÁõÂø¿¡ »ç¿ëµÇ´Â NH3(°í¼øµµ ¾Ï¸ð´Ï¾Æ) µîÀ» ÁÖ¿ä DRAM Ç°¸ñÀ¸·Î º¸À¯ÇÏ°í ÀÖ¾î ¼ÒÀç ¼ö¿ä È®´ë¿¡ µû¸¥ ¼öÇý°¡ ¿¹»óµÆ´Ù.
¶Ç NANDÇâ Á¦Ç°ÀÇ ¸ÅÃâµµ ¹ÝµµÃ¼ Àü¹æ ¾÷üÀÇ 3D NAND °í´ÜÈ Á¤Ã¥À¸·Î Áö¼Ó »ó½ÂÇÏ°í Àִµ¥ ¿ÃÇØ »ï¼ºÀüÀÚ µî ÁÖ¿ä NAND °ø±Þ ¾÷üµéÀÌ °í´ÜÈµÈ Á¦Ç° Å×½ºÆ® ¹× ¾ç»êÀ» ½ÃÀÛÇÒ Àü¸ÁÀÌ¾î¼ ÀÌ¿¡ µû¶ó 3D NANDÇâ Ư¼ö°¡½ºÀÇ »ç¿ë·®ÀÌ È®´ëµÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÇ¸ç C4F8 ¹× CH2F2, F2 Mix µî »êȸ· ½Ä°¢ °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â Ư¼ö°¡½ºÀÇ ¼öÇý°¡ Àü¸ÁµÇ°í ÀÖ´Ù.
ÀÌ¿Í ÇÔ²² ȸ»ç´Â »óÇ°º¸´Ù »ó´ëÀûÀ¸·Î ¸¶ÁøÀÌ ³ôÀº Á¦Ç° ¸ÅÃâÀÌ È®´ëµÇ¸ç ¼öÀͼºÀÌ °³¼±µÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÇ°í ÀÖÀ¸¸ç µð½ºÇ÷¹ÀÌ ºÎ¹® ¸ÅÃâºñÁßÀÌ 10% ¼öÁØÀÌ¾î¼ µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¼ö¿ä µÐÈ ¿ì·Á¿¡ ´ëÇÑ ¿µÇâÀÌ ¹Ì¹ÌÇÑ °ÍÀ¸·Î ºÐ¼®µÆ´Ù.
¿øÀ͸ÓÆ®¸®¾óÁî´Â ÃÖ±Ù º»»ç ¾Õ ºÎÁö¿¡ ½Å±Ô °øÀå(¾çû Á¦2»ç¾÷Àå) Áõ¼³À» ¹ßÇ¥ÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù. À̹ø ½Å±Ô °øÀå¿¡¼´Â Áö³ÇرîÁö °ø±Þ ºÎÁ· »óȲÀÌ Áö¼ÓµÇ¾ú´ø N2O(¾Æ»êÈÁú¼Ò) Á¦Ç° ¾ç»êÀÌ ¿ÃÇØ ¸» ¶Ç´Â ³»³â ÃÊ ½ÃÀÛµÉ Àü¸ÁÀÌ´Ù. ÃÖ±Ù Flexible OLEDÇâ ¼ö¿ä°¡ °¨¼ÒÇÏ¸é¼ ¿ì·Á°¡ ÀÖ±â´Â ÇÏÁö¸¸ ´Ü±âÀûÀ¸·Î Flexible OLEDÇâ ¼ö¿ä µÐÈ·Î ÁÙ¾îµç °ø±ÞÀº TSMCÇâ °ø±ÞÀ¸·Î »ó¼âÇÏ°í ÀÖ°í ÇϹݱ⠾ÖÇÃÀÌ µÎ °³ÀÇ ½ÅÁ¦Ç°¿¡ Flexible OLED¸¦ žÀçÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÇ°í ÀÖ¾î ¼ö¿ä°¡ Á¡Â÷ ȸº¹µÉ Àü¸ÁÀÌ´Ù.
ÀÌ¿¡ Áö³ 2016³â ´Ü°¡ ÀÎÇÏ À̽´ ¹× ÀÏȸ¼º ¿äÀÎÀ¸·Î óÀ½ ¿ª¼ºÀåÀ» ±â·ÏÇß´ø ¿øÀ͸ÓÆ®¸®¾óÁî´Â ¿ÃÇØ 2,316¾ï¿øÀ» ±â·Ï, Àü³â´ëºñ 14.1% Áõ°¡ÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÆ´Ù. |