Ư¼ö°¡½º ¹ëºê °ø±Þ È®´ë…¼öÀ͵µ Å« Æø »ó½Â
ÃÊÀú¿Â ¹ëºê ¹× ÀåºñÀü¹® ¾÷üÀÎ (ÁÖ)·ÎŸ·º½º ·ç½ºÅ×Å©(´ëÇ¥ Áø°æÁø)°¡ Áö³ÇØ¿¡µµ ÀüÀÚ·¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ È£È²À» Ÿ°í °Åħ¾ø´Â ¼ºÀå¼¼¸¦ À̾´Ù.
ÃÖ±Ù ·ÎŸ·º½º ·ç½ºÅ×Å©°¡ ¹ßÇ¥ÇÑ 2018ȸ°è³âµµ °æ¿µ½ÇÀû º¸°í¼¿¡ µû¸£¸é ÀÌ È¸»ç´Â Áö³ÇØ ÃÑ 196¾ï5,000¸¸¿øÀÇ ¸ÅÃâÀ» ±â·Ï, Àü³â(191¾ï¿ø)´ëºñ 2.6% Áõ°¡ÇÑ °ÍÀ¸·Î ³ªÅ¸³µ´Ù.
ÀÌ´Â Áö³ÇØ ¹ÝµµÃ¼ ¹× ÀÏ¹Ý Æ¯¼ö°¡½º ½Ç¸°´õ ¹ëºê ¹× °¢Á¾ ·¹±Ö·¹ÀÌÅÍÀÇ ±¹³»¿Ü ÆǸŠ½ÇÀûÀÌ Áõ°¡Çѵ¥ µû¸¥ °ÍÀÌ´Ù.
ÀÌ¿Í ÇÔ²² ȸ»ç´Â Áö³ÇØ ÆǸźñ¿Í°ü¸®ºñ¸¦ Å©°Ô ÁÙÀÌ¸é¼ ¸ÅÃâÃÑÀÌÀÍÀÌ Áõ°¡ÇØ ¿µ¾÷ÀÌÀ͵µ Àü³â(41¾ï9,000¸¸¿ø)º¸´Ù 27.2%³ª ´Ã¾î³ª 41¾ï¿øÀÇ ÈæÀÚ¸¦ ±â·ÏÇß´Ù. ¾Æ¿ï·¯ Àü³â(20¾ï5,000¸¸¿ø)µµ °¨¼ÒÇß´ø ´ç±â¼øÀÌÀ͵µ Áö³ÇØ ¿µ¾÷¿Ü¼öÀÍ Áõ°¡¿Í ¿µ¾÷¿Üºñ¿ë °¨¼Ò·Î °æ»óÀÌÀÍÀÌ ´Ã¸é¼ 2¹è ÀÌ»ó(115.3%) Áõ°¡ÇØ ´Ü¼û¿¡ ¸¸È¸Çß´Ù.
ȸ»ç´Â Áö³ÇØ 3ºÐ±âºÎÅÍ À̾îÁö°í ÀÖ´Â ±¹³» ¸Å¸ð¸® ¹ÝµµÃ¼ ¾÷üÀÇ ½ÇÀû ºÎÁø°ú ½Å±Ô ÅõÀÚ Á¦ÇÑ Ãß¼¼·Î ÀÎÇØ ¿ÃÇØ ´Ù¼Ò °íÀüÀÌ ¿¹»óµÇ°í ÀÖÁö¸¸ ¸ÅÃâ 200¾ï¿øÀ» ¸ñÇ¥·Î °ø°ÝÀûÀÎ ¸¶ÄÉÆÃÀ» ÅëÇØ ½Å±Ô ¼ö¿äó ¹ß±¼¿¡ ¿ª·®À» ÁýÁßÇÒ °èȹÀÌ´Ù. ¶ÇÇÑ ¹°·ùºñ ¹× ±âŸ Á¦¹Ýºñ¿ëÀ» ÁÙ¿© ¼öÀÍÀ» ´õ¿í ²ø¾î ¿Ã¸®°Ú´Ù´Â ±¸»óÀÌ´Ù.
ÇÑÆí ·ÎŸ·º½º±×·ìÀÇ Çѱ¹ÃÑÆÇÀ¸·Î Ư¼ö°¡½º Àåºñ Àü¹®±â¾÷ÀÎ ·ÎŸ·º½º ·ç½ºÅ×Å©´Â ¸ð³ë½Ç¶õ(SiH4) µîÀÇ ½Ç¶õ°è °¡½º¿ë ¹ëºê ¹× ·¹±Ö·¹ÀÌÅ͸¦ ºñ·ÔÇØ S-¶óÀΰú ºÒ¼Ò(F2)¿ëÀÎ F¶óÀÎ, »ïºÒÈÁú¼Ò(NF3)¿ëÀÎ T¶óÀÎ µîÀÇ Æ¯¼ö°¡½º Àü¿ë ¹ëºêÁ¦Ç° µîÀ» °ø±ÞÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç ƯÈ÷ ¼Ò°ø°£ ÀÚµ¿ ¼ÒÈ ½Ã½ºÅÛ ¹× ¿Ïº®ÇÑ °¨Áö ¹× ÈÀç Áø¾Ð ½Ã½ºÅÛ »ç¾÷µµ ÇÔ²² ÁøÇàÇÏ°í ÀÖ´Ù.
|