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Air Liquide, 中 우한에 5만2000N㎥급 ASU 건설
양철승 기자  |  young@igasnet.com
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승인 2021.07.20  
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에어리퀴드는 최근 중국 우한지역에 약 7000만 유로(약 940억원)를 투자해 전자·반도체용 초고순도 공기분리가스를 생산할 신규 ASU플랜트 1기를 건설한다고 밝혔다.

이번 ASU 건설은 우한에 메모리칩 제조설비를 운영하는 반도체 업체와의 장기 공급계약에 따른 것이다. 에어리퀴드는 계약조건에 따라 업체의 사명은 공개하지 않았지만 지난 12년 이상 초순도 산업용 가스를 공급한 굴지의 플래시 메모리 제조기업이라고 설명했다.

신규 ASU의 생산능력은 질소 기준 시간당 5만2000N㎥며, 질소에 더해 산소와 아르곤도 공급될 예정이다. 상용가동은 오는 2022년을 목표로 하고 있다.

특히 에어리퀴드는 최근 수년간 우한이 낸드 플래시 메모리칩 산업의 기술 허브로 떠오르고 있다는 점에서 이번 계약을 통해 중국 반도체 업계에 대한 영향력을 한층 강화할 수 있을 것으로 보고 있다.

에어리퀴드 관계자는 “우한은 지난 2007년 이래 에어리퀴드 그룹의 핵심 산업용가스 공급시장으로 거듭났다”며 “신규 계약으로 중국 내 입지 강화는 물론 전자·반도체용 가스 사업의 성장 모멘텀 강화에도 긍정적 영향이 기대된다”고 말했다.

 

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