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Showa Denko, 中 쓰촨성에 고순도 CF₄ 조인트벤처 설립
양철승 기자  |  young@igasnet.com
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승인 2020.12.21  
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쇼와덴코가 중국 내 전자·반도체용 특수가스 수요 증대에 대응하기 위해 쓰촨성 청두 지역에 고순도 사불화탄소(CF₄, tetrafluoromethane) 제조를 위한 합작법인을 설립했다고 밝혔다.

신규 법인의 명칭은 Chengdu Kemeite Showa Electronic Materials(CKSEM)며 현지 특수가스 업체인 Chengdu Kemeite Special Gas(KMT)와 쇼와덴코가 각각 지분 60%, 40%를 보유한다. 자본금은 400만 위안(약 6억6,000만원)으로, 양사는 오는 2021년 1월 상용생산을 목표로 CKSEM의 제조설비 건설에 박차를 가하고 있는 상태다.

쇼와덴코 관계자는 “CF₄는 가장 기본적인 반도체 제조공정용 에칭가스의 하나”라며 “CKSEM의 출범으로 OLED 공정 등 신규 분야에서의 수요 확대에 선제적으로 대응할 수 있을 것”이라고 말했다.

이 관계자는 또 “기존 가와사키 설비에 더해 CF₄ 생산거점이 2곳으로 늘어나면서 동아시아 지역을 대상으로 한 공급안정성과 신뢰성도 대폭 향상될 전망”이라고 덧붙였다.

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