|
|
- UPDATE : 2024.3.28 ¸ñ 12:04
|
Ȩ
> ±âȹ/ƯÁý |
<±âȹ-·¹ÀÌÀú¿ë Ư¼ö°¡½º>¿¢½Ã¸Ó ·¹ÀÌÀúÀÇ ¿ø¸®¿Í »ê¾÷¿ë°¡½ºÀÇ ¿ªÇÒ |
|
°í¼øµµ°¡½º·Î CO2, CF4, SiF4 µî À¯Çع°Áú ¾ïÁ¦
·¹ÀÌÀú´Â ÇöÀç±îÁö Àηù°¡ ÀÓÀÇ·Î ¸¸µé¾î ³¾ ¼ö ÀÖ´Â À¯ÀÏÇÑ Àΰø±¤¼±À¸·Î Áö³ 1950³â C.H.Townes°¡ °³¹ßÇÑ ¡®¸ÞÀÌÀú(MASER)¡¯°¡ ±× Àü½ÅÀÌ´Ù. Townes´Â ¸ÞÀÌÀú¸¦ ¼¼»ó¿¡ ¾Ë¸° ÀÌÈÄ 8³âµÚÀÎ 1958³â¿¡¾ß A.L.Schawlow¿Í ÇÔ²² ·¹ÀÌÀúÀÇ ¿ø¸®¸¦ Á¦½ÃÇßÀ¸¸ç ´Ù½Ã 2³âÀÌ È帥 1960³â Hughes Research ¿¬±¸¼ÒÀÇ T.H.Maiman¿¡ ÀÇÇØ ¼¼°èÃÖÃÊÀÇ ÆÞ½ºÇü ·çºñ(Ruby) °áÁ¤ ·¹ÀÌÀú°¡ ź»ýÇß´Ù.
ÀÌ·¯ÇÑ ·¹ÀÌÀú´Â °úÇÐÀÇ ºñ¾àÀûÀÎ ¹ßÀü°ú ÇÔ²² ¿¬±¸¿Í °³¹ßÀÌ °ÅµìµÇ¸é¼ ÀÌÁ¦ °úÇÐ, ±â¼ú, ÀÇ·áºÐ¾ß¿¡ ÀÖ¾î ±× ¹«¾ù°úµµ ºñ±³ÇÒ ¼ö ¾øÀ» Á¤µµ·Î Áß¿äÇÑ Á¸Àç·Î ºÎ°¢µÇ°í ÀÖ´Ù. °ú°Å ¿¬±¸¼Ò¿¡¼ ½ÇÇèÀ» À§Çؼ³ª »ç¿ëµÆÀ»¹ýÇÑ ´Ù¾çÇÑ ·¹ÀÌÀú ¹ßÁø ¹æ½ÄµéÀÌ ½ÇÁ¦ »ê¾÷¿¡ ÈǸ¢ÇÏ°Ô Àû¿ëµÇ°í ÀÖÀ¸¸ç ±× ÀÀ¿ëºÐ¾ßµµ °ÅÀÇ ¸ðµç »ê¾÷ºÐ¾ß·Î È®»êµÇ°í ÀÖ´Â ½ÇÁ¤ÀÌ´Ù. ½ÇÁ¦·Î ·¹ÀÌÀú´Â ÀϹÝÀûÀ¸·Î »ý°¢ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ·¹ÀÌÀú °¡°ø, ÀÇ·á±â±â, °Å¸®ÃøÁ¤, ±¤Åë½Å, ·¹ÀÌÀú ½ºÄ³³Ê ¹× ÇÁ¸°ÅÍ, ±º»ç¿ë ·¹ÀÌÀú, ¹ÝµµÃ¼ °¡°ø µîÀÇ ºÐ¾ß ÀÌ¿Ü¿¡µµ 21¼¼±â Çٽɻê¾÷À¸·Î ¶°¿À¸¥ À¯ÀüÀÚ Á¶ÀÛÀ» ºñ·Ô ¹Ì·¡ ¿¡³ÊÁöÀÚ¿øÀ¸·Î ¿¬±¸°¡ ÁøÇàÁßÀÎ ÇÙÀ¶ÇÕ¿¡³ÊÁö ±×¸®°í ±¤ÄÄÇ»ÅÍ, Çü»óÀÎ½Ä µî°ú °°Àº ÃÖ÷´Þ »ê¾÷¿¡ÀÇ Àû¿ëÀÌ ´Ã°í ÀÖ´Ù.
·¹ÀÌÀúÀÇ ¿ø·á(¸ÅÁú, medium)·Î´Â <Ç¥-1>¿¡¼ º¼ ¼ö ÀÖµíÀÌ °¡½º(±âü), ¾×ü, °íü µîÀÌ ¸ðµÎ »ç¿ëµÈ´Ù.
ÀÌ·¯ÇÑ ¸ÅÁúµéÀº Àڿܼ±ÀÇ ¹üÁÖ¿¡ ¼ÓÇÏ´Â ´ÜÆÄÀåÀÇ ºûÀ» ¹æÃâÇÏ°Ô µÇ´Âµ¥ À̸¦ È°¿ëÇØ ÇǺΰú ¹× ¾È°ú¿¡¼ °¢Á¾ ½Ã¼úÀÌ °¡´ÉÇϸç ƯÈ÷ ¹Ì¼¼°øÇкоßÀÇ ÆòÆÇ(lithography)Á¦ÀÛ¿¡ ÀÖ¾î¼ ·¹ÀÌÀú´Â ÇÙ½ÉÀû ¿ªÇÒÀ» ¼öÇàÇÑ´Ù.
»ç¿ëÇÏ´Â °¡½ºÀÇ Ç°Áú°ú ·¹ÀÌÀúÀÇ ¼º´É°úÀÇ »ó°ü°ü°è´Â 'KrF(Krypton-Fluorine)·¹ÀÌÀú'¸¦ »ç¿ëÇß´ø ¿À·¡ÀüºÎÅÍ ÀÌ¹Ì ¸¹Àº ¿¬±¸°¡ ÁøÇàµÇ¾î ¿À°í ÀÖ´Ù.
°ú°Å¿¡´Â ·¹ÀÌÀú Æ©ºê°¡ ÁÁÁö ¾ÊÀº Ç°ÁúÀÇ ¹°Áú°ú µðÀÚÀÎÀ» ä¿ëÇÔÀ¸·Î¼ °¡½º»ç¿ë·® Áõ´ë ¹× ·¹ÀÌÀúÀÇ »ç¿ë½Ã°¨ °¨¼Ò¶ó´Â ¹®Á¦¿¡ Àý´ëÀûÀΠåÀÓÀ» Á®¾ß¸¸ÇßÁö¸¸ ¡®Nova Æ©ºê¡¯¿Í °°Àº »õ·Î¿î Æ©ºêÀÇ °³¹ß°ú ÇÔ²² °ý¸ñÇÒ¸¸ÇÑ ¹ßÀüÀÌ ÀÌ·ïÁø ÇöÀçÀÇ ·¹ÀÌÀú¿¡ À־ °¡½ºÀÇ Ç°ÁúÀÌ ¹«¾ùº¸´Ù Áß¿äÇÑ »ç¾ÈÀ¸·Î ºÎ°¢µÇ°í ÀÖ´Ù.
¾Æ·¡¿¡¼ Á¦½ÃµÉ ¿¬±¸´Â ¹Ù·Î ÀÌ·¯ÇÑ ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇϱâ À§ÇÑ Á¤·®ºÐ¼®(quantitative analysis)À» ¸ñÀûÀ¸·Î Çϴµ¥ ¹Ì·¡ ·¹ÀÌÀú°¡½º¿¡ ´ëÇؼµµ º¸´Ù ¸íÈ®ÇÑ Á¤ÀǸ¦ ³»¸± ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ÆǴܵȴÙ.
°¡½º·¹ÀÌÀúÀÇ ÀÛµ¿¿ø¸®¿Í ¿¢½Ã¸Ó·¹ÀÌÀú
·¹ÀÌÀú(LASER:Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation)´Â ¾àÀÚ¿¡¼µµ ¾Ë¼ö ÀÖµíÀÌ ¿ÜºÎ¿¡¼ °¡ÇØÁø ¿¡³ÊÁö¿¡ ÀÇÇØ ¹ß»ýÇÏ´Â À¯µµ¹æÃâ·Î ¾ò¾îÁö´Â ºûÀ» ÁõÆø½ÃÅ°´Â ¿ø¸®·Î °¢ ¸ÅÁú¿¡ µû¶ó ¹æÃâµÇ´Â ÆÄÀåÀÌ ´Þ¶óÁø´Ù.
°¡½º·¹ÀÌÀúÀÇ °æ¿ì¿¡µµ <±×¸²-1>¿¡¼Ã³·³ ³»ºÎ¿¡¼ ±¤ÇÐÀûÀ¸·Î È°¼ºÈµÈ °¡½º´Â ±¤ÇаøÁø±â(À¯¸®°øÁø±â)·Î º¸³»Áø´Ù. ÃæºÐÇÑ Àü¾ÐÀ» Á¦°ø¹ÞÀº °¡½º´Â ¿(æð) ±ÕÇü°ú ´ëºñµÇ´Â ¹ÝÀüºÐÆ÷(Úãï®ÝÂøÖ) »óÅ¿¡ ³õÀÌ°Ô µÇ´Âµ¥ ³ôÀº ¿¡³ÊÁö ·¹º§À» °®´Â ¿©±â»óÅÂ¿Í ³·Àº ¿¡³ÊÁö ·¹º§ÀÇ ±âÀú»óŸ¦ ¹Ýº¹ÀûÀ¸·Î õÀÌÇÑ´Ù. ¿©±â»óÅ¿¡¼ ±âÀú»óÅ·ΠõÀÌ°¡ ÀϾ ¶§ ±¤ÀÚ¸¦ ¹æÃâÇÏ°Ô µÇ¸ç ÀÌ ±¤ÀÚµéÀº ´Ù½Ã ¿øÀÚ ¹× ºÐÀÚµéÀÌ ±âÀú»óÅ·Πµ¹¾Æ°¡µµ·Ï ¸¸µç´Ù. °øÁø±â´Â °Å¿ï¸éÀ» ÅëÇØ ¿©±â¼ ¹ß»ýÇÑ ºûÀ» ȸÀý½ÃÅ°¸é¼ ´Ù½Ã °°Àº ¹æ½ÄÀ¸·Î À¯µµ¹æÃâÀ» °ÅµìÇϵµ·Ï ¸¸µç´Ù. ¹æÃâÀÌ °ÅµìµÉ¼ö·Ï ºûÀÇ ÈûÀº ´õ¿í Áõ´ëµÇ°í °á±¹ ¹ßÁø±¤(ÎÃ)ÀÌ ÀϺÎÅõ°ú°Å¿ï(semi-transparent mirror)À» Åë°úÇÒ Á¤µµ·Î °ÇØÁö¸é ·¹ÀÌÀú°¡ ¹ßÁøÇÏ°Ô µÇ´Â °ÍÀÌ´Ù.
°¡½º·¹ÀÌÀúÁß ¿©±â¼ ´Ù·ç°ÔµÉ ¿¢½Ã¸Ó·¹ÀÌÀú(Excimer laser)´Â ³ª³ëÃÊ(nano-seconds)ÀÇ Àڿܼ±À» Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ¹æÃâÇÏ´Â Èï¹Ì·Î¿î ¹æ½ÄÀÇ ·¹ÀÌÀúÀÌ´Ù. ¿¢½Ã¸Ó´Â ¡®excited dimer(È°¼º ÀÌÇÕü)'ÀÇ ¾àÀÚ·Î È°¼ºÈµÈ »óÅ¿¡¼¸¸ ¾ÈÁ¤¼ºÀ» º¸ÀÌ´Â µÎ °³ÀÇ ¿øÀÚ¸¦ ÇÔÀ¯ÇÑ ºÐÀÚ¸¦ ÀǹÌÇÑ´Ù. ¿©Å¸ È°¼º ºÐÀÚµéó·³ È°¼º ÀÌÇÕü ¶ÇÇÑ ±âÀú»óÅ·ΠõÀÌµÉ ¶§ ±¤ÀÚ¸¦ ¹æÃâÇÏ°í À̸¦ ÅëÇØ ·¹ÀÌÀú°¡ ¹ßÁøÇÑ´Ù.
¿¢½Ã¸Ó·¹ÀÌÀúÀÇ ¸ÅÁúÀº Èñ±Í°¡½ºÀÎ ºÒ¼Ò¿Í ¼ö¼Ò¿°È¹°ÀÇ È¥ÇÕ¹°·Î Àü±âÀû ¹æÃâ·ÎºÎÅÍ ¹ß»ýÇÏ´Â ¿¡³ÊÁö¿¡ ÀÇÇØ ÀÌ È¥ÇÕ¹°¿¡ ¿ÀÌ °¡ÇØÁø´Ù. ÀÌ°°Àº È°¼ºÈ ´Ü°è¿¡¼ Èñ±Í°¡½º´Â Çҷΰհú ¹ÝÀÀÇØ ÁؾÈÁ¤ ´Ü°èÀÇ È¥ÇÕ¹°À» Çü¼ºÇÏ°Ô µÇ´Âµ¥ ¹Ù·Î ÀÌ°ÍÀÌ ¿¢½Ã¸ÓÀÌ´Ù.
¿¢½Ã¸Ó´Â ±âÀú»óÅ·ΠõÀÌµÇ¸é¼ »ç¿ëÇÏ´Â °¡½º¿¡ µû¶ó 193(ArF)¢¦351(XeF)³ª³ë¹ÌÅÍ »çÀÌÀÇ ÆÄÀåÀ» Áö´Ñ Àڿܼ±À» ¹æÃâÇÑ´Ù. ƯÈ÷ ¿¢½Ã¸Ó·¹ÀÌÀú´Â »ç¿ëÀ» À§ÇØ °ÇÑ ¿À» ÅõÀÔÇÏÁö ¾Ê¾Æµµ µÈ´Ù´Â Á¡¿¡¼ ÀÇ·á¿ëÀ¸·Î¼ ´õÇÒ ³ªÀ§¾øÀÌ Áß¿äÇÑ ÀåÁ¡À» °¡Áö°í ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ ÇÒ·Î°Õ È¥ÇÕ¹°ÀÇ ÅõÀÔ·®À» ´Ã¸®°Ô µÇ¸é ÃæÀüµÈ °¡½ºÀÇ ¼ö¸íµµ ´Ã¾î³´Ù.
±×·¯³ª ÇҷΰհúÀÇ ¹ÝÀÀ°úÁ¤ ¼Ó¿¡¼ Èֹ߼º(Æø¹ß¼º) ÇÒ·Î°Õ ¿À¿°¹°ÁúÀÌ ¹ß»ýÇϴµ¥ Àû¿Ü¼± ºÐ±¤±â¸¦ ÅëÇØ °ËÃâÀÌ °¡´ÉÇÏÁö¸¸ ÀÌ ¹°ÁúµéÀº ·¹ÀÌÀúÀÇ ¼º´ÉÀúÇϸ¦ ÀÏÀ¸Å°´Â ¿øÀÎÀ¸·Î ÀÛ¿ëÇÑ´Ù.
¿¢½Ã¸Ó·¹ÀÌÀú´Â ÀÌ¹Ì ´Ù¾çÇÑ ÀÀ¿ëºÐ¾ß°¡ °³¹ßµÇ¾î ÀÖ´Ù. ±×·¯³ª ¹Ì·¡»çȸ¿¡¼ ¿¢½Ã¸Ó·¹ÀÌÀú´Â ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷¿¡¼ÀÇ ÆòÆÇ°øÁ¤ µîÀ» ºñ·Ô ±× ¿ªÇÒÀÌ ´õ¿í Áõ´ëµÉ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù. ƯÈ÷ ÆòÆÇ°øÁ¤ÀÇ °æ¿ì ÅëÇÕȸ·ÎÀÇ »ý»ê°ú °ü·Ã ¸Å¿ì Áß¿äÇÑ ºÐ¾ßÀÌ´Ù.
°¡½ºÀÇ Ç°Áú°ú ·¹ÀÌÀúÀÇ ¼º´É
À̹ø ¿¬±¸ ¹× °¡½ººÐ¼®À» À§ÇØ µÎ °³ÀÇ ArF ¿¢½Ã¸Ó ·¹ÀÌÀú°¡ »ç¿ëµÆÀ¸¸ç µÎ°³ ·¹ÀÌÀúÀÇ µðÀÚÀÎ, »êÃâ·®, »ç¿ëó µîµµ ´Ù¸¥ °ÍÀ¸·Î ¼±ÅÃÇß´Ù.
¸ÕÀú 1¿ÍÆ® ArF·¹ÀÌÀú´Â ¿À·¡µÈ µðÀÚÀÎÀ¸·Î ¾È±¸¼ö¼ú µî°ú °°Àº ÀÇ·á¿ëÀ¸·Î »ç¿ëµÇ´Âµ¥ ¸Å¹ø °¡½º ÃæÀü½Ã¸¶´Ù ¾à 3¸¸¹øÀ» »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ÀÌ¿Í ´Þ¸® 1¹é¿ÍÆ®ÀÇ Ãâ·ÂÀ» Áö´Ñ µÎ ¹ø° ·¹ÀÌÀú´Â Ç¥¸éó¸®¿Í °°Àº »ê¾÷¿ë ¿ëµµ·Î »ç¿ëµÇ¸ç »õ·Ó°Ô °³¹ßµÈ °¡Àå ÀûÇÕÇÑ ·¹ÀÌÀú Æ©ºê¸¦ ä¿ëÇß´Ù. ÀÌ Æ©ºê´Â ÇÒ·Î°Õ È¥ÇÕ¹°ÀÇ Ãß°¡ÀûÀÎ ÅõÀÔ ¾øÀ̵µ °¡½º ÀçÃæÀü½Ã¸¶´Ù ¾à 2õ¸¸¹øÀÇ ·¹ÀÌÀú ¹æÃâÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.
»ç¿ëµÇ´Â »ê¾÷¿ë°¡½º´Â ¾Æ¸£°ï°ú ³×¿Â ±×¸®°í ºÒ¼Ò¿Í Çï·ýÀÇ È¥ÇÕ¹° 5%·Î ¿Â»çÀÌÆ®¹æ½ÄÀ¸·Î Á¦°øµÈ´Ù.
À̹ø ½ÇÇèÀÇ Ã¹ ¹ø° ´Ü°è´Â »ó¾÷ÀûÀ¸·Î ÀÌ¿ëÇÒ¼ö ÀÖ´Â ·¹ÀÌÀú °¡½ºÀÇ ½Ç¸°´õ ³»ºÎ¿¡ ÇÔÀ¯µÈ ¿À¿°¹°ÁúÀÇ ¼öÁØ¿¡ µû¶ó ¾î¶°ÇÑ Â÷ÀÌ°¡ ¹ß»ýÇϴ°¡´Â ¾Ë¾Æ³»´Â °ÍÀÌ´Ù.
½ÇÇè°á°ú µÎ °³ÀÇ ·¹ÀÌÀú ¸ðµÎ ¸îÂ÷·ÊÀÇ ¹ßÁøÀÌÈĺÎÅÍ ¿À¿°¹°Áú °ËÃâ·®ÀÌ Áõ´ëµÇ±â ½ÃÀÛÇßÀ¸¸ç ¹ßÁøÀ» °ÅµìÇÒ¼ö·Ï ±× ·®Àº ´õ¿í ´Ã¾î³µ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ¿À¿°¹°ÁúÀÇ Áõ°¡´Â °á±¹ ·¹ÀÌÀú »ç¿ë¿¡ »ó´çÇÑ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡°Ô µÈ´Ù.
¹Ý¸é °¡½º°ø±ÞÀÌÀü¿¡ °¡½º Á¤Á¦±â¸¦ Åë°úÇÏ°Ô ÇÏ°í ½Ç¸°´õ¿¡ »çÀü󸮸¦ ÇàÇÑ Á¦ 3ÀÇ ·¹ÀÌÀú´Â ½ÇÇè¿¡ »ç¿ëµÈ 2°³ÀÇ ·¹ÀÌÀú¿¡ ºñÇØ »ó´ëÀûÀ¸·Î ³ôÀº ¼º´ÉÀ» º¸ÀÌ´Â °ÍÀ¸·Î ³ªÅ¸³µ´Ù.
½ÇÁ¦·Î 1¿ÍÆ® ·¹ÀÌÀú´Â CO2°¡ 0.08ppm/millionÀÌ °ËÃâµÆ°í CF4´Â 0.25ppm/m, SiF4´Â 0.05ppm/mÀÌ»óÀÌ °ËÃâµÆ´Ù. 1¹é¿ÍÆ® ·¹ÀÌÀúµµ CO2 0.14ppm, COF2 0.04ppm, CF4 0.25ppm, CxFy 0.17ppm, SiF4 0.25ppmÀÌ»ó °ËÃâµÆ´Ù. ±×·¯³ª Á¦3ÀÇ ·¹ÀÌÀú´Â CO2, CF4, SiF4 ¸ðµÎ 0.05ppmÀ» ³ÑÁö ¾Ê¾Ò´Ù. <Ç¥-3>Àº ½ÇÇè¿¡ »ç¿ëµÆ´ø 3°¡Áö ·¹ÀÌÀú¿¡¼ ÃøÁ¤µÈ ºÒ¼ø¹°ÀÇ Á¾·ù¿Í ·®À» ³ªÅ¸³½´Ù.
ÀÌ´Â ÇҷΰհúÀÇ È°¹ßÇÑ ¹ÝÀÀ ¶§¹®¿¡ ¸ÅÁú³» °¡½ºÀÇ ÁúÀÌ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ÀúÇϵDZ⠶§¹®À¸·Î ºñ·Ï ·¹ÀÌÀú¸¦ »ç¿ëÇÏÁö ¾ÊÀ» °æ¿ì¶óÇصµ ÀÌ°°Àº Ç°ÁúÀúÇÏ´Â ³ªÅ¸³ª´Â °ÍÀ¸·Î ¹àÇôÁ³´Ù.
¿©±â¿¡ ¿À¿°¹°ÁúÀÇ ÀÀÁý(»ý¼º)Àº ¸ÅÁúÀÇ ÀÜÁ¸½Ã°£¿¡ ÀÇÇؼµµ Á¿ìµÇ´Â °ÍÀ¸·Î ³ªÅ¸³µÀ¸¸ç ÀÜÁ¸½Ã°£ÀÌ ±æ¼ö·Ï ¿À¿°¹°Áú »ý»êÀº ´Ã¾î³´Ù. ±×·¯³ª FTIR½ºÆåÆ®·³ ºÐ¼®À» ÅëÇؼµµ Á¤È®ÇÑ ¿¹»ó Áõ°¡·®Àº ¾Ë¾Æ³¾ ¼ö ¾ø¾ú´Ù.
À̹ø ½ÇÇèÀÇ °¡Àå Áß¿äÇÑ ¸ñÀûÀº ÀÏ¸í ¿ªÇÐÀûÀ¸·Î °¡Àå ÇÕ¸®ÀûÀÎ °¡½º»ç¿ë±â°£À» °áÁ¤ÇÏ´Â °ÍÀÌ´Ù. ÀÌ´Â ¹ßÁøÀ» °ÅµìÇÒ¼ö·Ï HF, CO2, CF4, SiF4 µîÀÇ ºÒ¼ø¹° ¼öÄ¡°¡ ³ô¾ÆÁö´Â °ÍÀº ¹°·Ð °á±¹¿¡´Â Ãʱ⿡ °ËÃâµÇÁö ¾Ê¾Ò´ø NF3±îÁö »ý¼ºµÇ±â ¶§¹®ÀÌ´Ù.
±¸Ã¼ÀûÀ¸·Î ÃÖÃÊ °¡½ºÃæÀü½Ã ¹ßÁøÇßÀ» °æ¿ì HF, CO2, CF4, SiF4 µîÀÌ ¸ðµÎ 0.1ppm/millionÀÌÇÏ¿´Áö¸¸ 1õ¹øÀÇ ¹ßÁøÀÌÈÄ NF3°¡ »õ·Ó°Ô °ËÃâµÇ¸ç °¢°¢ÀÇ ¼öÄ¡°¡ »ó½ÂÇϱ⠽ÃÀÛÇß°í 1¸¸¹ø ¹ßÁøÈÄ¿¡´Â CF4°¡ 0.3ppm/m, NF3´Â 0.4ppm/m¿¡ °¡±î¿î ¼öÄ¡¸¦ º¸¿´´Ù. ¶ÇÇÑ 10¸¸¹ø ¹ßÁøÈÄ CF4´Â 0.8ppm/m¿¡ ´ÞÇßÀ¸¸ç ¹ßÁøÀÌ 1õ¸¸¹ø¿¡ À̸£·¶À» ¶§¿¡´Â SiF4µµ 0.8¿¡ ±ÙÁ¢Çß°í HF 0.2ppm/m, CO2 0.15ppm/m µîÀÇ ¼öÄ¡¸¦ º¸¿´´Ù. 1õ¸¸¹ø ¹ßÁø ÀÌÈÄ¿¡´Â COF2µµ °ËÃâµÆ´Ù. ±×·¯³ª 1õ¹øÀÇ ¹ßÁøÀÌÈÄ ³ªÅ¸³ NF3´Â 10¸¸È¸¿¡¼ ÃÖ°í·Î ³ôÀº °ËÃâ·®À» º¸ÀÎÈÄ °©Àڱ⠻ç¶óÁö´Âµ¥ ÀÌ´Â ¾Æ¸¶µµ ´Ù¸¥ È¥ÇÕ¹°°úÀÇ ¹ÝÀÀ¿¡ ÀÇÇÑ °ÍÀ¸·Î ÃßÃøµÈ´Ù.
¿¹»óÄÁ´ë 1¿ÍÆ® ·¹ÀÌÀú¿¡ ÀÖ¾î ·¹ÀÌÀú ´É·ÂÀÇ °¨¼Ò´Â 2¸¸¹øÀÇ ¹ßÁøÀÌÈÄ Çö°ÝÇÏ°Ô ¹ß»ýÇÑ´Ù.
·¹ÀÌÀúÀÇ ´É·Â°ú ºÐÀÚ³»ºÎÀÇ ºÒ¼ø¹° »çÀÌÀÇ °ü°è¸¦ °í·ÁÇغ¼ ¶§ ¾à 1¹é50ppmÀÇ N2 ¶Ç´Â NF3°¡ ·¹ÀÌÀú°¡½º È¥ÇÕ¹°¿¡ µé¾îÀִµ¥ µÎ °æ¿ì ¸ðµÎ¿¡¼ °¡½ºÀÇ ¼ö¸í´ÜÃàÈ¿°ú°¡ ³ªÅ¸³´Ù. <Ç¥-4>Àº ÀÌ·¯ÇÑ ºÒ¼ø¹°µéÀÌ ¸ÅÁú¿¡ À¯ÀÔµÆÀ» ¶§ ¹ß»ýÇÏ´Â ·¹ÀÌÀúÈ¿À²ÀÇ °¨¼Ò¸¦ Àß º¸¿©ÁØ´Ù.
¿¢½Ã¸Ó·¹ÀÌÀú °¡½ºÈ¥ÇÕ¹°ÀÇ Ä«Æ®¸®Áö ó¸®
À§¿¡¼ »ìÆ캸¾ÒµíÀÌ ¿¢½Ã¸Ó·¹ÀÌÀú¿¡ »ç¿ëµÇ´Â »ê¾÷¿ë°¡½º´Â Á¤±âÀûÀÎ ±³È¯ÀÌ ÇʼöÀûÀÌ´Ù. ¶ÇÇÑ °¡½º°¡ ´ë±â·Î ¹æÃâµÇ±â ÀÌÀü ¹ÝÀÀÈÄ »ý¼ºµÈ È¥ÇÕ¹°Àº ¹Ýµå½Ã Æó±âó¸®Çؾ߸¸ ÇÑ´Ù.
ÀϹÝÀûÀ¸·Î ºÒ¼Ò¸¦ Á¦°ÅÇϱâ À§Çؼ´Â È°¼ºÈµÈ ź¼Ò Èí¼öÀåÄ¡¸¦ È°¿ëÇÑ´Ù. ÇÏÁö¸¸ ÀÌ °æ¿ì ¿Â½ÇÈ¿°ú¸¦ À¯¹ßÇÏ´Â CF4°¡ »ý¼ºµÈ´Ù´Â ¹®Á¦Á¡ÀÌ ÀÖ´Ù.
ÀÌ·ÎÀÎÇØ ÃÖ±Ù »õ·Ó°Ô °³¹ßµÈ ¹æ¹ýÀÌ ºÒ¼Ò¿Í ¼ö¼Ò¿°È¹°À» °¢°¢ ó¸®ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â 2°³ÀÇ Ä«Æ®¸®Áö¸¦ Àû¿ëÇÏ´Â °ÍÀÌ´Ù.
ÀÏ·Ê·Î ¸Þ½ÎÀÇ °æ¿ì Excisorb-F¸¦ ÅëÇØ ºÒ¼Ò¸¦ ÇÔÀ¯ÇÑ È¥ÇÕ¹°À» ó¸®ÇÏ°í Excisorb-C·Î´Â HCl(¿°È¼ö¼Ò)¸¦ ÇÔÀ¯ÇÑ È¥ÇÕ¹°À» ó¸®ÇÑ´Ù. ¶ÇÇÑ ÇҷΰÕÀº °íü ÇҷΰÕȹ°·Î º¯È¯µÅ Èí¼öÁ¦¿¡ ÈíÂøµÈ´Ù. Èí¼öÁ¦´Â »óÅ¿¡ µû¶ó »ö±òÀÌ ¹Ù²î´Âµ¥ ¹ÝÅõ¸í¸·À» ÅëÇØ À̸¦ º¼ ¼ö ÀÖµµ·Ï Á¦ÀÛÇØ È¿¿ë¼ºÀ» ´õÇßÀ¸¸ç »ç¿ëÇÑ Èí¼öÁ¦ÀÇ Ã³¸®¿¡µµ Ưº°ÇÑ ¹®Á¦°¡ ¾ø´Â °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù. |
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ¾ÆÀÌ°¡½ºÀú³Î ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷±ÝÁö> |
|
|
|
|
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0) |
|
|
|
|
|
ȸ»ç : i°¡½ºÀú³Î | Á¦È£ : ¿Â¶óÀΰ¡½ºÀú³Î | µî·Ï¹øÈ£ : ¼¿ï, ¾Æ53038 | µî·ÏÀÏÀÚ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | ¹ßÇàÀÎ : À̶ô¼ø | ÆíÁýÀÎ : ±èÈ£ÁØ
ÁÖ¼Ò : ¼¿ï½Ã °¼±¸ ¸¶°îÁß¾Ó4·Î 18 ¸¶°î±×¶ûÆ®À©Å¸¿ö Bµ¿ 702È£| ÀüȹøÈ£ : 02-2645-9701 | ¹ßÇàÀÏ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : À̶ô¼ø
Copyright © 2004 ¾ÆÀÌ°¡½ºÀú³Î. All rights reserved.
|
|
|
|