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[News Briefing] ㈜유니온가스, 수전해 O₂ 및 CRF He 공급 개시유니온가스, 초순수 5N 산소 및 CRF 6N 헬륨 공급에 나서
이락순 기자  |  rslee@igasnet.com
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승인 2020.09.28  
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첨단산업 연구 및 수급불안 해소…KOLAS 인증도 추진 중

 

400bar 초고압 소방용 Inergen 생산

   
 

경기 용인소재 ㈜유니온가스(대표이사 강용성)가 반도체 및 분석장치 등 첨단산업의 성장에 따른 초정밀 특수가스의 제조 및 수입공급으로 경쟁력 강화에 나서고 있다.

이 회사는 최근 각종 연구소의 초정밀 질량분석기, MOCVD Test 등에 사용되는 수전해방식의 5N(99.999%)급 초고순도 산소를 수입해 연구소 및 관련기업에 공급을 시작했다.

수전해방식의 초고순도 산소는 초순수 H2O를 분해함으로써 공기분리장치 등에 의해 제조되는 가스와는 달리 Ar이나 Hydrocarbon 등의 불순물이 전혀 없어 초정밀 분석용 표준가스로 널리 사용되고 있다.

따라서 연구소 등에서 사용되는 분석용 산소 입찰 시 자격요건(품목지정)에는 수전해 산소를 요구하는 경우가 많은 것으로 알려져 있다.

이와 함께 유니온가스는 주로 원자력분야 등 첨단산업의 연구 등에 활용되는 1ppm 이하의 CRF(Clean Room Filling) 6N(99.9999%) 헬륨(He)의 공급도 개시했다고 밝혔다.

그동안 CRF 6N 헬륨은 제조 및 수급의 불안정으로 인해 고순도 헬륨을 대체해 공급해 왔으나 사용과정에서 불량률이 높았던 탓에 수요처의 불만이 높았던 품목의 하나였다.

이처럼 유니온가스측은 밸런스가스를 포함한 가연성과 독성 가스 등에 대한 초정밀 혼합가스(ppm 단위)를 제조해 반도체 및 전자산업은 물론 연구소와 대학실험실 등을 타깃으로 수요를 창출한다는 계획이다.

또한 소방용 이너젠(Inergen, 불활성가스와 질소의 복합명칭)으로 사용되는 IG 541 초고압 질소를 400bar로 충전하기 위한 고압펌프 설비를 갖추고 200ℓ용기를 하루에 80병 가량 생산하고 있다.

이밖에도 반도체 및 초정밀산업의 수요창출을 위해 초고순도가스와 초정밀혼합가스 제조시설을 구축하고 日産 40병의 초고순도 6N(99.9999%) 질소와 시간당 30㎥의 5N(99.999%) 산소를 생산하고 있고 있으며 24종의 독성가스 판매허가 보유와 반도체용 메탄, CF4, Kr, Xe, Ne 등 수입가스를 수요처에 공급하고 있다.

강용성 사장은 “지속적인 수요개척과 적극적인 연구활동으로 산업용가스 충전사업의 도전의식을 고취하고 임직원들의 가스사업 이해도 확대와 기술영업을 온전히 실행나갈 것”이라며 “앞으로도 수요처와의 교감을 위해 공인된 품질보증에 필수적인 KOLAS(국제공인시험기관인정) 인증을 추진함으로써 표준물질 생산업체로 자리매김할 것”이라고 밝혔다.

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