÷´Ü»ê¾÷ ¿¬±¸ ¹× ¼ö±ÞºÒ¾È Çؼ҅KOLAS ÀÎÁõµµ ÃßÁø Áß
400bar ÃÊ°í¾Ð ¼Ò¹æ¿ë Inergen »ý»ê
°æ±â ¿ëÀμÒÀç ¢ßÀ¯´Ï¿Â°¡½º(´ëÇ¥ÀÌ»ç °¿ë¼º)°¡ ¹ÝµµÃ¼ ¹× ºÐ¼®ÀåÄ¡ µî ÷´Ü»ê¾÷ÀÇ ¼ºÀå¿¡ µû¸¥ ÃÊÁ¤¹Ð Ư¼ö°¡½ºÀÇ Á¦Á¶ ¹× ¼öÀÔ°ø±ÞÀ¸·Î °æÀï·Â °È¿¡ ³ª¼°í ÀÖ´Ù.
ÀÌ È¸»ç´Â ÃÖ±Ù °¢Á¾ ¿¬±¸¼ÒÀÇ ÃÊÁ¤¹Ð Áú·®ºÐ¼®±â, MOCVD Test µî¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ¼öÀüÇعæ½ÄÀÇ 5N(99.999%)±Þ ÃÊ°í¼øµµ »ê¼Ò¸¦ ¼öÀÔÇØ ¿¬±¸¼Ò ¹× °ü·Ã±â¾÷¿¡ °ø±ÞÀ» ½ÃÀÛÇß´Ù.
¼öÀüÇعæ½ÄÀÇ ÃÊ°í¼øµµ »ê¼Ò´Â Ãʼø¼ö H2O¸¦ ºÐÇØÇÔÀ¸·Î½á °ø±âºÐ¸®ÀåÄ¡ µî¿¡ ÀÇÇØ Á¦Á¶µÇ´Â °¡½º¿Í´Â ´Þ¸® ArÀ̳ª Hydrocarbon µîÀÇ ºÒ¼ø¹°ÀÌ ÀüÇô ¾ø¾î ÃÊÁ¤¹Ð ºÐ¼®¿ë Ç¥ÁØ°¡½º·Î ³Î¸® »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù.
µû¶ó¼ ¿¬±¸¼Ò µî¿¡¼ »ç¿ëµÇ´Â ºÐ¼®¿ë »ê¼Ò ÀÔÂû ½Ã ÀÚ°Ý¿ä°Ç(Ç°¸ñÁöÁ¤)¿¡´Â ¼öÀüÇØ »ê¼Ò¸¦ ¿ä±¸ÇÏ´Â °æ¿ì°¡ ¸¹Àº °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ® ÀÖ´Ù.
ÀÌ¿Í ÇÔ²² À¯´Ï¿Â°¡½º´Â ÁÖ·Î ¿øÀÚ·ÂºÐ¾ß µî ÷´Ü»ê¾÷ÀÇ ¿¬±¸ µî¿¡ È°¿ëµÇ´Â 1ppm ÀÌÇÏÀÇ CRF(Clean Room Filling) 6N(99.9999%) Çï·ý(He)ÀÇ °ø±Þµµ °³½ÃÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù.
±×µ¿¾È CRF 6N Çï·ýÀº Á¦Á¶ ¹× ¼ö±ÞÀÇ ºÒ¾ÈÁ¤À¸·Î ÀÎÇØ °í¼øµµ Çï·ýÀ» ´ëüÇØ °ø±ÞÇØ ¿ÔÀ¸³ª »ç¿ë°úÁ¤¿¡¼ ºÒ·®·üÀÌ ³ô¾Ò´ø Å¿¿¡ ¼ö¿äóÀÇ ºÒ¸¸ÀÌ ³ô¾Ò´ø Ç°¸ñÀÇ Çϳª¿´´Ù.
ÀÌó·³ À¯´Ï¿Â°¡½ºÃøÀº ¹ë·±½º°¡½º¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ °¡¿¬¼º°ú µ¶¼º °¡½º µî¿¡ ´ëÇÑ ÃÊÁ¤¹Ð È¥ÇÕ°¡½º(ppm ´ÜÀ§)¸¦ Á¦Á¶ÇØ ¹ÝµµÃ¼ ¹× ÀüÀÚ»ê¾÷Àº ¹°·Ð ¿¬±¸¼Ò¿Í ´ëÇнÇÇè½Ç µîÀ» Ÿ±êÀ¸·Î ¼ö¿ä¸¦ âÃâÇÑ´Ù´Â °èȹÀÌ´Ù.
¶ÇÇÑ ¼Ò¹æ¿ë À̳ÊÁ¨(Inergen, ºÒÈ°¼º°¡½º¿Í Áú¼ÒÀÇ º¹ÇÕ¸íĪ)À¸·Î »ç¿ëµÇ´Â IG 541 ÃÊ°í¾Ð Áú¼Ò¸¦ 400bar·Î ÃæÀüÇϱâ À§ÇÑ °í¾ÐÆßÇÁ ¼³ºñ¸¦ °®Ãß°í 200§¤¿ë±â¸¦ ÇÏ·ç¿¡ 80º´ °¡·® »ý»êÇÏ°í ÀÖ´Ù.
À̹ۿ¡µµ ¹ÝµµÃ¼ ¹× ÃÊÁ¤¹Ð»ê¾÷ÀÇ ¼ö¿äâÃâÀ» À§ÇØ ÃÊ°í¼øµµ°¡½º¿Í ÃÊÁ¤¹ÐÈ¥ÇÕ°¡½º Á¦Á¶½Ã¼³À» ±¸ÃàÇÏ°í ìíߧ 40º´ÀÇ ÃÊ°í¼øµµ 6N(99.9999%) Áú¼Ò¿Í ½Ã°£´ç 30§©ÀÇ 5N(99.999%) »ê¼Ò¸¦ »ý»êÇÏ°í ÀÖ°í ÀÖÀ¸¸ç 24Á¾ÀÇ µ¶¼º°¡½º ÆǸÅÇã°¡ º¸À¯¿Í ¹ÝµµÃ¼¿ë ¸Þź, CF4, Kr, Xe, Ne µî ¼öÀÔ°¡½º¸¦ ¼ö¿äó¿¡ °ø±ÞÇÏ°í ÀÖ´Ù.
°¿ë¼º »çÀåÀº “Áö¼ÓÀûÀÎ ¼ö¿ä°³Ã´°ú Àû±ØÀûÀÎ ¿¬±¸È°µ¿À¸·Î »ê¾÷¿ë°¡½º ÃæÀü»ç¾÷ÀÇ µµÀüÀǽÄÀ» °íÃëÇÏ°í ÀÓÁ÷¿øµéÀÇ °¡½º»ç¾÷ ÀÌÇصµ È®´ë¿Í ±â¼ú¿µ¾÷À» ¿ÂÀüÈ÷ ½ÇÇ೪°¥ °Í”À̶ó¸ç “¾ÕÀ¸·Îµµ ¼ö¿äó¿ÍÀÇ ±³°¨À» À§ÇØ °øÀÎµÈ Ç°Áúº¸Áõ¿¡ ÇʼöÀûÀÎ KOLAS(±¹Á¦°øÀνÃÇè±â°üÀÎÁ¤) ÀÎÁõÀ» ÃßÁøÇÔÀ¸·Î½á Ç¥Áع°Áú »ý»ê¾÷ü·Î ÀÚ¸®¸Å±èÇÒ °Í”À̶ó°í ¹àÇû´Ù. |