Áö³ 4¿ù 1ÀÏ ÃæºÏ º¸Àº»ê¾÷´ÜÁö¿¡ ¼ÒÀçÇÑ Æ¯¼ö°¡½º Á¦Á¶¾÷üÀÎ TEMC(ÁÖ) °øÀå°Ç¹°¿¡¼ º¸°üÁßÀÌ´ø µðº¸¶õ(B2H6, diborane)ÀÌ Æø¹ßÇÏ´Â »ç°í°¡ ¹ß»ýÇß´Ù.
À̳¯ ¿ÀÀü 8½Ã°æ °øÀå ÀÚÀç½Ç¿¡ º¸°üÁßÀÌ´ø ½Ç¸°´õ 11°³ Áß 1°³°¡ 1Â÷ Æø¹ßÀ» ¹ß»ý½ÃŲ ÈÄ ¾à 20ºÐ »çÀÌ 4Â÷·Ê³ª Áö¼ÓµÆÀ¸¸ç °Ç¹°¿Üº®°ú ÁöºØÀÌ Å©°Ô ÆļյÆÁö¸¸ Àθí ÇÇÇØ´Â ¾ø´Â °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù.
ƯÈ÷ °¡¿¬¼º°¡½ºÀÇ ¹æÆøÀåÄ¡°¡ ¼³Ä¡µÈ »óÅ¿©¼ Æø¹ß·Î ÀÎÇÑ Å« ÈÀç´Â ¹ß»ýÇÏÁö ¾Ê¾Ò´Ù.
Æø¹ß»ç°í¸¦ ÀÏÀ¸Å² Ư¼ö°¡½º´Â µ¶¼ºÀÌ °ÇÏ°í »ó¿Â(ßÈè®)¿¡¼´Â ºñ±³Àû ¾ÈÁ¤ÀûÀ̱ä ÇÏÁö¸¸ ½À±â°¡ ÀÖÀ¸¸é ÀÚ¿¬ ¹ßÈÇϴ Ư¼ºÀ» °¡Áö°í ÀÖ´Ù.
µðº¸¶õÀº ÁÖ·Î ±Ô¼Ò¹ÝµµÃ¼¿ë µµÇΰ¡½º·Î »ç¿ëµÇ°í ÀûÃþÇü NAND Ç÷¡½Ã¸Þ¸ð¸®ÀÇ »ý»ê µî ¹ÝµµÃ¼»ê¾÷¿¡ ÁÖ·Î »ç¿ëµÇ´Â °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ® ÀÖÀ¸¸ç »ç°í°¡ ³ ȸ»ç´Â Áú¼Ò¿Í ¼ö¼Ò ¹ë·±½º¿¡ µðº¸¶õÀ» È¥ÇÕÇÏ´Â ÇüÅ·ΠȥÇÕ°¡½º¸¦ Á¦Á¶Çϱâ À§ÇØ ÀÚÀç½Ç¿¡ °¡½º½Ç¸°´õ¸¦ º¸°üÇÏ°í ÀÖ¾ú´ø °ÍÀ¸·Î º¸¿©Áø´Ù.
Ã⵿ÇÑ ¼Ò¹æ´ç±¹Àº Àη 50¿© ¸í°ú Àåºñ 30¿© ´ë¸¦ ÅõÀÔÇØ 2½Ã°£ 30ºÐ ¸¸¿¡ ³Ã°¢ ÀÛ¾÷ µî ¾ÈÀüÁ¶Ä¡¸¦ ³¡³½ ÀÌÈÄ 4¿ù 5ÀÏ °¡½º¾ÈÀü°ø»ç, ±¹°ú¼ö, ¼Ò¹æ´ç±¹ µî 7°³ ±â°üÀ¸·Î ²Ù·ÁÁø ÇÕµ¿ °¨½Ä¹ÝÀÌ °øÀå Á¦Á¶µ¿ ÀÚÀç½Ç µîÀ» Áß½ÉÀ¸·Î ÇöÀå °¨½ÄÀ» ÁøÇàÇß´Ù. |