국내 반도체 공정기술이 사상 처음으로 국제표준으로 채택됐다. 지난 수십 년간 북미, 일본이 선점해 온 반도체공정 표준 분야에서 최초로 이룬 쾌거다.
한국반도체산업협회(KSIA)와 국제반도체장비재료협회(SEMI)는 지난 1월 14일 반도체 장비 간 통신 규격에 관한 국내 반도체 공정기술 ‘SEMI E5-0712’가 국제표준으로 채택됐다고 밝혔다.
최근 하이테크산업에서는 기술력 우위보다도 표준화 선점이 경쟁력 확보의 핵심요소로 부각되고 있으며 이것이 곧 미래시장 주도로 직결되고 있다. 하지만 우리나라는 세계 최고 수준의 반도체 공정기술을 보유하고 있음에도 반도체공정 분야의 표준화 활동이 미미한 실정이다. 반도체공정에 사용되는 850여개의 SEMI 국제표준 중 국내에서 제정한 표준은 한 건도 없었다.
이에 KSIA와 SEMI는 지난 2008년부터 삼성전자 및 SK하이닉스를 중심으로 국내 반도체장비 업체들과 함께 공정분야 표준화 활동에 박차를 가해 4년여 만에 국제표준 제정에 성공했다.
이번에 선정된 국제표준 SEMI E5-0712는 반도체 장비 간 통신 규격에 관한 것으로 반도체 제조 팹의 자동화에 필수적인 소프트웨어 분야 표준이다. 팹 자동화 설비변경 시 발생하는 장비간 통신오류를 낮춰 장비 간 통신 편의성을 높인 것이 특징이다.
협회는 이번 국제표준 제정이 반도체 강국의 위상을 높임과 더불어 국제표준을 실질적으로 주도해 나갈 수 있는 계기를 마련한 것으로 향후 반도체공정분야 표준화 선점을 위한 의미 있는 출발점이 될 것으로 기대하고 있다.
한편 이번 표준 제정은 KSIA에서 지식경제부 산업융합원천기술개발사업으로 수행중인 ‘차세대 반도체 장비 및 소자의 표준화 기술개발 과제’의 일환으로 추진됐다. 향후에도 지식경제부와 KSIA는 국내 장비업체들의 의견을 반영한 국제표준 개발활동을 지속적으로 지원한다는 방침이다.
