린데는 최근 세계적인 반도체기업 인피니언 테크놀로지스와 고순도 그린수소의 장기공급계약을 체결했다고 밝혔다.

이번 계약에 따라 린데는 오는 2022년 상용가동을 목표로 인피니언의 오스트리아 케른텐주 필라흐 공장 내에 2㎿급 수전해 플랜트를 건설·운영하게 된다. 인피니언의 반도체 제조공정에 그린수소가 활용되는 것은 이번이 처음이다.

필라흐 수전해 플랜트는 ITM파워의 양자교환막(PEM) 기술을 이용해 그린수소를 생산하며, 린데는 인피니언의 엄격한 규격에 맞춰 이 수소를 고순도로 정제해 공급하게 된다. 이를 통해 인피니언은 필라흐 공장의 탄소발자국을 대폭 줄일 수 있을 것으로 기대하고 있다.

린데 관계자는 “탄소배출을 줄이는 지속가능한 생산공장 구현은 거스를 수 없는 글로벌 전 산업계의 트렌드”라며, “이번 프로젝트는 반도체 산업에서 그린수소의 활용을 선도한다는 점에서 그 의미가 크다”고 강조했다.

한편 린데와 인피니언은 필라흐 공장의 생산량 증대에 맞춰 질소공급의 안정성을 확보하기 위해 콤팩트형 온사이트 ASU플랜트 1기의 추가 건설에도 합의했다.