±¹³» °í¼øµµ ½ÃÀå±Ô¸ð LHF 4¸¸Åæ/Ò´, GHF 10Åæ/Ò´
ÀϺ»ÀÇ ¼öÃâ±ÔÁ¦´Â Çѱ¹ÀÇ °Á¦Â¡¿ë¿¡ ´ëÇÑ ¹è»óÆÇ°á¿¡ ºÒº¹ÇØ º¸º¹Á¶Ä¡¸¦ ÇÑ °ÍÀÌ´Ù. ¿ì¸®³ª¶ó °æÁ¦ÀÇ ¹öÆÀ¸ñÀ̶ó°í Çصµ °ú¾ðÀÌ ¾Æ´Ñ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷¿¡¼ ºñÁßÀ̳ª ¸ÅÃâÀº ÀûÁö¸¸ ¹Ýµå½Ã ÇÊ¿äÇÑ ¼ÒÀçºÎºÐÀ» °Çµå¸®¸ç °æÁ¦ ±Þ¼Ò¸¦ °¡°ÝÇß´Ù.
±×Áß¿¡µµ Ç÷ç¿À¸°È ¼ö¼Ò(HF, hydrogen fluoride, ºÒȼö¼Ò)ÀÇ ¼öÀÔ±ÔÁ¦´Â ±Ô¸ð´Â ÀÛÁö¸¸ Çǵå¹éÀº °ÇÑ ÆøźÀÌ µÆ´Ù.
ÀϹÝÀûÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»ê¾÷Àº ¹ÝµµÃ¼ ĨÀ» ¸¸µå´Â Fabrication°øÁ¤°ú ¸¸µç ĨÀ» Lead Frame µî¿¡ ºÎÂøÇÏ¿© ÆÐŰ¡ÇÏ´Â Assembly°øÁ¤À¸·Î ³ª´«´Ù. ÀÌ°°Àº °øÁ¤¿¡¼ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀçÁß ÇϳªÀÎ ¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º´Â ºÐÀ§±â¿ë, ÁõÂø¿ë, µµÇοë, CVD¿ë, ¿¡Äª¿ë(½Ä°¢) µî °¢°¢ÀÇ Á¦Á¶°øÁ¤¿¡¼ »ç¿ëµÈ´Ù.
¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤»ó¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ¿¡Äª°¡½º·Î´Â °øÁ¤°ú Á¦Ç°¿¡ µû¶ó HF, NF3, Cl2, HCl, SF6, HBr, CF4, BCl3, C3F8, SiF4, C2F8 µîÀÌ »ç¿ëµÈ´Ù.
ÀϹÝÀûÀ¸·Î ½Ä°¢ °øÁ¤À̶ó°í ºÒ¸®´Â ¿¡Äª(etching)ÀÛ¾÷Àº ¹Ì¼ú¿¡¼ ¿À¸ñÆÇȸ¦ ±×¸®±â À§ÇØ ±Ý¼ÓÆÇ Ç¥¸é¿¡ ºÎ½Ä¹æÁö¾àÁ¦¸¦ Ä¥ÇÑ ´ÙÀ½ ¹Ù´Ã°ú °°Àº »ÏÁ·ÇÑ µµ±¸·Î ºÎ½Ä¹æÁö¾àÁ¦¸¦ ±Ü¾î³»´Â ¹æ½ÄÀ¸·Î ¿øÇÏ´Â À̹ÌÁö¸¦ ±×¸° ÈÄ ºÎ½Ä¾×¿¡ ³ÖÀ¸¸é ºÎ½Ä¹æÁö¾àÁ¦¸¦ ±Ü¾î³½ ºÎºÐ¸¸ ºÎ½ÄµÅ ÆÇÈ°¡ ¿Ï¼ºµÈ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ¿¡Äªµµ ºÎ½Ä¹æÁö¾àÁ¦¸¦ ±Ü¾î¼ Á¦°ÅÇÏ´Â ÀÛ¾÷ÀÇ ¿ø¸®¿Í ºñ½ÁÇÏ´Ù°í ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
<¿ëµµº° ¹ÝµµÃ¼ Àç·á°¡½º>
ƯÈ÷ ÃÖ±Ù ¼öÀÔ¿¡ ¹®Á¦°¡ µÇ°í ÀÖ´Â ºÒȼö¼Ò´Â ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ¹Ì¼¼ÇÑ È¸·Î ÆÐÅÏÀ» ±×¸®´Â Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ °øÁ¤¿¡¼ ƯÁ¤ºÎºÐÀ» ¼±ÅÃÀûÀ¸·Î ±ð¾Æ³»´Â ÀÛ¾÷À» Çϴµ¥ ÇÊ¿äÇÏ´Ù. ÀÌ ¶§ ¿¡Äª °øÁ¤¿¡¼ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¿¡ ÇǺ¹µÇÁö ¾ÊÀº ºÎºÐÀÇ »êȸ·À» Á¦°ÅÇÏ´Â µ¥ °í¼øµµ ¾×ü ºÒȼö¼Ò°¡ ¾²ÀÌ°Ô µÈ´Ù. ¶ÇÇÑ »êȸ·ÀÌ ºÐÆ÷µÈ ¿þÀÌÆÛ Ç¥¸éÀ» °í¸£°Ô ÇÏ´Â ÀÛ¾÷¿¡¼µµ ÇÊ¿äÇÏ¸ç ¼øµµ°¡ ³ôÀ»¼ö·Ï Á¦Ç°ÀÇ ¼öÀ²À» ³ôÀÏ ¼ö Àִµ¥ ¿ëÀÌÇÏ´Ù´Â °ÍÀÌ´Ù.
ÀÌ°°ÀÌ ¹ÝµµÃ¼¿¡¼ »ç¿ëµÇ´Â ¿¡Äª°¡½ºÀÎ HF´Â Ç÷ç¿À¸°È Ä®½·(CaF2)·Î ÀÌ·ç¾îÁø µîÃàÁ¤°èÀÇ °áÁ¤Çü ÇҷΰÕ(halogen) ±¤¹°ÀÎ Çü¼®(Fluorite)À̶ó´Â ¹°Áú¿¡ Ȳ»ê(H2SO4)À» ¹ÝÀÀ½ÃÄÑ ¾à 600KÀÇ ¿Âµµ·Î °¡¿ ¹ÝÀÀ½ÃÄÑ »ý¼ºÇÑ´Ù. ÀÌ·¸°Ô ¹ÝÀÀ½ÃÄÑ »ý»êµÈ °ÍÀÌ 99.99% ÀÌÇÏÀÇ Àú¼øµµ ºÒȼö¼ÒÀ̸ç ÇÔÀ¯µÈ ºÒ¼ø¹°·Î´Â H2SiF6(0.001%), SO2(0.003%), H2SO4(0.005%), H2O(0.0005%) µî°ú ¹Ì·®ÀÇ As, Fe µîÀÌ Æ÷ÇԵŠÀÖ´Ù.
°í¼øµµ ºÒȼö¼Ò Á¦Á¶¸¦ À§Çؼ´Â Ãß°¡ÀûÀÎ Á¤Á¦°úÁ¤À» °ÅÃÄ ÀÌ°°Àº ºÒ¼ø¹°µéÀ» ´ëºÎºÐ Á¦°ÅÇؾßÇÏ¸ç ¼øµµ 99.999% ÀÌ»óÀÇ Á¦Ç°ÀÌ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡ ¾²ÀÌ°Ô µÈ´Ù.
Áö³ÇØ ±âÁØÀ¸·Î ¿ì¸®³ª¶ó°¡ ¼öÀÔÇÑ ºÒȼö¼Ò´Â 1.6¾ï ´Þ·¯·Î ÇÑÈ 1,920¾ï¿ø ±Ô¸ð¿´À¸¸ç ÀϺ»»ê ºñÁßÀÌ 42%¿¡ À̸£´Â °ÍÀ¸·Î ³ªÅ¸³µ´Ù. ÇÏÁö¸¸ ÀÌ´Â Àú¼øµµ ¾×ü ºÒȼö¼Ò¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ ºñÁßÀÌ¸ç °í¼øµµ ±âü ºÒȼö¼Ò¿¡ ´ëÇÑ ÀϺ»ÀÇÁ¸µµ´Â 90% ÀÌ»ó µÇ´Â °ÍÀ¸·Î Æľǵǰí ÀÖ´Ù.
¾×ü °í¼øµµ ºÒȼö¼Ò´Â ÄÄÇ»ÅÍ ÇÙ½É ºÎÇ°ÀÇ ÇϳªÀÎ ÁÖ±â¾ïÀåÄ¡ÀÎ DDR4 µî ·¥(RAM)ÀÇ Á¦Á¶ °úÁ¤¿¡ ÁÖ·Î ¾²À̸ç ÀûÃþ ¸Þ¸ð¸® 3D, 4D µîÀÇ ³½µåÇ÷¡½Ã¿¡ »ý»ê°øÁ¤¿¡´Â °í¼øµµ ±âü ºÒȼö¼Ò°¡ ¿¡ÄªÀÛ¾÷¿¡ »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù.
ÀÌó·³ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡¼ °í¼øµµÀÇ ºÒȼö¼Ò°¡ »ç¿ëµÇ´Â °ÍÀº °øÁ¤»ó ¼ÒÀç¿¡ ÇÔÀ¯µÈ ºÒ¼ø¹°ÀÌ È¸·Î ¼Õ»óÀ» ÀÏÀ¸Å°±âµµ ÇÏ°í ¹ÝµµÃ¼ ¼º´ÉÀ» ÀúÇϽÃÅ°´Â ¿øÀÎÀÌ µÉ ¼ö ÀÖ´Â Å¿¿¡ ¹ÝµµÃ¼³»ÀÇ È¸·Î°¡ º¹ÀâÇÏ°í ¼¼¹ÐÇØÁú¼ö·Ï À̸¦ °íÇ°ÁúÈÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¿¡Äª°øÁ¤¿¡ ÀûÇÕÇÑ ¼ºÁúÀ» °¡Áø °í¼øµµ ºÒȼö¼Ò°¡ ÇÊ¿äÇÑ °ÍÀÌ´Ù.
ÇöÀç ¿ì¸®³ª¶ó¿¡ ÇÊ¿äÇÑ °í¼øµµ ºÒȼö¼Ò´Â 99.999% ÀÌ»ó ¾×ü»óÅÂÀÇ Á¦Ç°ÀÌ ¿¬°£ 4¸¸Åæ Á¤µµ·Î ÃßÁ¤µÇ¸ç ±âü °í¼øµµ Á¦Ç°Àº 99.999%ÀÌ»óÀÌ 10Åæ °¡·®ÀÎ °ÍÀ¸·Î Æľǵǰí ÀÖ´Ù.
ÀÌó·³ ºÒȼö¼ÒÀÇ ¼ö¿ä·®Àº ¸¹Àº ÆíÀÌ ¾Æ´Ï´Ù. ÀϹÝÀûÀ¸·Î ºÒ»êÀ¸·Î ºÒ¸®´Â Àú¼øµµ ºÒȼö¼Ò´Â À¯Åë·®ÀÌ »ó´ëÀûÀ¸·Î ¸¹Àº ÆíÀÌÁö¸¸ ¿ì¸®³ª¶ó°¡ Àü ¼¼°è ½ÃÀåÀÇ 60% ÀÌ»ó Â÷ÁöÇÏ°í ÀÖ´Â RAM °ø±Þ·®À» ±âÁØÀ¸·Î º¼ ¶§ ¿¬°£ 4¸¸Åæ °¡·®ÀÇ ¹ÝµµÃ¼¿ë ¾×ü ºÒȼö¼Ò ½ÃÀåÀÌ ¹ÝµµÃ¼¿¡¼ Â÷ÁöÇÏ´Â ºñÁßÀº ³Ê¹« ÀÛ´Ù. ½ÃÀå±Ô¸ðµµ Åæ´ç 2,500´Þ·¯¸¦ ±âÁØÀ¸·Î ÇÒ ¶§ ¿¬°£ 1¾ï ´Þ·¯ ¼öÁØ¿¡ ºÒ°úÇÏ´Ù. ÇÏÁö¸¸ 170Á¶¿øÀÇ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷¿¡´Â Ä¡¸íÀûÀÎ ¾ÆÇÄÀ» ³²±â°í ÀÖ´Ù.
¿ì¸®³ª¶ó´Â ÇöÀç ¸ð¸®Å¸°¡ ÅõÀÚÇÑ ÆÔÅ×Å©³î·ÎÁö°¡ ¿ø·á¼öÀÔÀ» ÅëÇØ ±¹³» Á¦Á¶ÇÏ´Â »óȲ¿¡¼ ¼Öºê·¹ÀÎ(½ºÅÚ¶ó ÄɹÌÆÄ ÇÕÀÛ¹ýÀÎ ÈÒÆ®(FECT))ÀÌ ¿À´Â 9¿ùºÎÅÍ ¾×ü ºÒȼö¼Ò 20,000ÅæÀÇ Áõ¼³ °èȹÀ» ÃßÁøÇÏ°í ÀÖ¾î ¾ç»ê½ÃÁ¡¿¡´Â ¼öÀÔ·®°ú °¡°ÝÇ϶ôµµ ¿¹»óµÇ´Â »óȲÀÌ´Ù.
Áö±Ý±îÁö °í¼øµµ ºÒȼö¼ÒÀÇ Àü ¼¼°è ½ÃÀå Á¡À¯À²ÀÌ 1~2°³ ÀϺ» ±â¾÷¿¡ Ä¡¿ìÃÄ ÀÖ´Ù´Â »ç½Ç¸¸À¸·Î ½ÃÀå±Ô¸ð³ª ¼ºÀ嵿·ÂÀº »ó´çÈ÷ ¾àÇÑ ÆíÀÌ´Ù. ±×·¸±â ¶§¹®¿¡ Á¤Á¦ÇÏ´Â ±â¼ú°³¹ßº¸´Ù´Â »ç¼ ¾²´Â °ÍÀÌ ÀϹÝ鵃 ¼ö¹Û¿¡ ¾ø°Ô µÆÁö¸¸ Áö±Ý°ú °°Àº °æÁ¦ÀüÀïÀÌ ¹ß¹ßÇÑ ½ÃÁ¡¿¡¼´Â ±âÃÊÀûÀÎ ±â¼úÀÇ È®º¸´Â ºÒ°¡ÇÇÇÏ°Ô µÆ´Ù.
½ÇÁ¦·Î ºÒȼö¼ÒÀÇ Á¤Á¦±â¼ú ÀÚü´Â ½±Áö ¾ÊÁö¸¸ ±âÃÊÈÇÐÀûÀÎ ¼öÁØ¿¡¼ ÀçÁ¢±ÙÇغ¸¸é ¿ì¸®³ª¶ó ±â¼ú·Îµµ °³¹ßÀÌ ¾î·ÆÁö´Â ¾Ê´Ù´Â ÆòÀÌ´Ù.
ÈÇÐÀûÀÎ ¹æ¹ýÀ¸·Î 99.99% ¼öÁØÀÇ ¾×ü ºÒȼö¼Ò¸¦ Á¤Á¦ Á¦Á¶ÇÏ´Â µ¥´Â ÀϹÝÀûÀÎ Áõ·ù ±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇØ ±Ô¼Ò ¼ººÐÀÇ ºÒ¼ø¹°À» Á¦°ÅÇÏ¸é µÈ´Ù. ÇÏÁö¸¸ 0.001% ¾È¿¡ ÇÔÀ¯µÈ Si, B, As, P, S, Cl µî ºÒ¼ø¹°À» 10ppm ÀÌÇÏ·Î Á¦°ÅÇÏ´Â Á¤Á¦±â¼úÀº ³ì·ÏÄ¡°¡ ¾ÊÀº ½ÇÁ¤ÀÌ´Ù. ¶ÇÇÑ ÀÌ·¯ÇÑ ¹æ¹ýµéÀº ´ëü·Î °øÁ¤ÀÇ ³À̵µ°¡ ¸Å¿ì ³ôÀºµ¥´Ù Á¦Á¶¿Í Á¤Á¦¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ÈÇй°ÁúµéÀÌ ÀüºÎ µ¶¼ºÀ» Ç°°í ÀÖ¾î¼ Ãë±Þ¿¡ »ó´çÇÑ ¾î·Á¿òÀÌ ÀüÁ¦µÇ°í ÀÖ´Ù.
±×·¯³ª °è»êÀûÀ¸·Î´Â ÀÌ°°Àº ºÒ¼ø¹°ÀÇ Á¾·ù¿¡ µû¶ó °¢°¢ÀÇ Æ¯ÈµÈ Áõ·ù±â¼úÀ» »ç¿ëÇØ 0.001ppb ¼öÁرîÁö ³·Ãß´Â Á¤Á¦°¡ ÀüÇô ºÒ°¡´ÉÇÏÁö´Â ¾Ê´Ù´Â ¼³¸íÀÌ´Ù.
ÀÌ·± Â÷¿ø¿¡¼ SK¸ÓƼ¸®¾óÁî°¡ ¿¬¸»±îÁö °í¼øµµ ±âü ºÒȼö¼ÒÀÇ ½ÃÁ¦Ç° °³¹ß¿¡ ´ëÇÑ »ý»êÀÇÁö¸¦ ³ªÅ¸³»°í º»°ÝÀûÀÎ »ý»ê¼³ºñ¸¦ ±¸ÃàÇÏ°í ÀÖ´Ù°í ¹àÇû´Ù. ÇöÀç °í¼øµµ ±âü ºÒȼö¼Ò´Â 25kg¿ë ½Ç¸°´õ·Î °ø±ÞµÇ¸ç °ø±Þ°¡´Â 50~60¸¸¿ø/kg °¡·®À¸·Î ±¹³» ¿¬°£ ¼ö¿ä·®Àº 10Åæ¿¡ Áö³ªÁö ¾Ê°í ÀÖ´Ù.
Â÷ÈÄ ¿ì¸®³ª¶ó ±â¾÷ÀÌ ¼öÀÔ»ê Á¦Ç°ÀÇ ±¹»êȸ¦ ÀÌ·é´Ù°í Çصµ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ Æ¯¼º¿¡ ¸Â´Â È®½ÇÇÑ °ËÁõÀÛ¾÷ÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù. ±×µ¿¾È ½Èµç ÁÁµç »ï¼ºÀüÀÚ¿Í, SKÇÏÀ̴нº µî ´ëÇ¥ÀûÀÎ ¹ÝµµÃ¼±â¾÷µéÀÌ ÀϺ» Á¦Ç°À» µé¿©¿Ô´ø °Íµµ ¿ø°¡ºñÁßÀÌ ³·°í Ç°ÁúÅ×½ºÆ®°¡ ÃæºÐÈ÷ È®º¸µÈ Å¿ÀÌ´Ù.
°í¼øµµ ºÒȼö¼ÒÀÇ ÁÖ »ý»ê¾÷ü´Â ÀϺ» ½ºÅÚ¶ó ÄɹÌÆÄ¿Í ¸ð¸®Å¸ÈÇÐ µîÀ̸ç Àü ¼¼°è ½ÃÀåÀÇ 70%¸¦ Â÷ÁöÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç ´ëºÎºÐÀº ¿ì¸®³ª¶ó·Î ¼öÃâµÇ°í ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ® ¼öÃâ±ÔÁ¦°¡ °è¼Ó À̾îÁú °æ¿ì ÀϺ»±â¾÷µéµµ ÁÖ°Å·¡Ã³ »ó½Ç·Î ÀÎÇÑ °æ¿µºÎ½Ç·Î À̾îÁú °¡´É¼ºÀÌ ³ôÀº »óÅÂÀÎ °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù.
|