Ȩ > ÀÎÅͺä/Ž¹æ
[ÁýÁß! ÀÌ ±â¾÷] MGPK, ¹ÝµµÃ¼ ½Ä°¢¿ë CH3F, µµÇοë B2H6 ÀÚü»ý»ê µ¹ÀÔÇØ¿Ü °ø±Þ°è¾à ü°á·Î Xe, Ne, Kr µî Rare Gas °ø±Þ±â¹Ý È®º¸
i°¡½ºÀú³Î  |  rslee@igasnet.com
ÆùƮŰ¿ì±â ÆùÆ®ÁÙÀ̱â ÇÁ¸°Æ®Çϱ⠸ÞÀϺ¸³»±â ½Å°íÇϱâ
½ÂÀÎ 2018.11.21  
Æ®À§ÅÍ ÆäÀ̽ººÏ ¹ÌÅõµ¥ÀÌ ³×À̹ö ±¸±Û msn

3³â°£ ½Å±Ô »ý»ê¼³ºñ ¹× ÀÎÇÁ¶ó½Ã¼³ ±¸Ãà¿¡

5,000¸¸ ´Þ·¯ ÅõÀÚÅ°·Î

 

Çѱ¹³» ÅõÀÚÀ¯Ä¡ È®´ë¿Í ¹ÝµµÃ¼·LCD Á¦Á¶¿ë Ư¼ö°¡½ºÀÇ °íÇ°ÁúÈ­¸¦ ÁöÇâÇϸç Áö¼ÓÀûÀÎ ¼ºÀå¼¼¸¦ ³ªÅ¸³»°í ÀÖ´Â Çѱ¹¸ÞƼ½¼Æ¯¼ö°¡½º(ÁÖ)(Matheson Gas Products Korea)°¡ ´Ù¾çÇÑ Á¦Ç°»ý»ê°ú °ø±Þ´É·Â È®´ë¸¦ ÅëÇÑ »õ·Î¿î µµ¾à¿¡ ³ª¼¹´Ù.

   
 

ÀÌ¿Í °ü·Ã Çѱ¹¸ÞƼ½¼Æ¯¼ö°¡½º(ÁÖ)(´ëÇ¥ Àª¸®¾ö ¼Û·ÀÌÇÏ MGPK)´Â ÃÖ±Ù ¹ÝµµÃ¼¿ë ½Ä°¢°¡½ºÀÎ CH3F(Ç÷ç¿À¸£È­¸ÞÆ¿)¿Í µµÇΰ¡½ºÀÎ B2H6(´ÙÀ̺¸·¹ÀÎ)ÀÇ »ý»ê½Ã¼³À» ¿Ï°øÇÏ°í º»°ÝÀûÀÎ ½Ã¿îÀü¿¡ µ¹ÀÔÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù.

ÀÌ¹Ì ±¹³»¿Ü¿¡ Ư¼ö°¡½º°èÅë °í°´ÃþÀ» µÎÅÓ°Ô È®º¸ÇÏ°í ÀÖ´Â ÀÌ È¸»ç´Â ±× µ¿¾È ¼öÀÔ¿¡ ÀÇÁ¸ÇØ ¿Ô´ø ÃÊ°í¼øµµ NH3, C4F8, BF3 µîÀ» ºñ·Ô BCl3, C2F6, CF4, Cl2, HBr, HCl, 1% B2H6/N2, 1% PH3/H2 µî ¸Å¿ì ´Ù¾çÇÑ ÃÊ°í¼øµµ ¹× È¥ÇÕ°¡½º¸¦ °ø±ÞÇÏ°í ÀÖ´Ù.

À̹ø¿¡ º»°Ý »ý»êÀ» ¾ÕµÎ°í ÀÖ´Â CH3F´Â ½Ç¸°ÄÜ ¿þÀÌÆÛ »óÀÇ ÇÊ¿ä ºÎºÐ¸¸ ³²°ÜµÎ°í ³ª¸ÓÁö ¹°ÁúÀ» Á¦°ÅÇÏ´Â Dry Etching °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ¸ç ¿ëµµ´Â V NAND¿Í DRAM ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤ µî¿¡ »ç¿ëµÈ´Ù.

µµÇΰ¡½ºÀÎ B2H6´Â ºÒ¼ø¹°À» ÷°¡ÇÏ¿© Àü±âÀû Ư¼ºÀ» Á¶ÀýÇÏ´Â DopantÀÇ Çϳª·Î ÁÖ·Î ¹ÝµµÃ¼ Diffusion °øÁ¤¿¡ ¸¹ÀÌ ¾²ÀÌ´Â °ÍÀ¸·Î ¿­·ÁÁ³´Ù.

ÀÌ¿Í ÇÔ²² ÀÌ È¸»ç´Â ÃÖ±Ù ¹ÝµµÃ¼»ê¾÷ÀÇ È£È²¿¡ ÈûÀÔ¾î Àå±âÀûÀÎ ¾È¸ñ¿¡¼­ ±âÁ¸ÀÇ ¼öÀÔ´ëü Ç°¸ñÀÇ È®´ë»ý»ê °èȹ ÃßÁøÀº ¹°·Ð Àü·® ¼öÀÔ¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏ°í ÀÖ´Â Xenon, Neon, Krypton µî Rare GasÀÇ ¼ö±Þ ¾ÈÁ¤È­ Â÷¿ø¿¡¼­ ÇØ¿Ü Æ¯¼ö°¡½º Àü¹®Á¦Á¶¾÷ü¿Í ´Ù³â°£ °ø±Þ°è¾àÀ» ü°áÇÔÀ¸·Î½á Çѱ¹³» ¹ÝµµÃ¼ ¾÷Á¾ÀÇ ¼ö¿ä ¾ÈÁ¤È­ ±â¹ÝÀ» È®º¸ÇÑ °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù.

ÀÌ ¹Û¿¡µµ Áö¼ÓÀûÀÎ ÅõÀÚ¿Í ¿µ¾÷È®´ë¸¦ ÅëÇÑ ²ÙÁØÇÑ ¼ºÀå¼¼¸¦ ±¸°¡ÇÏ°í ÀÖ´Â MGPK¾Æ»ê°øÀå¿¡ ÇâÈÄ 3³â°£ ¼³ºñ½Ã¼³º¸¿Ï°ú Ç°Áú°ü¸® ¹× »ý»ê´É·Â È®´ë µîÀ» À§ÇØ 5,000¸¸ ´Þ·¯ÀÇ ÅõÀÚ°èȹÀ» ÁøÇàÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç,

   
 

MGPK´Â ÀÌ·¯ÇÑ ±â¾÷È°µ¿°ú Á¦Ç°¿¡ ´ëÇÑ È«º¸ ¹× Á¤º¸Á¦°ø Â÷¿ø¿¡¼­ ±âÁ¸ Home Page ¸¦ Àü¸é °³ÆíÇÏ´Â ¸®´º¾ó(Renewal) ¿ÀÇÂÀ» 11¿ùÁß¿¡ ½ÃÇàÇÒ °èȹÀ̸ç, ´Ù±¹¾î Á¤º¸Á¦°øÀ¸·Î ÇؿܹÙÀ̾îµé¿¡ ´ëÇÑ ¸¶ÄÉÆÿ¡ È°¿ëÇÑ´Ù´Â Àü·«ÀÌ´Ù.

¶ÇÇÑ Áö³­ 7¿ù MGPKÀÇ ¸ðȸ»çÀÎ ÀϺ» Taiyo Nippon Sanso Corporation(ÀÌÇÏ TNSC)Àº Praxair¿Í LindeÀÇ ÇÕº´¿¡ µû¸¥ À¯·´ ³» Praxair, Inc. ÀÇ »ê¾÷¿ë°¡½º »ç¾÷ ¹× ÀÚ»êµéÀ» 50¾ïÀ¯·Î(ÇÑÈ­ 6Á¶5,436¾ï¿ø)¿¡ ÀÏ°ýÀûÀ¸·Î ¸ÅÀÔÇÏ´Â °è¾àÀ» ü°áÇÏ¿´À¸¸ç, À̹ø °è¾àÀÇ ¼º»ç·Î TNSC´Â À¯·´½ÃÀå ÁøÃâ°ú ´õºÒ¾î ±Û·Î¹ú »ç¾÷È®ÀåÀÇ ¹ßÆÇÀ» È®°íÇÏ°Ô ¸¶·ÃÇÏ´Â ±âȸ¸¦ ÀâÀº °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁö°í ÀÖ´Ù.

   
 

ÇÑÆí Áö³­ 1995³â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿¡ »ç¿ëµÇ´Â Ư¼ö°¡½ºÀÇ Á¦Á¶¿Í ¼öÀÔÆǸŸ¦ ¸ñÀûÀ¸·Î ¹Ì±¹ Matheson Tri-GasÀÇ Çѱ¹¹ýÀÎÀ¸·Î ¼³¸³µÈ MGPK´Â ÇöÀç º»»ç ¹× °øÀåÀº Ãæ³² õ¾È°ú ¾Æ»ê¿¡ À§Ä¡ÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç ¿Ü±¹ÀÎ ÅõÀÚ°¡¾÷ µî·Ï°ú ´õºÒ¾î 3õ¸¸ºÒ ¼öÃâž ¼ö»ó, ¼º½Ç³³¼¼ÀÚ ¼±Á¤ µé ¿ì¼ö±â¾÷¹®È­ â´Þ¿¡ ¾ÕÀå¼­°í ÀÖ´Ù.

i°¡½ºÀú³ÎÀÇ ´Ù¸¥±â»ç º¸±â  
ÆùƮŰ¿ì±â ÆùÆ®ÁÙÀ̱â ÇÁ¸°Æ®Çϱ⠸ÞÀϺ¸³»±â ½Å°íÇϱâ
Æ®À§ÅÍ ÆäÀ̽ººÏ ¹ÌÅõµ¥ÀÌ ³×À̹ö ±¸±Û msn µÚ·Î°¡±â À§·Î°¡±â
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0)
ÀÚµ¿µî·Ï¹æÁö¿ë Äڵ带 ÀÔ·ÂÇϼ¼¿ä!   
È®ÀÎ
- 200ÀÚ±îÁö ¾²½Ç ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. (ÇöÀç 0 byte / ÃÖ´ë 400byte)
- ¿å¼³µî ÀνŰø°Ý¼º ±ÛÀº »èÁ¦ ÇÕ´Ï´Ù. [¿î¿µ¿øÄ¢]
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0)
°¡Àå ¸¹ÀÌ º» ´º½º
1
[COMPANY NEWS] È¿¼ºÈ­ÇÐ, Ư¼ö°¡½º»ç¾÷ºÎ ¼Ò¼öÁöºÐ ¸Å°¢ ÃßÁø
2
Linde, ºÐ±â ¹è´ç±Ý 9% È®´ë
3
ìí TNSC¡¤Iwatani, »ê¾÷¿ë°¡½º °¡°Ý µÎÀÚ¸´¼ö Àλó
4
Air Liquide, ±Û·Î¹úÆÄ¿îµå¸®¿¡ °í¼øµµ Áú¼Ò °ø±Þ
5
[Click] ÅëÇÕ ¹ÙÀÌ¿À°¡½ºÈ­ »ç¾÷ ´ë»ó ÁöÀÚü 8°³ ¼±Á¤
6
°¡½º¾ÈÀüÍë, ¡®¼ö¼ÒÁ¦Ç°½ÃÇèÆò°¡¼¾ÅÍ¡¯ °³¼Ò
7
°¡½º¾ÈÀüÍë °æ±âÁö¿ª, °£ºÎ °£´ãȸ ¹× °¡½º¾ÈÀüÄ·ÆäÀÎ ½Ç½Ã
8
[»ý°¢ÇÏ´Â ±Û] ºÒÇàÀº ¡®Çູ¡¯ ¿·¿¡ ÀÖ´Ù.
9
¿¡±âæÚ, ¡°°Ç¹° ¿¡³ÊÁö °ü¸® °ÆÁ¤ ±×¸¸¡± °íÀå±îÁö ½Ç½Ã°£À¸·Î °ü¸®ÇÑ´Ù
10
¿¡±âæÚ, ž籤±â¾÷°øµ¿È°¿ë¿¬±¸¼¾ÅÍ ÁØ°ø
ȸ»ç¼Ò°³¤ý±â»çÁ¦º¸¤ý±¤°í¹®ÀǤýºÒÆí½Å°í¤ý°³ÀÎÁ¤º¸Ãë±Þ¹æħ¤ýÀ̸ÞÀϹ«´Ü¼öÁý°ÅºÎ¤ýû¼Ò³âº¸È£Á¤Ã¥
ȸ»ç : i°¡½ºÀú³Î | Á¦È£ : ¿Â¶óÀΰ¡½ºÀú³Î | µî·Ï¹øÈ£ : ¼­¿ï, ¾Æ53038 | µî·ÏÀÏÀÚ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | ¹ßÇàÀÎ : À̶ô¼ø | ÆíÁýÀÎ : ±èÈ£ÁØ
ÁÖ¼Ò : ¼­¿ï½Ã °­¼­±¸ ¸¶°îÁß¾Ó4·Î 18 ¸¶°î±×¶ûÆ®À©Å¸¿ö Bµ¿ 702È£| ÀüÈ­¹øÈ£ : 02-2645-9701 | ¹ßÇàÀÏ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : À̶ô¼ø
Copyright © 2004 ¾ÆÀÌ°¡½ºÀú³Î. All rights reserved.