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[집중! 이 기업] MGPK, 반도체 식각용 CH3F, 도핑용 B2H6 자체생산 돌입해외 공급계약 체결로 Xe, Ne, Kr 등 Rare Gas 공급기반 확보
i가스저널  |  rslee@igasnet.com
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승인 2018.11.21  
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3년간 신규 생산설비 및 인프라시설 구축에

5,000만 달러 투자키로

 

한국내 투자유치 확대와 반도체·LCD 제조용 특수가스의 고품질화를 지향하며 지속적인 성장세를 나타내고 있는 한국메티슨특수가스(주)(Matheson Gas Products Korea)가 다양한 제품생산과 공급능력 확대를 통한 새로운 도약에 나섰다.

   
 

이와 관련 한국메티슨특수가스(주)(대표 윌리엄 송·이하 MGPK)는 최근 반도체용 식각가스인 CH3F(플루오르화메틸)와 도핑가스인 B2H6(다이보레인)의 생산시설을 완공하고 본격적인 시운전에 돌입했다고 밝혔다.

이미 국내외에 특수가스계통 고객층을 두텁게 확보하고 있는 이 회사는 그 동안 수입에 의존해 왔던 초고순도 NH3, C4F8, BF3 등을 비롯 BCl3, C2F6, CF4, Cl2, HBr, HCl, 1% B2H6/N2, 1% PH3/H2 등 매우 다양한 초고순도 및 혼합가스를 공급하고 있다.

이번에 본격 생산을 앞두고 있는 CH3F는 실린콘 웨이퍼 상의 필요 부분만 남겨두고 나머지 물질을 제거하는 Dry Etching 공정에 사용되며 용도는 V NAND와 DRAM 반도체 제조공정 등에 사용된다.

도핑가스인 B2H6는 불순물을 첨가하여 전기적 특성을 조절하는 Dopant의 하나로 주로 반도체 Diffusion 공정에 많이 쓰이는 것으로 열려졌다.

이와 함께 이 회사는 최근 반도체산업의 호황에 힘입어 장기적인 안목에서 기존의 수입대체 품목의 확대생산 계획 추진은 물론 전량 수입에 의존하고 있는 Xenon, Neon, Krypton 등 Rare Gas의 수급 안정화 차원에서 해외 특수가스 전문제조업체와 다년간 공급계약을 체결함으로써 한국내 반도체 업종의 수요 안정화 기반을 확보한 것으로 전해졌다.

이 밖에도 지속적인 투자와 영업확대를 통한 꾸준한 성장세를 구가하고 있는 MGPK아산공장에 향후 3년간 설비시설보완과 품질관리 및 생산능력 확대 등을 위해 5,000만 달러의 투자계획을 진행하고 있으며,

   
 

MGPK는 이러한 기업활동과 제품에 대한 홍보 및 정보제공 차원에서 기존 Home Page 를 전면 개편하는 리뉴얼(Renewal) 오픈을 11월중에 시행할 계획이며, 다국어 정보제공으로 해외바이어들에 대한 마케팅에 활용한다는 전략이다.

또한 지난 7월 MGPK의 모회사인 일본 Taiyo Nippon Sanso Corporation(이하 TNSC)은 Praxair와 Linde의 합병에 따른 유럽 내 Praxair, Inc. 의 산업용가스 사업 및 자산들을 50억유로(한화 6조5,436억원)에 일괄적으로 매입하는 계약을 체결하였으며, 이번 계약의 성사로 TNSC는 유럽시장 진출과 더불어 글로벌 사업확장의 발판을 확고하게 마련하는 기회를 잡은 것으로 전해지고 있다.

   
 

한편 지난 1995년 반도체 제조에 사용되는 특수가스의 제조와 수입판매를 목적으로 미국 Matheson Tri-Gas의 한국법인으로 설립된 MGPK는 현재 본사 및 공장은 충남 천안과 아산에 위치하고 있으며 외국인 투자가업 등록과 더불어 3천만불 수출탑 수상, 성실납세자 선정 들 우수기업문화 창달에 앞장서고 있다.

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