½Ç¸®ÄÜ ¼ÒÀç ¼Ò¸ð¼º ºÎÇ°Á¦Á¶¿Í Ư¼ö°¡½º Á¦Á¶¾÷üÀÎ Çϳª¸ÓƼ¸®¾óÁîÀÇ ¸Å°¢°ú °ü·ÃÇÑ °æ¿µº¯È°¡ °¨ÁöµÇ°í ÀÖ´Ù.
ÃÖ±Ù ¾÷°èÀÇ ¼Ò½ÄÅë¿¡ µû¸£¸é Çϳª¸ÓƼ¸®¾óÁî°¡ Á¾ÇÕ ÈÇо÷üÀÎ H ÄɹÌÄ®Þä¿ÍÀÇ ÇÕº´°ü·Ã Çù»óÀ» ÁøÇàÁßÀÎ °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù.
Çϳª¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â 2007³â 1¿ù¿¡ ¼³¸³µÅ 2017³â 4¿ù ÄÚ½º´Ú½ÃÀå¿¡ »óÀåµÈ ±â¾÷À¸·Î ÁÖ¿äÁ¦Ç°À¸·Î´Â ¹ÝµµÃ¼ ¿¡Äª(½Ä°¢) °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ½Ç¸®ÄÜ ¼ÒÀçÀÇ ¼Ò¸ð¼º ºÎÇ° Á¦Á¶¿Í N2O ¹× È¥ÇÕ Æ¯¼ö°¡½ºÁ¦Á¶¾÷ü·Î »ç¾÷À» ¿µÀ§ÇØ ¿Ô´Ù.
ÇÏÁö¸¸ Çϳª¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â ÁÖ °í°´»çÀÎ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ °æ±âº¯È ƯÈ÷ ¹ÝµµÃ¼ FAB °¡µ¿·ü¿¡ µû¶ó Áö³ÇرîÁö´Â ºü¸¥ ¸ÅÃâ ¼ºÀå·üÀ» º¸¿© ¿ÔÀ¸³ª ¿ÃÇØ µé¾î ±Û·Î¹ú °æ±â À§Ãà°ú ¹«¿ªºÐÀï µîÀÌ °¡¼ÓÈµÇ¸é¼ ¿ª¼ºÀåÀÇ ¸ð½ÀÀÌ ¿ª·ÂÈ÷ ³ªÅ¸³ª±âµµ Çß´Ù.
µû¶ó¼ ¼ºÀåµÐÈ·Î ÀÎÇÑ ÈļӴë¾ÈÀ» ÅëÇÑ ½Ã³ÊÁö âÃâÀÇ ÀÏȯÀ¸·Î ±â¾÷ÇÕº´°ú °ü·ÃÇÑ Çù»óÀÌ ÃßÁøµÇ°í ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ÃßÁ¤µÇ¸ç Á¶¸¸°£ °¡ºÎ°£ÀÇ °á°ú°¡ ³ªÅ¸³¯ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.
ÇÑÆí Çϳª¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â Áö³ÇØ ¸ÅÃâÀº 1,756¾ï¿øÀ» ±â·ÏÇßÀ¸¸ç ¿ÃÇØÀÇ ÃßÁ¤¸ÅÃâÀº 1,819¾ï¿ø °¡·®À¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù. ÀÌÁß Æ¯¼ö°¡½º ºÐ¾ßÀÇ ¸ÅÃâÀº 2018³â ±âÁØ 103¾ï¿ø °¡·®ÀÌ¸ç »ý»ê½Ã¼³ °¡µ¿·üÀº 55% °¡·®ÀÎ °ÍÀ¸·Î ³ªÅ¸³µ´Ù.
Ư¼ö°¡½ºÀÇ ÁÖ¿ä »ý»êÇ°À¸·Î´Â N2O¿Í CF4, SiH4, HBr, SiH2Cl2(DCS), SiHCl3(TCS), WF6 µî 30¿©Á¾¿¡ ´ÞÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù. |