에어리퀴드가 대만을 대표하는 과학산업단지 두 곳에 2억 유로(약 2,640억원) 규모의 설비 투자를 단행한다고 밝혔다.

이번 투자는 대만 유수 반도체 메이커들과의 장기 산업용가스 공급계약에 따른 것으로, 에어리퀴드가 1대 주주인 현지 합작기업 에어리퀴드 파 이스턴(Air Liquide Far Eastern)을 통해 타이난과학산업단지와 신주과학산업단지에서 진행될 예정이다.

먼저 에어리퀴드는 두 단지 내에 초고순도 수소·산소 플랜트를 건설한다. 이들 플랜트의 생산량은 수소 기준 시간당 총 5,000N㎥ 규모다. 또한 신주 단지에 시간당 총 12만N㎥의 질소 생산이 가능한 2기의 대형 ASU를 건설, 고순도 질소·아르곤을 공급할 예정이다. 아울러 두 단지에 대한 대량의 헬륨 공급도 진행된다.

이번 프로젝트와 관련해 에어리퀴드는 계약업체와 공급량 등 세부내용을 공개하지 않았지만 타이난 단지에서는 현재 건설 중인 고객사의 반도체 제조라인 3개, 신주 단지에서는 또다른 고객사의 로직 IC칩 연구개발 팹을 대상으로 공급이 이뤄질 것이라고 설명했다. 첫 플랜트의 가동시기는 오는 2021년 2분기를 목표로 하고 있다.