‘ÇöÀåÁ᫐ ¾ÈÀü±â¼ú °È’ °Á¶
°ü·Ã ¹ý±Ô ¹× »ç°í»ç·Ê ºÐ¼®·½Å±â¼ú °øÀ¯ µî
µ¶¼º°¡½ºÀÇ ¾ÈÀü±â¼ú Çâ»óÀ» À§ÇÑ Á¤º¸ ±³·ùÀÇ ÀÚ¸®°¡ ¸¶·ÃµÆ´Ù.
Çѱ¹°¡½º¾ÈÀü°ø»ç(»çÀå ±èÇü±Ù)¿Í Çѱ¹»ê¾÷Ư¼ö°¡½ºÇùȸ(ȸÀå ±è±³¿µ)´Â µ¶¼º°¡½º¸¦ ºñ·ÔÇÑ °í¾Ð°¡½ºÀÇ ¾ÈÀü¼º Çâ»óÀ» À§ÇØ Áö³ 3¿ù 21ÀϺÎÅÍ 22ÀϱîÁö ¾çÀÏ°£ Ãæ³² ¾Æ»ê¿¡ À§Ä¡ÇÑ ¿Â¾ç°ü±¤È£ÅÚ¿¡¼ ‘Á¦2ȸ µ¶¼º°¡½º ¾ÈÀü±â¼úÇâ»ó¿¬±¸È¸’¸¦ °³ÃÖÇß´Ù.
µ¶¼º°¡½º ¾ÈÀü°ü¸® ¿ì¼ö»ç·Ê ¹× ¾ÈÀü±â¼ú °øÀ¯¸¦ ÅëÇÑ ¾ÈÀü°ü¸® ¼öÁØ Çâ»óÀ¸·Î °¡½º»ç°í¸¦ ¿¹¹æÇÏ°í »çȸÀû°¡Ä¡ âÃâÀ» ¸ñÀûÀ¸·Î ¸¶·ÃµÈ À̹ø Çà»ç¿¡´Â Ư¼ö°¡½º Á¦Á¶ ¹× ÃæÀü¾÷üµéÀÇ ¾ÈÀü°ü¸®´ã´çÀÚ µî 80¿©¸íÀÌ Âü¼®ÇØ ¼ºÈ²À» ÀÌ·ð´Ù.
ƯÈ÷ ‘ÇöÀåÁ᫐ ¾ÈÀü±â¼ú °È¸¦ ÅëÇÑ »çȸÀû°¡Ä¡ ½ÇÇö’À» ºÎÁ¦·Î ¼³Á¤ÇÑ À̳¯ ¿¬±¸È¸¿¡¼´Â °¢ »çÀÇ Âü¼®ÀÚµéÀÌ µ¶¼º°¡½º ¾ÈÀü°ü¸® ½Å±â¼ú Àû¿ë ¹× ¾ÈÀü±â¼ú Çâ»ó ¹æ¾È µîÀ» °øÀ¯ÇÏ°í Çö¾È»çÇ׿¡ ´ëÇØ ½Éµµ ÀÖ´Â ³íÀǸ¦ ÁøÇàÇß´Ù.
À̳¯ Çѱ¹»ê¾÷Ư¼ö°¡½ºÇùȸ ±è±³¿µ ȸÀåÀº Àλ縻À» ÅëÇØ “¸Å³â ¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö·µ¶¼º°¡½º »ç¿ë·®ÀÌ ±ÞÁõÇÏ°í ÀÖ´Â °¡¿îµ¥ °¡½º»ç°íµµ Å©°Ô Áõ°¡ÇÏ°í ÀÖ¾î ¾ÈÀü±â¼ú Çâ»óÀÌ Å©°Ô ¿ä±¸µÇ°í ÀÖ´Ù”¸ç “Ư¼ö°¡½ºÇùȸ´Â °¡½º¾ÈÀü°ø»ç¿Í ÈûÀ» ÇÕÃÄ µ¶¼º°¡½º ÀÜ°¡½º 󸮰¡ ¾ÈÀüÇÏ°Ô Ã³¸® µÉ ¼ö ÀÖµµ·Ï ³ë·ÂÇØ ³ª°¡°Ú´Ù”°í ¸»Çß´Ù. ÀÌ¾î °¡½º¾ÈÀü°ø»ç Á¤ÇØ´ö ±â¼úÀÌ»ç´Â “¾ÕÀ¸·Î ¿¬°£ µÎ Â÷·Ê¿¡ °ÉÃÄ ¿¬±¸È¸¸¦ °³ÃÖÇØ µ¶¼º°¡½º ½Ã¼³ÀÇ ¾ÈÀü¼ºÀ» ³ôÀÌ°í ¾ÈÀü°ü¸® ±â¼ú Çâ»óÀ» µµ¸ðÇÒ °Í”À̶ó¸ç “¿¬±¸È¸¿¡¼ ¼±Áø ±â¼úÀ» ½ÀµæÇÏ°í ¾ÈÀü±â¼ú Çâ»óÀ» ÅëÇØ ¹Î°£ ÀÚÀ² ¾ÈÀü°ü¸® ¿ª·® °È ¹× °¡½º¾ÈÀü°ü¸® ´É·ÂÀ» Çâ»ó½ÃÅ°´Âµ¥ µµ¿òÀÌ µÇµµ·Ï Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ¹ßÀü½ÃÄÑ ³ª°¥ °èȹ”À̶ó°í ¹àÇû´Ù.
¸ÕÀú ¿¬±¸È¸ ù³¯¿¡´Â °¡½º¾ÈÀü°ø»ç »ê¾÷°¡½º¾ÈÀü±â¼ú¼¾ÅÍ À±¿µ¸¸ ¾ÈÀü±â¼úºÎÀåÀÌ ‘»ê¾È¼¾ÅÍ »ç¾÷ÇöȲ°ú ¹Ì·¡’¶ó´Â ÁÖÁ¦¹ßÇ¥¸¦ ÅëÇØ ¡ãµ¶¼º°¡½º ó¸® ¡ãµ¶¼º°¡½º ¾ÈÀü±³À° ¡ã¾ÈÀü±â±â ½ÃÇèÀÎÁõ ¡ã¾ÈÀü°ü¸® R&D ¡ãºñ»ó´ëÀÀ µî ¼¾ÅÍÀÇ ÁÖ¿ä»ç¾÷ ³»¿ë¿¡ ´ëÇØ ¼³¸íÀ» ÁøÇàÇß´Ù. À± ºÎÀåÀº “±×µ¿¾È ºÒ¹ýÀ¸·Î ó¸®ÇÏ´ø µ¶¼º°¡½º ÀÜ°¡½º 󸮰¡ ¼¾Å͸¦ ÅëÇØ ¾ÈÀüÇÏ°Ô Ã³¸®µÇ°í ÀÖ´Ù”¸ç “¾ÕÀ¸·Îµµ ÀÜ°¡½º ÁßÈó¸® °ü·Ã ½Å±Ô ¹°ÁúÀ» Ãß°¡´Â ¹°·Ð ȸ¿ø»ç°¡ ÇÊ¿ä·Î ÇÏ´Â µ¶¼º°¡½º °ü·Ã ±â¼ú Á¤º¸ Á¦°ø¿¡ Èû½á ³ª°¥ °Í”À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
ÀÌ¾î °¡½º¾ÈÀü°ø»ç ¹Ì·¡°ß±¸½Ç ÇãÀ±½Ç ºÎÀåÀº ‘±¹³» ¼ö¼Ò»ê¾÷ Á¤Ã¥µ¿Çâ ¹× ¼ö¼ÒÃæÀü¼Ò È®´ë¹æ¾È’À̶õ ÁÖÁ¦ ¹ßÇ¥¸¦ ÅëÇØ ¡ãÁ¤ºÎÀÇ Á¤Ã¥ ÇöȲ ¡ã¼ö¼ÒÃæÀü¼Ò °ü·Ã Á¦µµ ¹× ¹ý·É ¡ã¼ö¼ÒÃæÀü¼Ò ±¸ÃàÇöȲ ¡ãÀ¶º¹ÇÕ ¼ö¼ÒÃæÀü¼Ò µî¿¡ ´ëÇØ ÀÚ¼¼È÷ ¼Ò°³Çß´Ù. Çã ºÎÀåÀº “Á¤ºÎ Á¤Ã¥ ±âÁ¶¿¡ ÈûÀÔ¾î ¼ö¼Ò °ü·Ã »ê¾÷ÀÌ Å©°Ô ¿äµ¿Ä¡°í ÀÖÁö¸¸ ¾ÕÀ¸·Î ÃæÀü ÀÎÇÁ¶ó È®´ë¸¦ ºñ·ÔÇØ Á¦µµ·¹ý·É ¸¶·Ã µî ¸¹Àº °úÁ¦°¡ ³²¾Æ ÀÖ´Ù”¸ç »ê¾÷Ư¼ö·µ¶¼º°¡½º »Ó ¾Æ´Ï¶ó ¼ö¼Ò¿¡µµ °ü½ÉÀ» °¡Á®ÁÖ½Ã±æ ¹Ù¶õ´Ù“°í ¸»Çß´Ù.
ÀÌ¿Í ÇÔ²² LGÈÇÐ Çã½ÂÅ åÀÓ¿¬±¸¿øÀº ‘º¸¿ÂÀç ³» ºÎ½Ä(CUI) °ü·Ã±â¼ú ¹× ÀÌÇØ’¶ó´Â ÁÖÁ¦¸¦ ÅëÇØ “º¸¿ÂÀç ³»ºÎ ¼öºÐÀÌ ÀÖÀ» °æ¿ì ¹è°ü ¹× ¾Ð·Â¿ë±â Ç¥¸é¿¡ ºÎ½ÄÀ» À¯¹ß½ÃŲ´Ù”¸ç “ºÎ½ÄÀº ¹è°ü ¸®Å©(Leak)ÀÇ ÁÖ¿ä ¿øÀÎÀ¸·Î ÀÛ¿ë, ¾à 60%ÀÇ ºñÁßÀ» Â÷ÁöÇÑ´Ù”°í ¸»Çß´Ù. ÀÌ¿¡ ±×´Â »ç·Ê¸¦ ÅëÇØ °Ë»ç´ë»óÀÇ ¼±Á¤°ú ±×¿¡ µû¸¥ À¯ÀÇ »çÇ׿¡ ´ëÇؼµµ ÀÚ¼¼È÷ ¼³¸íÇß´Ù.
¶Ç MS¸ÓÆ®¸®¾óÁî ±è¼®¼ö »ó¹«´Â ‘µ¶¼º°¡½º ¹× Ç¥ÁØ°¡½º(CRM)ÀÇ ÀÌÇØ’¸¦ ÁÖÁ¦·Î ¡ã°¡½ººÐ¼®ÀÇ ¸ñÀû·ÀýÂ÷·Á¾·ù¿Í ¡ãºñ±³ºÐ¼®°ú Ç°Áú ¡ãµ¶¼º Ç¥ÁØ°¡½º µî¿¡ ´ëÇØ ¼Ò°³Çß´Ù. ƯÈ÷ ±è »ó¹«´Â µ¶¼º¹°Áú(°¡½º)ÀÇ Æ¯¼º°ú Àüó¸®, Ç¥ÁØ°¡½ºÀÇ Ç°Áú ±¸ºÐ ¹× Ãë±Þ½Ã ÁÖÀÇ»çÇ׿¡ ´ëÇؼµµ »ó¼¼È÷ ¼Ò°³ÇØ Âü¼®ÀÚµéÀÇ ÀÌÇظ¦ µµ¿Ô´Ù. ƯÈ÷ ±×´Â È¥ÇÕÇؼ´Â ¾È µÇ´Â °¡½º·Î NH3+HCl(¿°È¾Ï¸ð´½ »ý¼º), SiH4+O2(¹ßÈ), SiH4+Cl2(HCl »ý¼º ¹× ºÎ½Ä), AsH3+Cl2(¹ßÈ ¶Ç´Â ¹é»ö¿° ¹ß»ý) µîÀ» ¾ð±ÞÇß´Ù.
¿¬±¸È¸ ù³¯ ¸¶Áö¸· ¼ø¼·Î ¹ßÇ¥¿¡ ³ª¼± ¹ö½·¸ÓÆ®¸®¾óÁîÄÚ¸®¾Æ ±è¿µ¼ö ºÎÀåÀº ‘Á¤·®Àû À§Ç輺 Æò°¡(QRA)¸¦ ÅëÇÑ µ¶¼º°¡½º¼³ºñ ¾ÈÀü¼³°è’¶õ ÁÖÁ¦¸¦ ÅëÇØ ¡ãÈÇй°Áú¾ÈÀü°ü¸®¹ýÀÇ Àå¿Ü¿µÇâÆò°¡ ¡ã»ê¾÷¾ÈÀü°ü¸®¹ýÀÇ »ç°í½Ã³ª¸®¿Àº° ºñ»ó´ëÀÀü°è ¡ã°í¾Ð°¡½º¾ÈÀü°ü¸®¹ýÀÇ »ç¾÷Àå À̰ݰŸ®±âÁØ °È µî ¹ýÀû ±ÔÁ¦ ¿ä°ÇÀ¸·Î È°¿ëµÇ´Â QRA¿¡ ´ëÇØ ¼³¸íÀ» ÁøÇàÇß´Ù. ±è ºÎÀåÀº “QRAÀÇ °³³ä°ú ±â¹ýÀ» Àß È°¿ëÇÏ¸é °øÀåÀÇ ¹èÄ¡, ¹èÃⱸÀÇ À§Ä¡, ¾ÈÀü°Å¸®, Æø¹ßÀ§ÇèÁö¿ª ¼³Á¤, ¼³ºñÀÇ ¼³°è±âÁØ ¸¶·Ã µî °øÀåÀÇ À§Çèµµ¸¦ ÇÕ¸®ÀûÀ¸·Î ³·Ãߴµ¥ ½ÇÁúÀûÀ¸·Î ±â¿©ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù”°í °Á¶Çß´Ù. ¾Æ¿ï·¯ “¹ýÀû ¿ä°Ç¿¡µµ QRAÀÇ °³³äÀÌ º¸ÆíȵŠÇÕ¸®ÀûÀÎ ±ÔÁ¦°¡ ÀÌ·ïÁú ¼ö ÀÖ¾î¾ß ÇÑ´Ù”°í µ¡ºÙ¿´´Ù.
ÀÌƱ³¯¿¡´Â »ï¼ºÀüÀÚ ±è¹Î¼· ºÎÀåÀÌ ‘»ç¾÷Àå ¾ÈÀüº¸°Ç È°µ¿»ç·Ê ¹× ¾Ð·Â¿ë±â ÀÎÁõ°ü¸®’¸¦ ÁÖÁ¦·Î ¡ã»ï¼ºÀüÀÚ DSºÎ¹® »ç¾÷Àå ÇöȲ ¡ã¾ÈÀüº¸°Ç È°µ¿ ¡ã¾Ð·Â¿ë±â ÀÎÁõ°ü¸® µî¿¡ ´ëÇØ ¼Ò°³ÇßÀ¸¸ç °¡½º¾ÈÀü°ø»ç °Ë»çÁö¿øó ±è´ëÅ Â÷ÀåÀº ‘µ¶¼º°¡½º ¾ÈÀü°ü¸®Á¤Ã¥’À» ÁÖÁ¦·Î ¡ãµ¶¼º°¡½º À¯ÅëÇöȲ ¡ãµ¶¼º°¡½º ½Ã¼³ÇöȲ ¡ãµ¶¼º°¡½º »ç°í ¹× ºÐ¼® ¡ãµ¶¼º°¡½º¾ÈÀü°ü¸® Çö¾È ´ëÃ¥ µî¿¡ ´ëÇØ ¹ßÇ¥Çß´Ù. À̹ۿ¡µµ Çѱ¹»ê¾÷Ư¼ö°¡½ºÇùȸ ÃÖ³«¹ü Àü¹«À̻簡 Çùȸ ±â¼úÀ§¿øȸ¿¡ ´ëÇÑ ¼Ò°³µµ ÁøÇàµÆ´Ù.
ÇÑÆí À̹ø ¿¬±¸È¸ Âü¼®ÀÚµéÀº “¿¬±¸È¸¸¦ ÅëÇØ µ¶¼º°¡½º ¾ÈÀü°ü¸® ½Å±â¼ú µîÀ» °øÀ¯ÇÏ°í °¡½º»ç°í ¹ß»ý¿øÀΰú ´ëºñÃ¥À» ³íÀÇÇÒ ¼ö ÀÖ¾î À¯ÀÍÇÑ ½Ã°£ÀÌ µÆ´Ù”¸ç “Â÷±â Çà»ç¿¡¼µµ ´Ù¾çÇÑ ½Å±â¼ú Á¤º¸ ±³·ù È°µ¿ÀÌ ÀÌ·ïÁö±æ ±â´ëÇÑ´Ù”°í ¸»Çß´Ù. |