Ȩ > ÀÎÅͺä/Ž¹æ
[Çà»ç] ¡®Àü¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀåÀÇ Æ®·»µå¸¦ ´À³¢´Ù¡¯½ÅÁ¦Ç°¡¤½Å±â¼úÀÇ Ç⿬
±èÈ£ÁØ ±âÀÚ  |  reporter@igasnet.com
ÆùƮŰ¿ì±â ÆùÆ®ÁÙÀ̱â ÇÁ¸°Æ®Çϱ⠸ÞÀϺ¸³»±â ½Å°íÇϱâ
½ÂÀÎ 2019.02.22  
Æ®À§ÅÍ ÆäÀ̽ººÏ ¹ÌÅõµ¥ÀÌ ³×À̹ö ±¸±Û msn

470¿©°³ ¾÷ü Âü¿©…¿ª´ë ÃÖ´ë ±Ô¸ð

 

   
 

±¹³» ÃÖ´ë ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ·Àç·á Àü½ÃȸÀÎ ‘¼¼¹ÌÄÜ ÄÚ¸®¾Æ(Semicon Korea) 2019’ÀÌ Áö³­ 1¿ù 23ÀϺÎÅÍ 1¿ù 25ÀϱîÁö 3ÀÏ°£ ¼­¿ï »ï¼ºµ¿ ÄÚ¿¢½º Àü½ÃÀå¿¡¼­ ¼ºÈ²¸®¿¡ °³ÃֵƴÙ.

¿ÃÇØ·Î 32ȸ°¸¦ ¸ÂÀº À̹ø Çà»ç´Â Àü ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ ÀåºñÀç·á »ê¾÷À» ¼±µµÇÏ´Â 20°³±¹, 470¿©°³ ¾÷ü°¡ Âü°¡ÇØ ÀÚ»çÀÇ °¢Á¾ ¹ÝµµÃ¼ °ü·Ã Àåºñ¿Í ½Å±â¼ú µîÀ» ¼±º¸¿´´Ù.

ƯÈ÷ À̹ø Àü½Ãȸ´Â ¿ª´ë ÃÖ´ë ±Ô¸ð(2,037°³ ºÎ½º)·Î °³ÃֵǸ鼭 Âü°¡ ¾÷ü ¼ö´Â ¹°·Ð °ü¶÷°´µéµµ Å« ÆøÀ¸·Î ´Ã¾î³ª ÃÖ±Ù ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀåÀÇ È£È² ºÐÀ§±â¸¦ °¡´ÆÄÉ Çß´Ù. ¹«¾ùº¸´Ù ¿ÃÇØ Àü½Ãȸ¿¡¼­´Â ¹ÝµµÃ¼ °ü·Ã Á¦Ç°ÀÇ ¼ÒÇüÈ­¿Í ´Ù¾çÇÑ È°¿ë ºÐ¾ß¸¦ Á÷Á¢ ´«À¸·Î È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ¾î °ü¶÷°´µéÀÇ ´«À» Áñ°Ì°Ô Çß´Ù.

SEMI(±¹Á¦¹ÝµµÃ¼ÀåºñÀç·áÇùȸ) Çѱ¹Áö»ç ´ëÇ¥ÀÎ Á¶Çö´ë »çÀåÀÇ °³È¸»ç¸¦ ½ÃÀÛÀ¸·Î ¸·À» ¿Ã¸° À̹ø Çà»ç¿¡¼­´Â ¹Ì±¹ HeadquarterÀÇ CEOÀÎ Ajit Manocha, SEMI±¹Á¦ÀÌ»çȸÀÇ Çѱ¹¸â¹öÀÎ ÀÌ¿ëÇÑ È¸ÀåÀÇ Ãà»ç°¡ ÁøÇàµÆ´Ù. ÀÌ¾î »ï¼ºÀüÀÚ ½ÉÀº¼ö »ï¼ºÁ¾ÇÕ±â¼ú¿ø ¼¾ÅÍÀåÀÌ ‘On-Device Artificial Intelligence’¸¦ ÁÖÁ¦·Î ±âÁ¶¿¬¼³À» ÁøÇà, ÃÖ±Ù ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ È­µÎÀÎ ÀΰøÁö´É(AI)°ú ¹Ì·¡ ÄÄÇ»Æÿ¡ ´ëÇØ ¼Ò°³ÇØ ÁÖ¸ñÀ» ¹Þ¾Ò´Ù.

À̹ۿ¡µµ ¡ãAI ¼­¹Ô ¡ãMEMS & Sensor ¼­¹Ô ¡ã½º¸¶Æ® ¸Å´ºÆÑó¸µ Æ÷·³ ¡ãMI(Metrology and Inspection) Æ÷·³ ¡ãÅ×½ºÆ® Æ÷·³ ¡ãSEMI ±â¼ú½ÉÆ÷Áö¾ö(STS) ¡ã¸¶ÄÏ ¼¼¹Ì³ª ¡ã±¸¸Å»ó´ãȸ ¡ã´ëÇлý Àü¿ëÇÁ·Î±×·¥ ¡ã±¹Á¦ Ç¥ÁØȸÀÇ µîÀÇ ´Ùä·Î¿î ºÎ´ëÇà»çµµ ÁøÇàµÆ´Ù.

SEMI Çѱ¹Áö»ç Á¶ÇöÅ »çÀåÀº “¼¼¹ÌÄÜ ÄÚ¸®¾Æ 2019´Â ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ °Ç°­ÇÑ »ýÅ°踦 Áö¿øÇÏ°í SEMI ȸ¿ø»çµéÀÇ ±Û·Î¹ú ºñÁî´Ï½º ±âȸ¸¦ È®ÀåÇÏ¸ç ¹ÝµµÃ¼ ±â¼úÀÇ ÇöÀç¿Í ¹Ì·¡ ±â¼úÀ» Á¶¸ÁÇÏ´Â ´ëÇѹα¹ ÃÖ´ëÀÇ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷Àü”À̶ó¸ç “¾ÕÀ¸·Îµµ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ ¼ºÀåÀ» Áö¿øÇÏ°Ú´Ù”°í ¹àÇû´Ù.

 

¹ÝµµÃ¼ °ü·Ã Àåºñ·½Ã½ºÅÛ µî Á¦Ç° ¹× ±â¼ú È«º¸

 

   
 

À̹ø Çà»çÀÇ ÁÖ¿ä ÃâÇ° ¸ñ·ÏÀ¸·Î´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤¿¡ ¾²ÀÌ´Â °¢Á¾ Ư¼ö°¡½º »ý»ê ±â¼ú ½Ã½ºÅÛ°ú ÇÔ²² ÇÁ¶óÁ ¿î¿ë½Ã½ºÅÛ, ¾×ü ÃÊÀú¿Â Àåºñ, ¸®¸ðµå ¸ð´ÏÅ͸µ ½Ã½ºÅÛ, °¡½º ijºñ´Ö µî °¡½º°ü·Ã Àåºñ ¼ö½Ê¿© Á¾°ú ±â¼úµéÀÌ Àü½Ã ¹× ¼Ò°³µÆ´Ù.

¿ì¼± ÄÉÀ̾¾ÅØÀ» ºñ·ÔÇØ À¯ÁøÅ×Å©, ¿¡µå¿öµå, µ¿¿ìÈ­ÀÎÄÍ, ÇѾçÀÌ¿£Áö, ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µ µîÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ¾÷ü°¡ ÃֽŠ¹ÝµµÃ¼·Àåºñ°ü·Ã Á¦Ç°°ú žçÀüÁö Á¦Á¶ Àåºñ¸¦ ¼±º¸ÀÌ¸ç °ü¶÷°´µéÀ» ¸Â¾Ò´Ù. ƯÈ÷ À̵é Àåºñ¾÷ü´Â À̹ø Àü½Ãȸ¿¡ ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î¼±ÆøÀÌ 10³ª³ë¹ÌÅÍ(§¬)´ë·Î ¹Ì¼¼È­µÇ´Â Ãß¼¼¿¡ ¹ß¸ÂÃç ¼öÀ²(yield)°ú »ý»ê¼º(Throughput)À» ³ôÀÏ ¼ö ÀÖ´Â ÀåºñµéÀ» ´ë°Å ÃâÇ°Çß´Ù.

ÀÌ °¡¿îµ¥ ÄÉÀ̾¾ÅØÀº °ü°è»çÀÎ ÄÉÀ̾¾ÀÌ¿£¾¾, ÄÉÀ̾¾Æ¼¿£¿¡½º, ÄÉÀ̾¾ÄÉÀÌÅ×Å© µî°ú ÇÔ²² Âü°¡ÇØ ¹ÝµµÃ¼ ¼¼Á¤Àåºñ(Cleaner) ¹× ¿þÀÌÆÛ ¿¬¸¶Àåºñ(CMP) µîÀ» ºñ·ÔÇØ ½Å¼öÁ¾»ç¾÷ÀÎ ÀüÀÚ¼ÒÀç¿Í °ü·Ã, Áö¸£ÄÚ´½»êÈ­¹°(Áö¸£ÄڴϾÆ)À» È°¿ëÇÑ ½Å¼ÒÀçÀÎ °í±¼Àýµµ·á¸¦ °ø°³Çß´Ù. ƯÈ÷ ȸ»ç´Â ÇÕÀÛ»ç¿Í ÀÚȸ»ç¸¦ ÅëÇØ ¿ïÆ®¶ó Ç»¾î°¡½º Ç»¸®ÆÄÀ̾ ºñ·ÔÇØ ÅäÅ»°¡½º ½ºÅ©·³¹ö ¼Ö·ç¼Ç, ¹ÝµµÃ¼ ¿¬¸¶Á¦(½½·¯¸®) µî ¹ÝµµÃ¼¿Í µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ´Â ¹°·Ð ÀüÀÚ¼ÒÀç µî À¯°üºÐ¾ß »ç¾÷À» ÆгηΠ¼Ò°³ÇØ ´«±æÀ» ²ø¾ú´Ù. ÇÔ²² Âü°¡ÇÑ °ü°èȸ»çÀÎ ¹ÝµµÃ¼°ü·Ã Ư¼ö°¡½º ¹× ÄɹÌÄ® À¯Åë¾÷üÀÎ ÄÉÀ̾¾Æ¼¿£¿¡½º´Â °°Àº ºÎ½º¸¦ ÅëÇØ °í¼øµµ °¡½ºÇ÷£Æ® Á¦Á¶±â¼ú°ú °¡½º°ø±Þ½Ã½ºÅÛÀ» ºñ·ÔÇØ ÀÌ¿ÍŸ´ÏÀÇ Æ¯¼ö°¡½º(Çï·ý, Å©¼¼³í, Å©¸³Åæ, ³×¿Â)¿Í ³í-ÇöóÁ ÀÚ°¡ Ŭ¸®´× °¡½º, Ŭ¸°¿ë±â µîÀ» ÆгηΠ¼Ò°³Çϱ⵵ Çß´Ù.

ÀÌ¿Í ÇÔ²² Áø°ø ¹× °¡½ºÃ³¸® ¼Ö·ç¼Ç ¼¼°è ÃÖ´ë »ý»ê¾÷üÀÎ ¿¡µå¿öµå´Â À̹ø Çà»ç¸¦ ÅëÇØ Á¡Á¡ ´Ù¾çÇØÁö´Â ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ½ÃÀå¿¡¼­ÀÇ °æÀï·Â Çâ»óÀ» À§ÇØ »õ·Î¿î Áø°ø ¹× °¡½ºÃ³¸®±â¼ú ¼Ö·ç¼ÇÀ» ¼±º¸¿´´Ù. ƯÈ÷ Àü½Ãȸ¿¡ ÃâÇ°µÈ Â÷¼¼´ë iXH°Ç½Ä ÆßÇÁ´Â ³ÐÀº ¹üÀ§ÀÇ ¿Âµµ¿¡ ´ëÇÑ ³»±¸¼ºÀ» °®Ãç ÆßÇÁ ¼º´É ÃÖÀûÈ­¸¦ ÀÌ·ï ÇÁ·Î¼¼½º °¡½º ÀÀÃà°ú ºÎ»ê¹° ÃàÀûÀ» ÃÖ¼ÒÈ­ ÇÑ °ÍÀÌ Æ¯Â¡ÀÌ´Ù. ¿¡µå¿öµåÄÚ¸®¾Æ À±ÀçÈ« ´ëÇ¥´Â “Àü¼¼°èÀûÀ¸·Î ´ë±â ¹èÃâ °¡½º¿¡ ´ëÇÑ ¹ý±Ô°¡ °­È­µÇ¸é¼­ ÀÌ¿¡ µû¸¥ ´ëÀÀÃ¥¿¡ ´ëÇÑ °ü½ÉÀÌ ³ô¾ÆÁö°í ÀÖ°í µ¿½Ã¿¡ ¹ß´ÞÇϴ ÷´Ü ±â¼ú·ÂÀ» ½ÇÇöÇϱâ À§ÇÑ ÃÖÀû Áø°ø ¹× °¡½ºÃ³¸® ¼Ö·ç¼ÇÀÌ ¿ä±¸µÇ°í ÀÖ´Ù”¸ç “ÀÌ¿¡ µû¶ó °ð Ãâ½ÃµÉ ¿¡µå¿öµåÀÇ Â÷¼¼´ë iXH°Ç½Ä ÆßÇÁ´Â °øÁ¤ ºÎ»ê¹° ´ëÀÀ¿¡ ÃÖÀûÀÇ ¼Ö·ç¼ÇÀ» Á¦°øÇÒ °Í”À̶ó°í ¸»Çß´Ù.

 

Ư¼ö°¡½º ¹× ¹ëºê··¹±Ö·¹ÀÌÅÍ ¾÷ü ±â¼ú °¢Ãà

SKM·WONIKM·VERSUM·ROTAREX µî

 

   
   
 

À̹ø Çà»ç¿¡¼­´Â ¿¹³â°ú °°ÀÌ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ·Àç·á ¾÷ü »Ó ¾Æ´Ï¶ó Á¦Á¶°øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â »ê¾÷¿ë°¡½º °ü·Ã ¾÷üµµ Âü°¡ÇØ °¢Á¾ Ư¼ö°¡½º °ü·Ã Àåºñ¿Í »ý»ê±â¼ú ½Ã½ºÅÛ µîÀ» ¼±º¸¿´´Ù.

¸ÕÀú ±¹³» ÃÖ´ë ¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½ºÁ¦Á¶¾÷üÀÎ SK¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â ±âÁ¸ÀÇ »ïºÒÈ­Áú¼Ò(NF3), ¸ð³ë½Ç¶õ(SiH4), À°ºÒÈ­ÅÖ½ºÅÙ(WF6)À» ºñ·ÔÇØ ±¹»êÈ­¸¦ ÅëÇØ ±¹³»±â¾÷¿¡ °ø±ÞÁßÀÎ µð½Ç¶õ(Si2H6), µðŬ·Î·Î½Ç¶õ(SiH2Cl2)Àº ¹°·Ð ŸÀÌŸ´½ Àü±¸Ã¼, źŻ·ý Àü±¸Ã¼ µî ¹ÝµµÃ¼°øÁ¤¿ë¿¡ ¾²ÀÌ´Â ´Ù¾çÇÑ Á¦Ç°µéÀ» ÆгÎÀ» ÅëÇØ ¼Ò°³Çß´Ù. ƯÈ÷ ȸ»ç´Â ¹ÝµµÃ¼°øÁ¤¿ë °¡½º ¹× ¼ÒÀç ºÐ¾ßÀÇ ´Ù¾çÇÑ Á¦Ç° »Ó ¾Æ´Ï¶ó °ü·Ã ¼­ºñ½º±îÁö ÇÑ´«¿¡ ÆľÇÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï Àü½Ã °ø°£À» ²Ù¸ç °ü¶÷°´µéÀÇ ´«±æÀ» ²ø¾ú´Ù. ¶ÇÇÑ SK¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â Ư¼ö°¡½º»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ÀÚȸ»çÀÎ SK¿¡¾î°¡½ºÀÇ »ê¾÷°¡½º(»ê¼Ò, Áú¼Ò, ¾Æ¸£°ï), SKÆ®¸®ÄÍÀÇ Àü±¸Ã¼(Precursor), SK¼î¿Íµ§ÄÚÀÇ ½Ä°¢°¡½º(CH3F, C4F6), ½Å±Ô »ç¾÷ÀÎ °í±â´É¼º 웻 ÄɹÌÄ®(Wet Chemical)±îÁö ´Ù¾çÇÑ Á¦Ç°°ú ÅëÇÕ¹°·ù½Ã½ºÅÛ(BSGS:Bulk Specialty Gas Supply System)µîÀÇ °ü·Ã¼­ºñ½ºµµ ¼Ò°³Çß´Ù.

ÀÌ È¸»ç ¹ÚÁ¾Èï ¿µ¾÷º»ºÎÀåÀº “´Ü¼øÈ÷ Á¦Ç°À» »ý»ê, ÆǸÅÇÏ´Â ±â¾÷ÀÌ ¾Æ´Ï¶ó °í°´ÀÇ ¿ä±¸¿Í ½ÃÀåÀÇ È帧À» ¼±Á¦ÀûÀ¸·Î ÆľÇÇØ ¿øÀç·áºÎÅÍ ¹°·ù, ¿ë±â, ¼­ºñ½º µî ¿©·¯ ºÐ¾ßÀÇ Çù·Â»ç¿Í °øÀ¯·Çù¾÷À» ÅëÇØ ¼ÒÀç Ç÷§ÆûÀ» ±¸Ãà, °í°´ÀÌ ¿øÇÏ´Â ´Ù¾çÇÑ Á¦Ç°°ú ¼­ºñ½º¸¦ Á¦°øÇÏ°í ÀÖ´Ù”¸ç “¾ÕÀ¸·Î ¼ÒÀç Ç÷§Æû ±¸ÃàÀ» ÅëÇØ ¿øÀç·áºÎÅÍ Á¦Ç°, ¿ë±â, ¹°·ù, ÃÖÁ¾ °ø±Þ¿¡ À̸£±â±îÁö Àü¹Ý¿¡ °ÉÄ£ ÅëÇÕ¼Ö·ç¼ÇÀ» Á¦°øÇÏ´Â ±â¾÷À¸·Î ¹ßµ¸¿ò ÇØ ³ª°¥ °Í”À̶ó°í ¹àÇû´Ù.

ÀÌ¿Í ÇÔ²² ¿øÀÍIPS, ¿øÀÍÄõÃ÷ µî °ü°è»ç¿Í ÇÔ²² Âü°¡ÇÑ ÅäÁ¾ Ư¼ö°¡½º¾÷üÀÎ ¿øÀ͸ÓÆ®¸®¾óÁîµµ °¢Á¾ ¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º »ý»ê±â¼úÀ» ºñ·ÔÇØ ISO Supply System, °¢Á¾ Á¤Á¦ÀåÄ¡ µîÀ» ¼±º¸ÀÌ¸ç °ü¶÷°´µéÀ» ¸Â¾Ò´Ù. ÀÌ È¸»ç´Â YÅæ¿ë±â ¹× Åæ½Ç¸°´õ ½Ã½ºÅÛÀ» ÅëÇØ °ø±ÞÇÏ´Â Æ÷½ºÇÉ(PH3), ÀÌ»êȭź¼Ò(CO2), ¿°¼Ò(Cl2), À°ºÒȭȲ(SF6) µîÀ» ¾È³»Ã¥ÀÚ¿Í ÆгÎÀ» ÅëÇØ ¼Ò°³Çϱ⵵ ÇßÀ¸¸ç ISOÆ©ºêÆ®·¹ÀÏ·¯¸¦ ÅëÇØ °ø±ÞÇÏ´Â °í¼øµµ ¾Ï¸ð´Ï¾Æ(NH3)¸¦ ºñ·ÔÇØ ¾Æ»êÈ­Áú¼Ò(N2O), Àú¸ÞÀÎ(GeH4), µð½Ç¶õ(Si2H4) µîÀÇ °¢Á¾ ¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º »ý»ê±â¼úÀ» ¹ÙÀ̾îµé¿¡°Ô È«º¸ÇÏ¸ç ³ôÀº °ü½ÉÀ» ¾ò¾ú´Ù. »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ½Ç¸®ÄÜ(Si) ±â¹ÝÀÇ Àü±¸Ã¼ÀÎ HCDS(Si2Cl6), 3DMAS, BDEAS¿Í Áö¸£ÄÚ´½ ±â¹ÝÀÇ High-k À¯Àüü Àü±¸Ã¼ Cp-Zr µîµµ ¼Ò°³µÆ´Ù.

ƯÈ÷ ¿ÃÇØ Àü½Ãȸ¿¡¼­ ȸ»ç´Â °í°´ ÆíÀǸ¦ À§ÇÑ ½Å°³³ä YÅæ¿ë±â ¿î¹Ý¿ë ½ºÅ°µå¸¦ °³¹ß, ¼±º¸À̸ç ÁÖ¸ñÀ» ¹Þ¾Ò´Ù. »õ·Ó°Ô °³¹ßµÈ ½ºÅ°µå´Â »ó·ÇÏ·Á·¿ì·Î Á¶ÀýÀÌ °¡´ÉÇØ °í°´ÀÇ ´Ù¾çÇÑ ÇöÀå ¿ä±¸¿¡ ºü¸¥ ´ëÀÀÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù. ÀÌ¿¡ ´Ù¾çÇÑ Å©±âÀÇ YÅæ¿ë±â¸¦ ÀåÂøÇÒ ¼ö ÀÖ¾î ÇöÀå¿¡¼­ÀÇ È°¿ëµµ°¡ ³ô¾Æ Áú °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÇ°í ÀÖ´Ù.

ȸ»ç °ü°èÀÚ´Â “¿ÃÇغÎÅÍ È¸»ç´Â º»°ÝÀûÀ¸·Î ¼ºÀåÇÏ´Â Áß±¹ ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀåÀ» °Ü³ÉÇØ Áß±¹ ÇöÁö¿¡ Ư¼ö°¡½º °øÀå ¼³¸³¿¡ ³ª¼±´Ù´Â °èȹ”À̶ó¸ç “¾ÕÀ¸·Î ±¹³» »Ó ¾Æ´Ï¶ó ÇØ¿Ü»ç¾÷ ¹× ½Å±Ô»ç¾÷ È®´ë¸¦ ÅëÇØ ½ÇÀûÀ» ´õ¿í ³ôÀÏ ¿¹Á¤”À̶ó°í ¸»Çß´Ù.

¹ÝµµÃ¼ Ư¼ö°¡½º ¹× ÀåºñÁ¦Á¶¾÷üÀÎ ¹ö½·¸ÓÆ®¸®¾óÁîÄÚ¸®¾Æµµ À̹ø Àü½Ãȸ¿¡ »ïºÒÈ­Áú¼Ò(NF3), À°ºÒÈ­ºÎŸµð¿£(C4F6), »çÇ÷ç¿À¸£È­Åº¼Ò(SiF4), ¾Æ»êÈ­Áú¼Ò(N2O) µî Ư¼ö°¡½º Á¦Ç°À» ¼±º¸¿´´Ù. ¶ÇÇÑ ¿þÀÌÆÛ °¡°ø°øÁ¤¿¡¼­ ¾ÈÀüÇÏ°Ô Æ¯¼ö°¡½º¸¦ °ø±ÞÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Àåºñ¿Í ÇÔ²² ½Å¼ÒÀç »ç¾÷ ºÐ¾ßÀÎ ¹Ú¸· ÁõÂø¿¡ »ç¿ëµÇ´Â Àü±¸Ã¼ ¹°Áú TEOS(»ç¿¡Æ¿ ¿À¸£Åä½Ç¸®ÄÉÀÌÆ®), TiCL4(»ç¿°È­Æ¼Åº), Ư¼öÄɹÌÄ® LTO-520 µîÀ» ºñ·ÔÇØ È­Çбâ°è¿¬¸¶(CMP) °øÁ¤¿¡¼­ ¾²ÀÌ´Â ½½·¯¸®¿Í Ŭ¸° ¼ÒÀçµéÀ» È«º¸ÇØ ÁÖ¸ñÀ» ¹Þ¾Ò´Ù.

ÃʼÒÇü ÀüÀÚ»ê¾÷¿ë Ư¼ö°¡½º, È­Çй°Áú µî ÷´Ü¼ÒÀç 󸮼ַç¼ÇÀ» Á¦°øÇÏ´Â ÀÎÅױ׸®½º´Â ¹ÝµµÃ¼°øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â Àç·á³ª ÄɹÌÄÃÀ» ¾ÈÀüÇÏ°Ô º¸°ü¿î¼ÛÇÏ´Â Á¦Ç°µéÀ» ¼±º¸¿© ´«±æÀ» ²ø¾ú´Ù. ƯÈ÷ À̹ø Àü½Ãȸ¿¡¼­´Â ·¹±Ö·¹ÀÌÅ͸¦ ÀåÂøÇÑ ¼ÒÇü Ư¼ö°¡½º¿ë±â¿¡ ¾Æ¸£½Å(AsH3)°ú Æ÷½ºÇÉ(PH3) µîÀÇ °¡½º¸¦ ÃæÀüÇÑ Á¦Ç°À» ÁßÁ¡ È«º¸Çß´Ù. ¾Æ¿ï·¯ ȸ»ç´Â ¹ÝµµÃ¼ ¹× LEDÀÀ¿ëºÐ¾ßÀÇ ¿þÀÌÆÛ ¼öÀ²À» ´ëÆø °³¼±ÇØ ÁÖ´Â °¡½ºÁ¤Á¦½Ã½ºÅÛ(GPS)ÀÎ °ÔÀÌƮŰÆÛ(Gate Keeper)¿Í ÇÔ²² ÃÖ÷´Ü POU(point-of-use) Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ÇÀ» À§ÇÑ Çõ½ÅÀûÀÎ Oktolex ¸âºê·¹ÀÎ ±â¼úµµ ÇÔ²² °ø°³Çß´Ù. ±èÀç¿ø »çÀåÀº “ÀÎÅױ׸®½º´Â °í¼º´É ÇÊÅÍ, ¾îµåº¥½ºµå ¸ÓƼ¸®¾óÁî Çڵ鸵 Á¦Ç°°ú ¿ª·®À» ÅëÇØ ÄɹÌÄÃÀÌ »ý»êµÇ´Â Ãʱ⠴ܰèºÎÅÍ Ä¨ ¸ÞÀÌÄ¿¿¡°Ô Á¦°øµÇ´Â ÃÖÁ¾ ´Ü°è±îÁö °í¼øµµ ÄɹÌÄÃÀ» Á¦°øÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¿ª·®À» Á¦°øÇÏ°í ÀÖ´Ù”°í ¼Ò°³Çß´Ù.

ÇÑÆí °¡½º ¹ëºê ¹× ·¹±Ö·¹ÀÌÅÍ µî Àåºñ¿Í °ü·ÃÇؼ­´Â ·ÎŸ·º½º±×·ìÀÇ Çѱ¹ÃÑÆÇÀ¸·Î Ư¼ö°¡½º Àåºñ Àü¹®±â¾÷ÀÎ ·ÎŸ·º½º ·ç½ºÅ×Å©´Â ¸ð³ë½Ç¶õ(SiH4) µîÀÇ ½Ç¶õ°è °¡½º¿ë ¹ëºê ¹× ·¹±Ö·¹ÀÌÅÍ ¶óÀξ÷ÀÎ S-¶óÀΰú ºÒ¼Ò(F2)¿ëÀÎ F¶óÀÎ, »ïºÒÈ­Áú¼Ò(NF3)¿ëÀÎ T¶óÀÎ µîÀÇ Æ¯¼ö°¡½º Àü¿ë ¹ëºêÁ¦Ç° ¶óÀξ÷À» ¼±º¸¿´´Ù. ƯÈ÷ °ø±âÀÇ ¾Ð·ÂÀ» ÀÌ¿ëÇØ ÀÚµ¿À¸·Î ÀÛµ¿ÇÏ´Â ÀÚµ¿¹ëºê°¡ ¹ÙÀ̾îµéÀÇ È£ÆòÀ» ¾ò¾úÀ¸¸ç ¼Ò°ø°£ ÀÚµ¿ ¼ÒÈ­ ½Ã½ºÅÛ ¹× ¿Ïº®ÇÑ °¨Áö ¹× È­Àç Áø¾Ð ½Ã½ºÅÛµµ ´«±æÀ» ²ø¾ú´Ù.

À̹ۿ¡µµ ¹Ì±¹¿¡ º»»ç¸¦ µÐ ¿À¿°°ü¸® Àü¹®È¸»çÀÎ Çѱ¹ÆúÀº À¯¼ö »ê¾÷¿ë°¡½º ¸ÞÀÌÄ¿¿¡ ³³Ç°µÇ°í ÀÖ´Â ÃÊ°í¼øµµ °¡½ºÁ¤Á¦±â(´Ù¾çÇÑ °¡½º¿¡ Àû¿ë °¡´É)¸¦ ºñ·ÔÇØ ¹ÝµµÃ¼ ¾Ï¸ð´Ï¾Æ °øÁ¤¿¡¼­ »ç¿ëµÇ´Â ÃֽŠHB-LED¿ë ¾Ï¸ð´Ï¾Æ°¡½º Ç»¸®ÆÄÀ̾î, Áú¼Ò ³» ¼öºÐ ÃøÁ¤À» À§ÇÑ °í°¨µµ ºÐ¼®±â µîÀ» È«º¸Çß´Ù. ¶ÇÇÑ °ø¾Ð±â±â Á¦Á¶ Àü¹®¾÷üÀÎ CKD´Â Áú¼Ò À¯·®ÄÁÆ®·Ñ·¯¸¦ ºñ·ÔÇØ Áú¼Ò °ø±Þ ½Ã½ºÅÛ À¯´Ö, ÇÁ·Î¼¼½º °¡½º¿ë ·¹±Ö·¹ÀÌÅÍ µîÀ» ÃâÇ°ÇßÀ¸¸ç ¹ÝµµÃ¼ Áø°ø¹ëºê ¾÷üÀÎ Å׶óÅØÀº °¡½º È¥ÇսýºÅÛ ¹Í¼­¸¦ ºñ·ÔÇØ °¡½ºÁ¤È­ ½Ã½ºÅÛ, °¡½º°ø±Þ ½Ã½ºÅÛ, ¼ö¼ÒÃæÀü¼Ò ½Ã½ºÅÛ µîÀÇ ±â¼úÀ» ¼±º¸¿´´Ù.

À̹ۿ¡µµ µå¶ó½ºÅ¸, ¼ºÈ­ÀüÀÚ, ÇÏ´ÏÀ£, SMCÄÚ¸®¾Æ, UCTÄÚ¸®¾Æ, °¡½ºÆ®·Ð, UNILOK, ¾Æ·¡½º YUTAKA, ½º¿þÀÌÁö¶ô µîµµ ÃÊ°í¼øµµ ¹ëºê ¹× ·¹±Ö·¹ÀÌÅÍ, °¡½º °ËÁö±â·°æº¸±â µîÀÇ °¡½º°ü·Ã Àåºñ¸¦ ÃâÇ°Çϸç ÀÚ»çÁ¦Ç°À» È«º¸Çß´Ù.

 

¿ÃÇØ ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå, Àü¹ÝÀû ÇÏ°­±¹¸é ÁøÀÔ

2020³â ȸº¹ Àü¸Á

 

   
 

À̹ø ¼¼¹ÌÄÜÄÚ¸®¾Æ °³¸·¿¡ ¾Õ¼­ ±¹Á¦¹ÝµµÃ¼ÀåºñÀç·áÇùȸ(SEMI)´Â Àü¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå°ú °ü·ÃÇÑ ±âÀÚ°£´ãȸ¸¦ °³ÃÖÇß´Ù.

À̳¯ °£´ãȸ¿¡¼­´Â °íÁ¡ ³í¶õÀÌ ²÷ÀÌÁö ¾Ê´ø Àü¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀåÀÌ ¿ÃÇØ ÇÏ°­ ±¹¸é¿¡ Á¢¾îµé °ÍÀ̶ó´Â Àü¸ÁµéÀÌ ³ª¿Ô´Ù.

À̳¯ ¿¬»çµéÀº ´ëºÎºÐ 2013³â 3,000¸¸´Þ·¯ ½ÃÀå¿¡¼­ 2018³â 4,700¸¸´Þ·¯ ½ÃÀåÀ¸·Î °í¼Ó¼ºÀåÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀåÀÌ 2019³â¿¡ ¿ªÇ³À» ¸ÂÀ» °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁÇß´Ù. ƯÈ÷ ¸Þ¸ð¸®ÀÇ °æ¿ì Áß±¹ °æ±â ÇÏ°­°ú ¼Òºñ ¼ö¿ä °¨¼Ò, ¹Ì±¹°ú Áß±¹ÀÇ ¹«¿ªºÐÀï, ¹Ì±¹ÀÇ ±Ý¸® ÀÎ»ó ¿©ÆÄ¿¡ 1ºÐ±â, 2ºÐ±â °¡°Ý Ç϶ô ¾Ð·ÂÀÌ ½É°¢ÇØ Áú °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇß´Ù.

SEMI(±¹Á¦¹ÝµµÃ¼ÀåºñÀç·áÇùȸ) Ŭ¶ô þ µð·ºÅÍ´Â “¿ÃÇØ »ó¹Ý±â ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå¿¡ Ãß°¡ÀûÀÎ ¾î·Á¿òÀÌ ÀÖÀ» °Í”À̶ó¸ç “ÈÞ´ëÆù°ú PC ÃâÇÏ·®ÀÌ °¨¼ÒÇÏ´Â µîÀÇ ÀÌÀ¯·Î Àü¹ÝÀûÀÎ ¼ö¿ä°¡ ÁÙ¾îµé°í ÀÌ¿¡ Àç°í¹°·®ÀÌ ¸¹ÀÌ ³²¾Æ À̸¦ Á¶Á¤ÇÏ´Â °úÁ¤¿¡¼­ °¡°Ý ¾Ð¹ÚÀÌ °è¼Ó ÀÖÀ» °Í"À̶ó°í ¸»Çß´Ù. ±×´Â ÀÌ °°Àº È帧ÀÌ ¿À´Â 2ºÐ±â±îÁö À̾îÁú °ÍÀ¸·Î °üÃøÇß´Ù.

»ó¹Ý±â ½ÃÀå ħü´Â ¹ÝµµÃ¼ ¾÷üµéÀÇ ÅõÀÚ °¨¼Ò·Îµµ À̾îÁú Àü¸ÁÀÌ´Ù. þ µð·ºÅÍ´Â ¿ÃÇØ ÆÕ(Fab) ÅõÀÚ°¡ Àü³â ´ëºñ 10% °¨¼ÒÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇß´Ù. D·¥°ú ³½µåÇ÷¡½Ã µî ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼ÀÇ Ä³Æѽº(½Ã¼³ÅõÀÚ)´Â Àü³â ´ëºñ 2~30% ÁÙ¾îµé °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ. ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå ħü¿¡ µû¶ó ¾÷üµéÀÌ Àü¹ÝÀûÀÎ ÅõÀÚ ±Ô¸ð¸¦ ÁÙÀÌ´Â °ÍÀ¸·Î Ç®À̵ȴÙ.

´Ù¸¸ ÀÌ °°Àº ħü´Â ±æ°Ô À̾îÁöÁö´Â ¾ÊÀ» Àü¸ÁÀÌ´Ù. ¼¼¹ÌÄÚ ¸®¼­Ä¡ Áü ÆçµåÇÑ ´ëÇ¥´Â ¿ÃÇØ ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀåÀÌ 4,810¾ï´Þ·¯(¾à 543Á¶¿ø)·Î Àü³â ´ëºñ 0.1% ÁÙ¾îµé°ÚÁö¸¸ 2020³â¿¡´Â 3.3% ¿À¸¥ 5,035¾ï´Þ·¯(¾à 569Á¶¿ø)·Î Ä¿Áú °ÍÀ¸·Î ¿¹ÃøÇß´Ù.

Áü ÆçµåÇÑ ´ëÇ¥´Â »ç¹°ÀÎÅͳÝ(IoT), ÀΰøÁö´É(AI)ÀÌ ¾ÕÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼ ¼ºÀåÀ» °ßÀÎÇÒ °ÍÀ¸·Î ³»´ÙºÃ´Ù. ±×´Â “½º¸¶Æ®½ÃƼ, °ÇÃà, ±ÝÀ¶, ³ó¾÷ µî¿¡ »ç¹°ÀÎÅͳÝÀÌ Àû¿ëµÇ°í ÀÖ°í ¾ÕÀ¸·Î ´õ¿í ´Ù¾çÇÏ°Ô Àû¿ëµÉ °Í”À̶ó¸ç “AI ¿ª½Ã ½º¸¶Æ®½ÃƼ, ¹ÙÀÌ¿À, ÀÚÀ²ÁÖÇàÂ÷, ¸ð¹ÙÀÏ µî ´Ù¾çÇÑ ºÐ¾ß¿¡¼­ ÀÌ¿ëµÉ Àü¸Á”À̶ó°í ¸»Çß´Ù.

   
 

ƯÈ÷ Àü±âÂ÷¿Í ÀÚÀ²ÁÖÇàÂ÷ µî ÀÚµ¿Â÷ ºÐ¾ßÀÇ ¼ºÀå¿¡ ÁÖ¸ñÇß´Ù. ¿ÃÇØ ¼ºÀå ÆøÀº 1%·Î Å©Áö ¾Ê°ÚÁö¸¸ ¾ÕÀ¸·Î ¼ºÀå ÆøÀÌ Å¬ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÇ±â¿¡ ÇØ´ç ½ÃÀåÀ» ÁÖµµ¸é¹ÐÇÏ°Ô ÁöÄѺÁ¾ß ÇÑ´Ù´Â ÁÖÀåÀÎ °ÍÀÌ´Ù. ÆçµåÇÑ ´ëÇ¥´Â “2021³â±îÁö ÀÚµ¿Â÷¿¡ µé¾î°¡´Â ¹ÝµµÃ¼´Â 770¾ï´Þ·¯¿¡ À̸¦ °Í”À̶ó¸ç “°è¼ÓÇؼ­ Å« ÆøÀÇ ¼ºÀåÀÌ À̾îÁú °Í”À̶ó°í ³«°üÇß´Ù. ´Ù¸¸ µ¥½ºÅ©Å¾·³ëÆ®ºÏ PC, ½º¸¶Æ®Æù µî ±×°£ ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀåÀÇ ¼ºÀåÀ» À̲ø¾î ¿Ô´ø ºÐ¾ß¿¡¼­´Â ¼ºÀå¼¼°¡ ´õµð°Å³ª ¸¶À̳ʽº ¼ºÀåÀ» ±â·ÏÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹ÃøÇß´Ù.

ÆÄ¿îµå¸® ½ÃÀåÀÌ ÇâÈÄ ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀåÀÇ ¼ºÀå¼¼¸¦ À̲ø °ÍÀ̶ó´Â ÁÖÀåµµ ³ª¿Ô´Ù. DBÇÏÀÌÅØ ÀÌÀ±Á¾ ºÎ»çÀåÀº “¿ÃÇØ ÀÌÈÄ ÆÄ¿îµå¸® ½ÃÀåÀÇ ¼ºÀå·üÀÌ Àüü ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå Æò±ÕÄ¡º¸´Ù ´õ ³ôÀ» °ÍÀ¸·Î º¸Àδٔ¸ç “2020³â ÀÌÈÄ¿¡´Â ÆÄ¿îµå¸® ½ÃÀåÀÇ ¿¬°£ ¼ºÀå·üÀÌ 7% ÀÌ»ó¿¡ ´ÞÇÒ °Í”À̶ó°í ¸»Çß´Ù.

ÇÑÆí ¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º´Â Áö³­ÇØ 43¾ï´Þ·¯ ½ÃÀå¿¡¼­ ¿ÃÇØ 45¾ï´Þ·¯·Î 4.7% ¼ºÀåÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹ÃøµÆ´Ù.

 

±èÈ£ÁØ ±âÀÚÀÇ ´Ù¸¥±â»ç º¸±â  
ÆùƮŰ¿ì±â ÆùÆ®ÁÙÀ̱â ÇÁ¸°Æ®Çϱ⠸ÞÀϺ¸³»±â ½Å°íÇϱâ
Æ®À§ÅÍ ÆäÀ̽ººÏ ¹ÌÅõµ¥ÀÌ ³×À̹ö ±¸±Û msn µÚ·Î°¡±â À§·Î°¡±â
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0)
ÀÚµ¿µî·Ï¹æÁö¿ë Äڵ带 ÀÔ·ÂÇϼ¼¿ä!   
È®ÀÎ
- 200ÀÚ±îÁö ¾²½Ç ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. (ÇöÀç 0 byte / ÃÖ´ë 400byte)
- ¿å¼³µî ÀνŰø°Ý¼º ±ÛÀº »èÁ¦ ÇÕ´Ï´Ù. [¿î¿µ¿øÄ¢]
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0)
°¡Àå ¸¹ÀÌ º» ´º½º
1
[COMPANY TECH] ¼­¿ïÃÊÀú¿Â, ¾×ź¿ë Centrifugal Pump °³¹ß
2
Á¦ÀÌ¿¡½º»ê¾÷°¡½º, °æ³² ±èÇØ¿¡ ½Å±Ô ÃæÀü»ç¾÷Àå °³¼Ò
3
¼®À¯Íë, »ç¾÷Àå ¾ÈÀüº¸°Ç ¿ì¼ö»ç·Ê ¼±Á¤¡¤Æ÷»ó
4
[COMPANY NEWS] MS°¡½º, ⸳ 50ÁÖ³â ¸Â¾Æ Áö¼ÓÀûÀÎ Çõ½Å°ú µµÀü ¼±Æ÷
5
¿¡±âæÚ, ºí·ç¼ö¼Ò »ý»êÀÇ ÇÙ½É, ÀÌ»êȭź¼Ò Æ÷Áý ºñ¿ë Àý¹ÝÀ¸·Î ³·Ãá´Ù
6
°¡½º±â¼úÍë, ¹è°ü¸Á¾ÈÀü°ü¸® ºÐ¾ß µðÁöÅÐ Àüȯ ÃßÁø
7
KOMIR, ±¤ÇعæÁö»ç¾÷ ¿ª´ë ÃÖ´ë ±Ô¸ð ¿¹»ó ÁýÇà
8
[±â¾÷À̽´] ¸ÓÅ©, ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ºÐ¾ß ±â¼úÇõ½Å¡¤ÅõÀÚ È®´ë ¿¹°í
9
SK(ÁÖ) ¸ÓƼ¸®¾óÁî, ºÎÆйæÁö°æ¿µ½Ã½ºÅÛ ±Û·Î¹ú ÀÎÁõ ȹµæ
10
[HOT ISSUE] 1¿ù 27ÀÏ Áß´ëÀçÇØó¹ú¹ý Àü°Ý ½ÃÇà
ȸ»ç¼Ò°³¤ý±â»çÁ¦º¸¤ý±¤°í¹®ÀǤýºÒÆí½Å°í¤ý°³ÀÎÁ¤º¸Ãë±Þ¹æħ¤ýÀ̸ÞÀϹ«´Ü¼öÁý°ÅºÎ¤ýû¼Ò³âº¸È£Á¤Ã¥
ȸ»ç : i°¡½ºÀú³Î | Á¦È£ : ¿Â¶óÀΰ¡½ºÀú³Î | µî·Ï¹øÈ£ : ¼­¿ï, ¾Æ53038 | µî·ÏÀÏÀÚ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | ¹ßÇàÀÎ : À̶ô¼ø | ÆíÁýÀÎ : ±èÈ£ÁØ
ÁÖ¼Ò : ¼­¿ï½Ã °­¼­±¸ ¸¶°îÁß¾Ó4·Î 18 ¸¶°î±×¶ûÆ®À©Å¸¿ö Bµ¿ 702È£| ÀüÈ­¹øÈ£ : 02-2645-9701 | ¹ßÇàÀÏ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : À̶ô¼ø
Copyright © 2004 ¾ÆÀÌ°¡½ºÀú³Î. All rights reserved.