3³â°£ ½Å±Ô »ý»ê¼³ºñ ¹× ÀÎÇÁ¶ó½Ã¼³ ±¸Ãà¿¡
5,000¸¸ ´Þ·¯ ÅõÀÚÅ°·Î
Çѱ¹³» ÅõÀÚÀ¯Ä¡ È®´ë¿Í ¹ÝµµÃ¼·LCD Á¦Á¶¿ë Ư¼ö°¡½ºÀÇ °íÇ°Áúȸ¦ ÁöÇâÇϸç Áö¼ÓÀûÀÎ ¼ºÀå¼¼¸¦ ³ªÅ¸³»°í ÀÖ´Â Çѱ¹¸ÞƼ½¼Æ¯¼ö°¡½º(ÁÖ)(Matheson Gas Products Korea)°¡ ´Ù¾çÇÑ Á¦Ç°»ý»ê°ú °ø±Þ´É·Â È®´ë¸¦ ÅëÇÑ »õ·Î¿î µµ¾à¿¡ ³ª¼¹´Ù.
ÀÌ¿Í °ü·Ã Çѱ¹¸ÞƼ½¼Æ¯¼ö°¡½º(ÁÖ)(´ëÇ¥ Àª¸®¾ö ¼Û·ÀÌÇÏ MGPK)´Â ÃÖ±Ù ¹ÝµµÃ¼¿ë ½Ä°¢°¡½ºÀÎ CH3F(Ç÷ç¿À¸£È¸ÞÆ¿)¿Í µµÇΰ¡½ºÀÎ B2H6(´ÙÀ̺¸·¹ÀÎ)ÀÇ »ý»ê½Ã¼³À» ¿Ï°øÇÏ°í º»°ÝÀûÀÎ ½Ã¿îÀü¿¡ µ¹ÀÔÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù.
ÀÌ¹Ì ±¹³»¿Ü¿¡ Ư¼ö°¡½º°èÅë °í°´ÃþÀ» µÎÅÓ°Ô È®º¸ÇÏ°í ÀÖ´Â ÀÌ È¸»ç´Â ±× µ¿¾È ¼öÀÔ¿¡ ÀÇÁ¸ÇØ ¿Ô´ø ÃÊ°í¼øµµ NH3, C4F8, BF3 µîÀ» ºñ·Ô BCl3, C2F6, CF4, Cl2, HBr, HCl, 1% B2H6/N2, 1% PH3/H2 µî ¸Å¿ì ´Ù¾çÇÑ ÃÊ°í¼øµµ ¹× È¥ÇÕ°¡½º¸¦ °ø±ÞÇÏ°í ÀÖ´Ù.
À̹ø¿¡ º»°Ý »ý»êÀ» ¾ÕµÎ°í ÀÖ´Â CH3F´Â ½Ç¸°ÄÜ ¿þÀÌÆÛ »óÀÇ ÇÊ¿ä ºÎºÐ¸¸ ³²°ÜµÎ°í ³ª¸ÓÁö ¹°ÁúÀ» Á¦°ÅÇÏ´Â Dry Etching °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ¸ç ¿ëµµ´Â V NAND¿Í DRAM ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤ µî¿¡ »ç¿ëµÈ´Ù.
µµÇΰ¡½ºÀÎ B2H6´Â ºÒ¼ø¹°À» ÷°¡ÇÏ¿© Àü±âÀû Ư¼ºÀ» Á¶ÀýÇÏ´Â DopantÀÇ Çϳª·Î ÁÖ·Î ¹ÝµµÃ¼ Diffusion °øÁ¤¿¡ ¸¹ÀÌ ¾²ÀÌ´Â °ÍÀ¸·Î ¿·ÁÁ³´Ù.
ÀÌ¿Í ÇÔ²² ÀÌ È¸»ç´Â ÃÖ±Ù ¹ÝµµÃ¼»ê¾÷ÀÇ È£È²¿¡ ÈûÀÔ¾î Àå±âÀûÀÎ ¾È¸ñ¿¡¼ ±âÁ¸ÀÇ ¼öÀÔ´ëü Ç°¸ñÀÇ È®´ë»ý»ê °èȹ ÃßÁøÀº ¹°·Ð Àü·® ¼öÀÔ¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏ°í ÀÖ´Â Xenon, Neon, Krypton µî Rare GasÀÇ ¼ö±Þ ¾ÈÁ¤È Â÷¿ø¿¡¼ ÇØ¿Ü Æ¯¼ö°¡½º Àü¹®Á¦Á¶¾÷ü¿Í ´Ù³â°£ °ø±Þ°è¾àÀ» ü°áÇÔÀ¸·Î½á Çѱ¹³» ¹ÝµµÃ¼ ¾÷Á¾ÀÇ ¼ö¿ä ¾ÈÁ¤È ±â¹ÝÀ» È®º¸ÇÑ °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù.
ÀÌ ¹Û¿¡µµ Áö¼ÓÀûÀÎ ÅõÀÚ¿Í ¿µ¾÷È®´ë¸¦ ÅëÇÑ ²ÙÁØÇÑ ¼ºÀå¼¼¸¦ ±¸°¡ÇÏ°í ÀÖ´Â MGPK¾Æ»ê°øÀå¿¡ ÇâÈÄ 3³â°£ ¼³ºñ½Ã¼³º¸¿Ï°ú Ç°Áú°ü¸® ¹× »ý»ê´É·Â È®´ë µîÀ» À§ÇØ 5,000¸¸ ´Þ·¯ÀÇ ÅõÀÚ°èȹÀ» ÁøÇàÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç,
MGPK´Â ÀÌ·¯ÇÑ ±â¾÷È°µ¿°ú Á¦Ç°¿¡ ´ëÇÑ È«º¸ ¹× Á¤º¸Á¦°ø Â÷¿ø¿¡¼ ±âÁ¸ Home Page ¸¦ Àü¸é °³ÆíÇÏ´Â ¸®´º¾ó(Renewal) ¿ÀÇÂÀ» 11¿ùÁß¿¡ ½ÃÇàÇÒ °èȹÀ̸ç, ´Ù±¹¾î Á¤º¸Á¦°øÀ¸·Î ÇؿܹÙÀ̾îµé¿¡ ´ëÇÑ ¸¶ÄÉÆÿ¡ È°¿ëÇÑ´Ù´Â Àü·«ÀÌ´Ù.
¶ÇÇÑ Áö³ 7¿ù MGPKÀÇ ¸ðȸ»çÀÎ ÀϺ» Taiyo Nippon Sanso Corporation(ÀÌÇÏ TNSC)Àº Praxair¿Í LindeÀÇ ÇÕº´¿¡ µû¸¥ À¯·´ ³» Praxair, Inc. ÀÇ »ê¾÷¿ë°¡½º »ç¾÷ ¹× ÀÚ»êµéÀ» 50¾ïÀ¯·Î(ÇÑÈ 6Á¶5,436¾ï¿ø)¿¡ ÀÏ°ýÀûÀ¸·Î ¸ÅÀÔÇÏ´Â °è¾àÀ» ü°áÇÏ¿´À¸¸ç, À̹ø °è¾àÀÇ ¼º»ç·Î TNSC´Â À¯·´½ÃÀå ÁøÃâ°ú ´õºÒ¾î ±Û·Î¹ú »ç¾÷È®ÀåÀÇ ¹ßÆÇÀ» È®°íÇÏ°Ô ¸¶·ÃÇÏ´Â ±âȸ¸¦ ÀâÀº °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁö°í ÀÖ´Ù.
ÇÑÆí Áö³ 1995³â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿¡ »ç¿ëµÇ´Â Ư¼ö°¡½ºÀÇ Á¦Á¶¿Í ¼öÀÔÆǸŸ¦ ¸ñÀûÀ¸·Î ¹Ì±¹ Matheson Tri-GasÀÇ Çѱ¹¹ýÀÎÀ¸·Î ¼³¸³µÈ MGPK´Â ÇöÀç º»»ç ¹× °øÀåÀº Ãæ³² õ¾È°ú ¾Æ»ê¿¡ À§Ä¡ÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç ¿Ü±¹ÀÎ ÅõÀÚ°¡¾÷ µî·Ï°ú ´õºÒ¾î 3õ¸¸ºÒ ¼öÃâž ¼ö»ó, ¼º½Ç³³¼¼ÀÚ ¼±Á¤ µé ¿ì¼ö±â¾÷¹®È â´Þ¿¡ ¾ÕÀå¼°í ÀÖ´Ù. |