에어프로덕트는 최근 유수의 가스장비업체인 Acme Cryogenics社와 공동으로 최신 초고순도가스(UHP) 혼합기를 개발하고 본격적인 마케팅에 돌입한다고 밝혔다.
이번에 출시된 가스혼합기(제품명 GasGuard)는 초고순도 질소와 수소를 혼합할 수 있는 제품으로 지금까지 적정비율로 이미 혼합되어 있는 UHP실린더 제품을 사용하고 있는 반도체제조업체들을 대상으로 영업력을 집중시킨다는 계획이다.
이 제품은 또 시간당 1천입방피트 수준의 flow 비율까지 수용이 가능하며 ppb단위의 순도를 유지할수 있다. 특히 일부공정을 개선함으로서 향후 초고순도 산소, 아르곤, 헬륨, 탄산 등의 혼합도 가능한 것으로 알려졌다.
혼합된 초고순도 가스는 전기광택 처리된 스테인리스 용기에 충전되는데 별도의 가스분석기를 통해 모니터로 가스의 품질을 완벽하게 파악할 수 있다.
이와관련 에어프로덕트의 Alex Botelho 신상품개발 매니저는 “자사는 Acme社와 함께 ‘GasGuard’에 최신 공학기술과 안전성, 통제능력을 부여했다”며 “고객들은 이 제품을 사용함으로서 그동안 많은 수의 기혼합된 실린더들을 관리해야만 했던 불편함을 덜고 상당한 비용절감 효과를 얻을 수 있다”고 강조했다.
한편 미국 동부 필라델피아 지역에 본사를 두고 있는 Acme Cryogenics社는 지난 33년간 전세계 가스산업체들을 대상으로 다양한 제품을 공급해오고 있는 업체이다.
