Æ÷½ºÄÚ, TEMC, ÈÇÐæÚ, RIST 4ÀÚ°£ ÄÁ¼Ò½Ã¾ö
ÃÖ±Ù Á¦Ã¶°øÁ¤ÀÇ ASUÇ÷£Æ®¿¡¼ »ý»êµÈ »ê¾÷¿ë°¡½º °ø±ÞÀ» ½ÃÀÛÇÑ Æ÷½ºÄÚ°¡ À̹ø¿£ Áö±¸¿Â³ÈÁö¼ö¿Í ¿ÀÁ¸Ãþ Æı« À§ÇèÀ» ³·Ãá ģȯ°æ Ư¼ö°¡½º »ç¾÷¿¡ÀÇ ÁøÃâÀ» ¼±¾ðÇß´Ù.
Æ÷½ºÄÚ´Â 6¿ù 1ÀÏ Çѱ¹ÈÇבּ¸¿ø, Æ÷Ç×»ê¾÷°úÇבּ¸¿ø(RIST), TEMC µî°ú 4ÀÚ°£ ÄÁ¼Ò½Ã¾öÀ» ¹ßÁ·ÇÏ°í ‘Àú¿Â³ÈÁö¼ö ¹ÝµµÃ¼·µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë ½Ä°¢°¡½º ¹× ³Ã¸Å°¡½º Á¦Á¶±â¼ú ¿¬±¸°³¹ß Çù·Â¿¡ °üÇÑ ¾÷¹«Çù¾à’À» ü°áÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù.
À̹ø ¾÷¹«Çù¾àÀ» ÅëÇØ ¿À´Â 2025³â±îÁö ±¹³»¿Ü ¹ÝµµÃ¼¾÷°è¿¡ ģȯ°æ »ê¾÷¿ë Ư¼ö°¡½º¸¦ »ó¿ëÈÇØ °ø±ÞÇÏ´Â °ÍÀÌ ¸ñÇ¥´Ù.
´ëÀü Çѱ¹ÈÇבּ¸¿ø º»¿ø¿¡¼ ¿¸° Çù¾à½Ä¿¡´Â Æ÷½ºÄÚ À¯º´¿Á »ê¾÷°¡½º·¼ö¼Ò»ç¾÷ºÎÀå, Çѱ¹ÈÇבּ¸¿ø À̹ÌÇý ¿øÀå, RIST À¯ ¼º ¿øÀå, TEMC À¯¿ø¾ç ´ëÇ¥ µîÀÌ Âü¼®Çß´Ù.
Æ÷½ºÄÚ À¯º´¿Á »ê¾÷°¡½º·¼ö¼Ò»ç¾÷ºÎÀåÀº “Æ÷½ºÄÚ´Â ÇöÀç Á¦Ã¶°øÁ¤¿¡¼ ¹ß»ýÇÑ À׿©°¡½º¸¦ »ê¾÷¿ëÀ¸·Î ÆǸÅÇÏ°í ÀÖ´Ù”¸é¼ “À̹ø Çù·ÂÀ» ÅëÇØ ÇâÈÄ ¼ö¿ä°¡ Å©°Ô ´Ã¾î³¯ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÇ´Â ģȯ°æ °¡½º ½ÃÀåÀ¸·Î »ç¾÷¿µ¿ªÀ» È®ÀåÇÏ°í »õ·Î¿î ºñÁî´Ï½º ±âȸ¸¦ âÃâÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÑ´Ù”°í ¸»Çß´Ù.
ÈÇבּ¸¿ø À̹ÌÇý ¿øÀåµµ “¿ì¸® ¿øÀº ÈÇкоßÀÇ ±¹³» À¯ÀÏ Ã⿬¿¬±¸¿øÀ¸·Î¼ ±¹°¡ ź¼ÒÁ߸³ ´Þ¼ºÀ» À§ÇÑ ´Ù¾çÇÑ ±â¼ú°³¹ß ¿¬±¸¸¦ ¼öÇàÇÏ°í ÀÖ´Ù”¸ç “ÀÌ°°Àº ¿¬±¸¿ª·®°ú À̹ø ÄÁ¼Ò½Ã¾öÀ» ÅëÇØ °ü·Ã ±â¼ú »ó¿ëȸ¦ ÃËÁø½ÃÅ°°í ¿Â½Ç°¡½º °¨Ãà¿¡ ±â¿©ÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °Í”À̶ó°í ¹àÇû´Ù.
À̹ø ÄÁ¼Ò½Ã¾öÀÌ °³¹ßÇϴ ģȯ°æ »ê¾÷¿ë Ư¼ö°¡½º´Â ¿ÀÁ¸ Æı« À§ÇèÀÌ ¾ø°í ±âÁ¸ °¡½º¿¡ ºñÇØ Áö±¸¿Â³ÈÁö¼ö ¿ª½Ã ÇöÀúÈ÷ ³·À» °ÍÀ¸·Î ³»´Ùº¸°í ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ °¡½ºÀÇ ¼øµµ¿¡ µû¶ó °í¼øµµ´Â ½Ä°¢°¡½º(Etching gas)·Î, ÀϹݼøµµ´Â ³Ã¸Å°¡½º·Îµµ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ±¤¹üÀ§ÇÑ »ê¾÷ ¼ö¿ä¿¡ ´ëÀÀÇØ ³ª°£´Ù´Â ÀÔÀåÀÌ´Ù.
À̹ø Çù¾à¿¡ µû¶ó ÈÇבּ¸¿øÀº ģȯ°æ °¡½ºÀÇ ¿øõ±â¼úÀ» °³¹ßÇÏ°í RIST´Â °³¹ß ±â¼úÀÇ ±Ô¸ð È®´ë(Scale-up) ¿¬±¸¸¦ ¼öÇàÇϸç Æ÷½ºÄÚ¿Í TEMC´Â °³¹ßµÈ ±â¼úÀ» Åä´ë·Î °¡½º¸¦ »ý»êÇÏ°í 2025³â±îÁö »ó¿ëÈÇØ ±¹³»¿Ü ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»ç µî¿¡ °ø±ÞÇÑ´Ù´Â °èȹÀÌ´Ù.
ÇöÀç ¹ÝµµÃ¼ µî¿¡¼ »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Â ´ëÇ¥ÀûÀÎ ½Ä°¢°¡½º(Etching Gas)´Â HF¸¦ ºñ·Ô SF6, HBr, CF4, HCl, NF3, C3F8, SiF4, Cl2, C2F8 µîÀÌ ÀÖÀ¸¸ç ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤¿¡¼ ȸ·ÎÀÇ ºÒÇÊ¿äÇÑ ºÎºÐÀ» ±ð¾Æ³»´Â °øÁ¤°ú ºÒ¼ø¹° Á¦°Å°úÁ¤¿¡¼ ÁÖ·Î »ç¿ëµÇ´Â Ư¼ö°¡½º´Ù.
ÇÏÁö¸¸ ´ëºÎºÐÀÇ ½Ä°¢°¡½º´Â ³ôÀº Áö±¸¿Â³ÈÁö¼ö·Î ź¼Ò¹èÃâ±Ç ºñ¿ë ºÎ´ãÀÌ Å©°í »ç¿ë ±ÔÁ¦µµ °ËÅäµÇ°í ÀÖÀ¸¸ç ³Ã¸Å°¡½º ¿ª½Ã ¿ÀÁ¸Ãþ Æı« À§ÇèÀÌ ³ôÀº ¼ººÐÀÌ ÇÔÀ¯µÈ Á¦Ç°Àº 2030³âºÎÅÍ Àü ¼¼°èÀûÀ¸·Î »ç¿ëÀÌ ±ÝÁöµÉ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
ÀÌ°°Àº ÀÌÀ¯·Î À̹ø ÄÁ¼Ò½Ã¾öÀº ȯ°æ ±ÔÁ¦¿Í ±Û·Î¹ú ESG(ȯ°æ·»çȸ·Áö¹è±¸Á¶)°æ¿µ ±âÁ¶¿¡ µû¶ó ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ µð½ºÇ÷¹ÀÌ, °¡Àü µî »ê¾÷ Àü¹Ý¿¡¼ ģȯ°æ ½Ä°¢°¡½º ¹× ³Ã¸Å°¡½º ¼ö¿ä È®´ë°¡ ÇÊ¿äÇÏ´Ù´Â ÆÇ´Ü¿¡ ±âÀÎÇÑ °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.
¶ÇÇÑ Æ÷½ºÄÚ´Â ÀÌ¿Í´Â º°°³·Î ±âÁ¸¿¡ Çѱ¹ÈÇבּ¸¿ø°ú RIST°¡ Çù·ÂÇß´ø ź¼ÒÀÚ¿øÈ ¿¬±¸ Âü¿©¿Í ÇÔ²² Æ÷½ºÄÚ°¡ º¸À¯ ÁßÀΠź¼ÒÆ÷ÁýÈ°¿ë(CCU) ±â¼úÀ» °íµµÈÇØ Á¦Ã¶ºÎ»ý°¡½º¿¡¼ ÀÏ»êÈź¼Ò¸¦ ºÐ¸®ÇÑ ÈÄ ÈÇÐÁ¦Ç° »ý»ê¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ¿ø·á·Î ÀÚ¿øÈÇÏ´Â ¿¬±¸¸¦ Áö¼ÓÇÑ´Ù´Â °èȹÀÌ´Ù.
ÇÑÆí À̹ø ÄÁ¼Ò½Ã¾ö¿¡ Âü¿©ÇÑ TEMC´Â ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ °øÁ¤¿ë Ư¼ö°¡½º´Â ¹°·Ð ÀÇ·á¿ë°¡½º °ø±Þ°ú Ư¼ö°¡½º Àü¹®¾÷ü·Î ³×¿Â ¹× Çï·ýÀÇ ºÐ¸®·Á¤Á¦ Ç÷£Æ®ÀÇ µ¶ÀÚ°³¹ß°ú ÇÔ²² ³×¿Â ±â¹ÝÀÇ Excimer Laser GasºÐ¾ß Global Certificate ȹµæ µîÀ¸·Î ½ÃÀå È®À强ÀÌ ³ôÀº ±â¾÷À¸·Î Æò°¡¹Þ°í ÀÖ´Ù. |