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[행사] ‘전세계 반도체 시장의 트렌드를 느끼다’신제품·신기술의 향연
김호준 기자  |  reporter@igasnet.com
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승인 2019.02.22  
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470여개 업체 참여…역대 최대 규모

 

   
 

국내 최대 반도체 장비·재료 전시회인 ‘세미콘 코리아(Semicon Korea) 2019’이 지난 1월 23일부터 1월 25일까지 3일간 서울 삼성동 코엑스 전시장에서 성황리에 개최됐다.

올해로 32회째를 맞은 이번 행사는 전 세계 반도체 장비재료 산업을 선도하는 20개국, 470여개 업체가 참가해 자사의 각종 반도체 관련 장비와 신기술 등을 선보였다.

특히 이번 전시회는 역대 최대 규모(2,037개 부스)로 개최되면서 참가 업체 수는 물론 관람객들도 큰 폭으로 늘어나 최근 반도체 시장의 호황 분위기를 가늠케 했다. 무엇보다 올해 전시회에서는 반도체 관련 제품의 소형화와 다양한 활용 분야를 직접 눈으로 확인할 수 있어 관람객들의 눈을 즐겁게 했다.

SEMI(국제반도체장비재료협회) 한국지사 대표인 조현대 사장의 개회사를 시작으로 막을 올린 이번 행사에서는 미국 Headquarter의 CEO인 Ajit Manocha, SEMI국제이사회의 한국멤버인 이용한 회장의 축사가 진행됐다. 이어 삼성전자 심은수 삼성종합기술원 센터장이 ‘On-Device Artificial Intelligence’를 주제로 기조연설을 진행, 최근 반도체 산업의 화두인 인공지능(AI)과 미래 컴퓨팅에 대해 소개해 주목을 받았다.

이밖에도 ▲AI 서밋 ▲MEMS & Sensor 서밋 ▲스마트 매뉴팩처링 포럼 ▲MI(Metrology and Inspection) 포럼 ▲테스트 포럼 ▲SEMI 기술심포지엄(STS) ▲마켓 세미나 ▲구매상담회 ▲대학생 전용프로그램 ▲국제 표준회의 등의 다채로운 부대행사도 진행됐다.

SEMI 한국지사 조현태 사장은 “세미콘 코리아 2019는 반도체 산업의 건강한 생태계를 지원하고 SEMI 회원사들의 글로벌 비즈니스 기회를 확장하며 반도체 기술의 현재와 미래 기술을 조망하는 대한민국 최대의 반도체 산업전”이라며 “앞으로도 반도체 산업의 성장을 지원하겠다”고 밝혔다.

 

반도체 관련 장비·시스템 등 제품 및 기술 홍보

 

   
 

이번 행사의 주요 출품 목록으로는 반도체 제조공정에 쓰이는 각종 특수가스 생산 기술 시스템과 함께 프라즈마 운용시스템, 액체 초저온 장비, 리모드 모니터링 시스템, 가스 캐비닛 등 가스관련 장비 수십여 종과 기술들이 전시 및 소개됐다.

우선 케이씨텍을 비롯해 유진테크, 에드워드, 동우화인켐, 한양이엔지, 주성엔지니어링 등의 반도체 장비업체가 최신 반도체·장비관련 제품과 태양전지 제조 장비를 선보이며 관람객들을 맞았다. 특히 이들 장비업체는 이번 전시회에 반도체 회로선폭이 10나노미터(㎚)대로 미세화되는 추세에 발맞춰 수율(yield)과 생산성(Throughput)을 높일 수 있는 장비들을 대거 출품했다.

이 가운데 케이씨텍은 관계사인 케이씨이엔씨, 케이씨티엔에스, 케이씨케이테크 등과 함께 참가해 반도체 세정장비(Cleaner) 및 웨이퍼 연마장비(CMP) 등을 비롯해 신수종사업인 전자소재와 관련, 지르코늄산화물(지르코니아)을 활용한 신소재인 고굴절도료를 공개했다. 특히 회사는 합작사와 자회사를 통해 울트라 퓨어가스 퓨리파이어를 비롯해 토탈가스 스크럼버 솔루션, 반도체 연마제(슬러리) 등 반도체와 디스플레이 장비는 물론 전자소재 등 유관분야 사업을 패널로 소개해 눈길을 끌었다. 함께 참가한 관계회사인 반도체관련 특수가스 및 케미칼 유통업체인 케이씨티엔에스는 같은 부스를 통해 고순도 가스플랜트 제조기술과 가스공급시스템을 비롯해 이와타니의 특수가스(헬륨, 크세논, 크립톤, 네온)와 논-플라즈마 자가 클리닝 가스, 클린용기 등을 패널로 소개하기도 했다.

이와 함께 진공 및 가스처리 솔루션 세계 최대 생산업체인 에드워드는 이번 행사를 통해 점점 다양해지는 반도체 장비 시장에서의 경쟁력 향상을 위해 새로운 진공 및 가스처리기술 솔루션을 선보였다. 특히 전시회에 출품된 차세대 iXH건식 펌프는 넓은 범위의 온도에 대한 내구성을 갖춰 펌프 성능 최적화를 이뤄 프로세스 가스 응축과 부산물 축적을 최소화 한 것이 특징이다. 에드워드코리아 윤재홍 대표는 “전세계적으로 대기 배출 가스에 대한 법규가 강화되면서 이에 따른 대응책에 대한 관심이 높아지고 있고 동시에 발달하는 첨단 기술력을 실현하기 위한 최적 진공 및 가스처리 솔루션이 요구되고 있다”며 “이에 따라 곧 출시될 에드워드의 차세대 iXH건식 펌프는 공정 부산물 대응에 최적의 솔루션을 제공할 것”이라고 말했다.

 

특수가스 및 밸브·레귤레이터 업체 기술 각축

SKM·WONIKM·VERSUM·ROTAREX 등

 

   
   
 

이번 행사에서는 예년과 같이 반도체 장비·재료 업체 뿐 아니라 제조공정에 사용되는 산업용가스 관련 업체도 참가해 각종 특수가스 관련 장비와 생산기술 시스템 등을 선보였다.

먼저 국내 최대 반도체용 특수가스제조업체인 SK머티리얼즈는 기존의 삼불화질소(NF3), 모노실란(SiH4), 육불화텅스텐(WF6)을 비롯해 국산화를 통해 국내기업에 공급중인 디실란(Si2H6), 디클로로실란(SiH2Cl2)은 물론 타이타늄 전구체, 탄탈륨 전구체 등 반도체공정용에 쓰이는 다양한 제품들을 패널을 통해 소개했다. 특히 회사는 반도체공정용 가스 및 소재 분야의 다양한 제품 뿐 아니라 관련 서비스까지 한눈에 파악할 수 있도록 전시 공간을 꾸며 관람객들의 눈길을 끌었다. 또한 SK머티리얼즈는 특수가스뿐만 아니라 자회사인 SK에어가스의 산업가스(산소, 질소, 아르곤), SK트리켐의 전구체(Precursor), SK쇼와덴코의 식각가스(CH3F, C4F6), 신규 사업인 고기능성 웻 케미칼(Wet Chemical)까지 다양한 제품과 통합물류시스템(BSGS:Bulk Specialty Gas Supply System)등의 관련서비스도 소개했다.

이 회사 박종흥 영업본부장은 “단순히 제품을 생산, 판매하는 기업이 아니라 고객의 요구와 시장의 흐름을 선제적으로 파악해 원재료부터 물류, 용기, 서비스 등 여러 분야의 협력사와 공유·협업을 통해 소재 플랫폼을 구축, 고객이 원하는 다양한 제품과 서비스를 제공하고 있다”며 “앞으로 소재 플랫폼 구축을 통해 원재료부터 제품, 용기, 물류, 최종 공급에 이르기까지 전반에 걸친 통합솔루션을 제공하는 기업으로 발돋움 해 나갈 것”이라고 밝혔다.

이와 함께 원익IPS, 원익쿼츠 등 관계사와 함께 참가한 토종 특수가스업체인 원익머트리얼즈도 각종 반도체용 특수가스 생산기술을 비롯해 ISO Supply System, 각종 정제장치 등을 선보이며 관람객들을 맞았다. 이 회사는 Y톤용기 및 톤실린더 시스템을 통해 공급하는 포스핀(PH3), 이산화탄소(CO2), 염소(Cl2), 육불화황(SF6) 등을 안내책자와 패널을 통해 소개하기도 했으며 ISO튜브트레일러를 통해 공급하는 고순도 암모니아(NH3)를 비롯해 아산화질소(N2O), 저메인(GeH4), 디실란(Si2H4) 등의 각종 반도체용 특수가스 생산기술을 바이어들에게 홍보하며 높은 관심을 얻었다. 뿐만 아니라 실리콘(Si) 기반의 전구체인 HCDS(Si2Cl6), 3DMAS, BDEAS와 지르코늄 기반의 High-k 유전체 전구체 Cp-Zr 등도 소개됐다.

특히 올해 전시회에서 회사는 고객 편의를 위한 신개념 Y톤용기 운반용 스키드를 개발, 선보이며 주목을 받았다. 새롭게 개발된 스키드는 상·하·좌·우로 조절이 가능해 고객의 다양한 현장 요구에 빠른 대응이 가능하다. 이에 다양한 크기의 Y톤용기를 장착할 수 있어 현장에서의 활용도가 높아 질 것으로 기대되고 있다.

회사 관계자는 “올해부터 회사는 본격적으로 성장하는 중국 반도체 시장을 겨냥해 중국 현지에 특수가스 공장 설립에 나선다는 계획”이라며 “앞으로 국내 뿐 아니라 해외사업 및 신규사업 확대를 통해 실적을 더욱 높일 예정”이라고 말했다.

반도체 특수가스 및 장비제조업체인 버슘머트리얼즈코리아도 이번 전시회에 삼불화질소(NF3), 육불화부타디엔(C4F6), 사플루오르화탄소(SiF4), 아산화질소(N2O) 등 특수가스 제품을 선보였다. 또한 웨이퍼 가공공정에서 안전하게 특수가스를 공급할 수 있는 장비와 함께 신소재 사업 분야인 박막 증착에 사용되는 전구체 물질 TEOS(사에틸 오르토실리케이트), TiCL4(사염화티탄), 특수케미칼 LTO-520 등을 비롯해 화학기계연마(CMP) 공정에서 쓰이는 슬러리와 클린 소재들을 홍보해 주목을 받았다.

초소형 전자산업용 특수가스, 화학물질 등 첨단소재 처리솔루션을 제공하는 인테그리스는 반도체공정에 사용되는 재료나 케미컬을 안전하게 보관운송하는 제품들을 선보여 눈길을 끌었다. 특히 이번 전시회에서는 레귤레이터를 장착한 소형 특수가스용기에 아르신(AsH3)과 포스핀(PH3) 등의 가스를 충전한 제품을 중점 홍보했다. 아울러 회사는 반도체 및 LED응용분야의 웨이퍼 수율을 대폭 개선해 주는 가스정제시스템(GPS)인 게이트키퍼(Gate Keeper)와 함께 최첨단 POU(point-of-use) 포토리소그래피 애플리케이션을 위한 혁신적인 Oktolex 멤브레인 기술도 함께 공개했다. 김재원 사장은 “인테그리스는 고성능 필터, 어드벤스드 머티리얼즈 핸들링 제품과 역량을 통해 케미컬이 생산되는 초기 단계부터 칩 메이커에게 제공되는 최종 단계까지 고순도 케미컬을 제공할 수 있는 역량을 제공하고 있다”고 소개했다.

한편 가스 밸브 및 레귤레이터 등 장비와 관련해서는 로타렉스그룹의 한국총판으로 특수가스 장비 전문기업인 로타렉스 루스테크는 모노실란(SiH4) 등의 실란계 가스용 밸브 및 레귤레이터 라인업인 S-라인과 불소(F2)용인 F라인, 삼불화질소(NF3)용인 T라인 등의 특수가스 전용 밸브제품 라인업을 선보였다. 특히 공기의 압력을 이용해 자동으로 작동하는 자동밸브가 바이어들의 호평을 얻었으며 소공간 자동 소화 시스템 및 완벽한 감지 및 화재 진압 시스템도 눈길을 끌었다.

이밖에도 미국에 본사를 둔 오염관리 전문회사인 한국폴은 유수 산업용가스 메이커에 납품되고 있는 초고순도 가스정제기(다양한 가스에 적용 가능)를 비롯해 반도체 암모니아 공정에서 사용되는 최신 HB-LED용 암모니아가스 퓨리파이어, 질소 내 수분 측정을 위한 고감도 분석기 등을 홍보했다. 또한 공압기기 제조 전문업체인 CKD는 질소 유량컨트롤러를 비롯해 질소 공급 시스템 유닛, 프로세스 가스용 레귤레이터 등을 출품했으며 반도체 진공밸브 업체인 테라텍은 가스 혼합시스템 믹서를 비롯해 가스정화 시스템, 가스공급 시스템, 수소충전소 시스템 등의 기술을 선보였다.

이밖에도 드라스타, 성화전자, 하니웰, SMC코리아, UCT코리아, 가스트론, UNILOK, 아래스 YUTAKA, 스웨이지락 등도 초고순도 밸브 및 레귤레이터, 가스 검지기·경보기 등의 가스관련 장비를 출품하며 자사제품을 홍보했다.

 

올해 반도체 시장, 전반적 하강국면 진입

2020년 회복 전망

 

   
 

이번 세미콘코리아 개막에 앞서 국제반도체장비재료협회(SEMI)는 전세계 반도체 시장과 관련한 기자간담회를 개최했다.

이날 간담회에서는 고점 논란이 끊이지 않던 전세계 반도체 시장이 올해 하강 국면에 접어들 것이라는 전망들이 나왔다.

이날 연사들은 대부분 2013년 3,000만달러 시장에서 2018년 4,700만달러 시장으로 고속성장한 반도체 시장이 2019년에 역풍을 맞을 것으로 전망했다. 특히 메모리의 경우 중국 경기 하강과 소비 수요 감소, 미국과 중국의 무역분쟁, 미국의 금리 인상 여파에 1분기, 2분기 가격 하락 압력이 심각해 질 것으로 예상했다.

SEMI(국제반도체장비재료협회) 클락 첸 디렉터는 “올해 상반기 반도체 시장에 추가적인 어려움이 있을 것”이라며 “휴대폰과 PC 출하량이 감소하는 등의 이유로 전반적인 수요가 줄어들고 이에 재고물량이 많이 남아 이를 조정하는 과정에서 가격 압박이 계속 있을 것"이라고 말했다. 그는 이 같은 흐름이 오는 2분기까지 이어질 것으로 관측했다.

상반기 시장 침체는 반도체 업체들의 투자 감소로도 이어질 전망이다. 첸 디렉터는 올해 팹(Fab) 투자가 전년 대비 10% 감소할 것으로 예상했다. D램과 낸드플래시 등 메모리반도체의 캐팩스(시설투자)는 전년 대비 2~30% 줄어들 것으로 보인다. 반도체 시장 침체에 따라 업체들이 전반적인 투자 규모를 줄이는 것으로 풀이된다.

다만 이 같은 침체는 길게 이어지지는 않을 전망이다. 세미코 리서치 짐 펠드한 대표는 올해 반도체 시장이 4,810억달러(약 543조원)로 전년 대비 0.1% 줄어들겠지만 2020년에는 3.3% 오른 5,035억달러(약 569조원)로 커질 것으로 예측했다.

짐 펠드한 대표는 사물인터넷(IoT), 인공지능(AI)이 앞으로 반도체 성장을 견인할 것으로 내다봤다. 그는 “스마트시티, 건축, 금융, 농업 등에 사물인터넷이 적용되고 있고 앞으로 더욱 다양하게 적용될 것”이라며 “AI 역시 스마트시티, 바이오, 자율주행차, 모바일 등 다양한 분야에서 이용될 전망”이라고 말했다.

   
 

특히 전기차와 자율주행차 등 자동차 분야의 성장에 주목했다. 올해 성장 폭은 1%로 크지 않겠지만 앞으로 성장 폭이 클 것으로 예상되기에 해당 시장을 주도면밀하게 지켜봐야 한다는 주장인 것이다. 펠드한 대표는 “2021년까지 자동차에 들어가는 반도체는 770억달러에 이를 것”이라며 “계속해서 큰 폭의 성장이 이어질 것”이라고 낙관했다. 다만 데스크탑·노트북 PC, 스마트폰 등 그간 반도체 시장의 성장을 이끌어 왔던 분야에서는 성장세가 더디거나 마이너스 성장을 기록할 것으로 예측했다.

파운드리 시장이 향후 반도체 시장의 성장세를 이끌 것이라는 주장도 나왔다. DB하이텍 이윤종 부사장은 “올해 이후 파운드리 시장의 성장률이 전체 반도체 시장 평균치보다 더 높을 것으로 보인다”며 “2020년 이후에는 파운드리 시장의 연간 성장률이 7% 이상에 달할 것”이라고 말했다.

한편 반도체용 특수가스는 지난해 43억달러 시장에서 올해 45억달러로 4.7% 성장할 것으로 예측됐다.

 

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