|
|
- UPDATE : 2024.4.26 ±Ý 11:27
|
Ȩ
> Çؿܵ¿Çâ |
Praxair, ´ë¸¸¿¡ °í¼øµµ SiH4 ÃæÁø¼³ºñ °¡µ¿¾Æ½Ã¾Æ ¹ÝµµÃ¼½ÃÀå Àû±Ø °ø·« |
|
ÇÁ·º½º¿¡¾î°¡ ´ë¸¸¿¡ SiH4 ÃæÀü¼³ºñ¸¦ °¡µ¿, ¾Æ½Ã¾ÆÁö¿ª ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå °ø·«¿¡ Àû±Ø ³ª¼±´Ù.
ÇÁ·º½º¿¡¾î´Â ÃÖ±Ù Áß±¹¼®À¯°³¹ß°ø»ç(CPD)¿ÍÀÇ Á¶ÀÎÆ®º¥Ã³ÀÎ Praxair Chemax Semiconductor Materials(PCSM)ÞäÀÇ SiH4 ÃæÀü¼³ºñ°¡ ¿Ï°øµÇ¾î °¡µ¿¿¡ µ¹ÀÔÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù.
ÇÁ·º½º¿¡¾î°¡ ´ë¸¸¿¡ SiH4 ÃæÀü¼³ºñ¸¦ °®Ãá °ÍÀº À̹øÀÌ Ã³À½À¸·Î ÀÌ ¼³ºñ´Â 6.0µî±ÞÀÇ °í¼øµµ SiH4¸¦ °ø±ÞÇÒ¼ö ÀÖ´Â ¿ÏÀü ÀÚµ¿ÈµÈ ½Ã½ºÅÛÀ» °®Ãß°í ÀÖÀ¸¸ç ÀÌ¹Ì Áö³ 6¿ù1ÀÏÀ» ±âÇØ ½ÇÁúÀûÀÎ °¡µ¿¿¡ µé¾î°£ °ÍÀ¸·Î ¹àÇôÁ³´Ù.
½Ã·¹ÀÎÀ¸·Îµµ ºÒ¸®´Â SiH4´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶½Ã ¾î·¹ÀÌ(array) ¹× CVD°øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ¹ÝµµÃ¼»ê¾÷¿¡ ÀÖ¾î ¾ø¾î¼´Â ¾ÈµÇ´Â Áß¿äÇÑ Æ¯¼ö°¡½º·Î ²ÅÈù´Ù.
ÀÌ¿¡µû¶ó ÇÁ·º½º¿¡¾î´Â ´ë¸¸ÀÇ SiH4 ¼³ºñ¸¦ È°¿ëÇØ PCSMÞäÀÇ °í°´µéÀº ¹°·Ð ¾Æ½Ã¾ÆÁö¿ª ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¾÷üµéÀ» ´ë»óÀ¸·Î Àû±ØÀûÀÎ Á¦Ç° °ø±Þ¿¡ ³ª¼±´Ù´Â °èȹÀÌ´Ù.
¶ÇÇÑ PCSMÀÇ ÀÔÀå¿¡¼µµ ¹ÝµµÃ¼ ¹× TFT-LCD Á¦Á¶¾÷üµé¿¡ ´ëÇÑ °ø±ÞÀÇ ½Å·Ú¼º°ú Á¤È®¼ºÀ» È®º¸ÇÒ ¼ö Àִµ¥´Ù °æÀï»ç ´ëºñ ¿ì¿ùÇÑ °¡°Ý°æÀï·ÂÀ» Áö´Ò¼ö ÀÖ´Ù´Â Á¡¿¡¼ »ó´çÇÑ ¸ÅÃâÁõÁø È¿°ú¸¦ ±â´ëÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÀÌ¿Í°ü·Ã ÇÁ·º½º¿¡¾îÀÇ ¹ÝµµÃ¼°¡½º »ç¾÷ºÎ¹® Frank Crespo ºÎ»çÀåÀº ¡°ÀÚ»ç´Â ¾Æ½Ã¾ÆÁö¿ª ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¾÷üµé¿¡ ´ëÇÑ Æ¯¼ö°¡½º °ø±Þ´É·Â °³¼±À» ²÷ÀÓ¾øÀÌ Ãß±¸ÇÒ °Í¡±À̶ó°í °Á¶Çß´Ù.
ÇÑÆí ´ë¸¸ Á꺣ÀÌ(Jubei) Áö¿ª¿¡ º»»ç¸¦ µÎ°í ÀÖ´Â PCSMÞä´Â ¹ÝµµÃ¼Á¦Á¶¾÷üµéÀ» ´ë»óÀ¸·Î 6.5µî±ÞÀÇ ¾Ï¸ð´Ï¾Æ¸¦ Æ÷ÇÔÇØ °í¼øµµ°¡½º, Ư¼ö°¡½º, °¡½º¹è¼Û½Ã½ºÅÛ µîÀ» Á¦°øÇÏ°í ÀÖ´Ù. |
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ¾ÆÀÌ°¡½ºÀú³Î ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷±ÝÁö> |
|
|
|
|
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0) |
|
|
|
|
|
ȸ»ç : i°¡½ºÀú³Î | Á¦È£ : ¿Â¶óÀΰ¡½ºÀú³Î | µî·Ï¹øÈ£ : ¼¿ï, ¾Æ53038 | µî·ÏÀÏÀÚ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | ¹ßÇàÀÎ : À̶ô¼ø | ÆíÁýÀÎ : ±èÈ£ÁØ
ÁÖ¼Ò : ¼¿ï½Ã °¼±¸ ¸¶°îÁß¾Ó4·Î 18 ¸¶°î±×¶ûÆ®À©Å¸¿ö Bµ¿ 702È£| ÀüȹøÈ£ : 02-2645-9701 | ¹ßÇàÀÏ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : À̶ô¼ø
Copyright © 2004 ¾ÆÀÌ°¡½ºÀú³Î. All rights reserved.
|
|
|
|