프렉스에어가 대만에 SiH4 충전설비를 가동, 아시아지역 반도체 시장 공략에 적극 나선다.
프렉스에어는 최근 중국석유개발공사(CPD)와의 조인트벤처인 Praxair Chemax Semiconductor Materials(PCSM)社의 SiH4 충전설비가 완공되어 가동에 돌입했다고 밝혔다.
프렉스에어가 대만에 SiH4 충전설비를 갖춘 것은 이번이 처음으로 이 설비는 6.0등급의 고순도 SiH4를 공급할수 있는 완전 자동화된 시스템을 갖추고 있으며 이미 지난 6월1일을 기해 실질적인 가동에 들어간 것으로 밝혀졌다.
시레인으로도 불리는 SiH4는 반도체 제조시 어레이(array) 및 CVD공정에 사용되는 반도체산업에 있어 없어서는 안되는 중요한 특수가스로 꼽힌다.
이에따라 프렉스에어는 대만의 SiH4 설비를 활용해 PCSM社의 고객들은 물론 아시아지역 반도체 제조업체들을 대상으로 적극적인 제품 공급에 나선다는 계획이다.
또한 PCSM의 입장에서도 반도체 및 TFT-LCD 제조업체들에 대한 공급의 신뢰성과 정확성을 확보할 수 있는데다 경쟁사 대비 우월한 가격경쟁력을 지닐수 있다는 점에서 상당한 매출증진 효과를 기대하고 있다.
이와관련 프렉스에어의 반도체가스 사업부문 Frank Crespo 부사장은 “자사는 아시아지역 반도체 제조업체들에 대한 특수가스 공급능력 개선을 끊임없이 추구할 것”이라고 강조했다.
한편 대만 쥬베이(Jubei) 지역에 본사를 두고 있는 PCSM社는 반도체제조업체들을 대상으로 6.5등급의 암모니아를 포함해 고순도가스, 특수가스, 가스배송시스템 등을 제공하고 있다.
