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티이엠씨, 반도체용 에칭가스 자동화설비 CTS Plant 증설내년 1분기 완공 예정…중장기 400억원 투자 계획
김호준 기자  |  reporter@igasnet.com
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승인 2021.11.01  
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반도체 소재 전문기업 티이엠씨(주)가 특수가스 국산화를 위해 대규모 투자를 진행한다.

티이엠씨(주)(대표 유원양)는 최근 보은군 일반산업단지에 CTS Plant 부지 3만3,054.5㎡를 취득했고 250억원을 추가로 투자해 6,000㎡ 규모의 CTS Plant을 건설할 예정이다. 현재 티이엠씨가 국내 반도체 고객사에 양산납품 중인 황화카보닐(COS), CO 등 카본계열의 에칭·냉매용 특수가스 생산 확대를 위해 최첨단 자동화설비 적용해 2022년 1분기까지 증설 완공할 계획이다.

이에 따라 티이엠씨는 최근 반도체 업계의 에칭가스로 주목받고 있는 황화카보닐(COS)을 합성·국산화해 기존 연간 40톤의 생산능력을 140톤까지 확대하고 연간 36만㎥의 생산능력을 보유한 CO는 108만㎥까지 확대해 고객사에 안정적으로 공급할 계획이다.

에칭가스는 반도체 제조중 회로의 불필요한 부분을 정교하게 깎아내는 기능을 하는 핵심 소재로 황화카보닐은 유기계 반사 방지막의 플라즈마에 의한 고이방성 및 고선택성 에칭용의 가스다. 특히 기존 사용 가스에 COS 가스를 추가 했을 시 미세패턴 및 플라즈마 에칭이 개선된다는 연구 결과가 발표되면서 신규 에칭가스로 COS가 주목 받고 있다.

이에 티이엠씨는 지난 2019년 11월 중소벤처기업부가 지원하는 ‘황화카보닐(COS) Gas 고순도 정제시설 국산화’ 과제에 최종 선정 됐다. 24개월간 연구개발을 통해 반도체급의 고순도 제품을 생산 할 수 있는 정제 원천기술을 확보해 국내 굴지의 반도체 고객사에 양산납품하고 있다.

티이에씨의 이번 합성공장 추가증설로 황화카보닐(COS)의 합성, 고순도정제, 자동 분석시스템 구축을 통해 반도체 산업에 기여할 것으로 전망된다.

티이엠씨 유원양 대표는 “소재 연구개발, 생산 확대 등을 통해 특수가스의 완전한 국산화를 이루어 대한민국 반도체 소재 사업에 기여하겠다”고 말했다.

한편 티이엠씨는 ‘특수가스의 완전한 국산화’를 목표로 2015년 1월 창립한 반도체 소재 전문기업으로 설립 이래 연평균 80% 이상의 높은 성장세를 보이며 관련 업계의 주목을 받고 있다. 2017년에는 충북 보은군 일반산업단지의 ATS Plant 5,127㎡에 총 160억원을 투자 완료해 C4F6, CO, Excimer Laser gas, Rare gas등을 생산하고 있다. 또한 다이보레인(B2H6) 합성공장인 BTS Plant에는 약 150억원을 투자해 생산을 시작했으며 기존 사업장 ATS Plant에 50억, BTS Plant에 100억을 추가 투자할 계획 중이다.

 

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