 |
|
- UPDATE : 2025.6.27 ±Ý 16:56
|
Ȩ
> i°¡½º¿Í¿¡³ÊÁö |
´ë¹é½Å¼ÒÀç, 2õ5¹é¸¸´Þ·¯ ±Ô¸ð NF3 ½Å±Ô °ø±Þ°è¾à ü°á´ë¸¸¼ÒÀç Ù»¾÷ü¿Í 3³â °è¾à... 1¹é30¾ï¿ø ÅõÀÚ °øÀåÁõ¼³ |
|
´ë¹é½Å¼ÒÀç(´ëÇ¥ ÀÌ¿µ±Õ)°¡ ¿¡¾î¸®ÄûµåÞä¿¡ À̾î ÃÖ±Ù ´ë¸¸ ¼ÒÀç Ù»¾÷ü¿Íµµ ÃÑ¾× 2õ5¹é¸¸´Þ·¯¿¡ ´ÞÇÏ´Â NF3 °ø±Þ°è¾àÀ» ü°áÇß´Ù.(°ü·Ã±â»ç Á¦30È£ 12¸é)
´ë¹é½Å¼ÒÀç´Â Áö³ 18ÀÏ ¡°´ë¸¸ÀÇ ÇÑ °¡½ºÀ¯Åë¾÷ü¿Í 2005³â±îÁö 3³â°£ ÃÑ 2õ5¹é50¸¸´Þ·¯(¾à 3¹é15¾ï¿ø) ±Ô¸ðÀÇ NF3°ø±Þ°è¾àÀ» ü°áÇß´Ù¡±°í ¹àÇû´Ù.
À̹ø NF3 ¼öÃâÀº ÃѾױâÁØÀ¸·Î Áö³ÇØ ´ë¹é½Å¼ÒÀçÀÇ Àüü ¸ÅÃâ¾×ÀÇ 182%¿¡ À̸£°í ÀÖÀ¸¸ç Áö³4¿ù ¿¡¾î¸®ÄûµåÞä¿Í °è¾àÇÑ ¹°·®(¿¬°£ 9¹é¸¸´Þ·¯)±îÁö ´õÇϸé ÀÌ È¸»ç´Â ÇâÈÄ 3³â°£ NF3¿¡¼¸¸ ¿¬Æò±Õ 1õ7¹é50¸¸´Þ·¯(2¹é24¾ï), ÃÑ 5õ2¹é50¸¸´Þ·¯(¾à 6¹é73¾ï8õ¸¸¿ø)ÀÇ °íÁ¤¸ÅÃâÀÌ °¡´ÉÇÒ Àü¸ÁÀÌ´Ù. ¶ÇÇÑ À̹ø °è¾àÀº 1³â¸¶´Ù Àç°è¾à ÇØ¾ß ÇÏ´Â ¿¡¾î¸®ÄûµåÞä¿Í ´Þ¸® 3³â°£ °è¾à¹°·® ¹× °ø±Þ°¡°Ý µîÀ» È®Á¤Çß´Ù´Â Á¡¿¡¼ ¶Ç´Ù¸¥ Àǹ̰¡ ÀÖ´Ù.
±×·¯³ª ´ë¹éÃøÀº À̹ø¿¡µµ °è¾àÀ» ü°áÇÑ ´ë¸¸¾÷üÀÇ À̸§°ú ±¸Ã¼ÀûÀÎ °ø±Þ¹°·®, °ø±Þ´Ü°¡ µî ¼¼ºÎ»çÇ×Àº °ø°³ÇÏÁö ¾Ê°í ÀÖ´Ù.
Áö³ 25ÀÏ 1Â÷ ¼±Àû½Ã±â µî À¯µ¿ÀûÀÎ »çÇ×À» ÇùÀÇÇϱâ À§ÇØ ´ë¸¸À¸·Î Ãâ±¹ÇÑ ÀÌ È¸»çÀÇ È²±âÇö Àü¹«´Â ¡°¹ßÇ¥µÈ ´ë¸¸¾÷ü´Â ¹ÝµµÃ¼Á¦Á¶¾÷ü°¡ ¾Æ´Ï¸ç ¼¼°èÀûÀÎ ´Ù±¹Àû »ê¾÷¿ë°¡½º ±â¾÷ÀÇ ´ë¸¸³» ÀÚȸ»ç(Áö»ç)Áß Çϳª·Î ¿¡¾î¸®ÄûµåÞä¿Í´Â ÀüÇô °ü·ÃÀÌ ¾ø´Â ¾÷ü¡±¶ó°í ¹àÇû´Ù.
ÇöÀç ´ë¸¸¿¡ ÁøÃâÇÑ »ê¾÷¿ë°¡½º ´Ù±¹Àû ±â¾÷Àº ¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®(SAN FU CHEMICAL)¸¦ ºñ·Ô BOC(BOC Lien Hwa Industrial Gas, BOC¿¡µå¿öµåŸÀÌ¿Ï), ¸°µ¥(FU IOU Enterprise, HON CHEN Enterprise, HON FU Enterprise), ÇÁ·º½º¿¡¾î(Praxair Chemax Semiconductor Materials) µîÀÌ ÀÖ´Ù. Áï Á¤È®ÇÑ ÃßÁ¤Àº ¾î·ÆÁö¸¸ ´ë¹éÀº ÀÚü NF3°øÀåÀ» º¸À¯ÇÑ BOC¿Í ¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®¸¦ Á¦¿ÜÇÑ 2°³»çÁß ÇÑ °÷°ú °è¾àÀ» ¸ÎÀº °ÍÀ¸·Î ÆÇ´ÜµÈ´Ù.
ƯÈ÷ ´ë¹éÀº ¿¬´Þ¾Æ 2°ÇÀÇ ´ë±Ô¸ð °è¾àÀ» ¼º»ç½ÃÅ´À¸·Î¼ ¿øÈ°ÇÑ ¼ö±ÞÀ» À§ÇØ °æºÏ ¿µÁÖ ¼ÒÀç NF3Á¦Á¶°øÀåÀÇ È®Ãæ¿¡µµ ¹ÚÂ÷¸¦ °¡Çϰí Àִµ¥ ÀÌ¹Ì Áö³ 7ÀÏ ÀºÇàÀ¸·ÎºÎÅÍ 1¹é30¾ï¿øÀ» Â÷ÀÔ, ¿¬°£ 1¹éÅæ ¹Ì¸¸À̾ú´ø »ý»ê´É·ÂÀ» 3¹éÅæ ±Ô¸ð·Î Áõ¼³Áß¿¡ ÀÖ´Ù.
ÇÑÆí ´ë¹é½Å¼ÒÀç´Â ¿ÃÇØ »ç¾÷º¸°í¼¿¡¼ NF3¿Í ÇÔ²² SiH4 Á¦Á¶°øÀå °Ç¼³µµ ÃßÁøÇÑ´Ù°í ¹àÈù¹Ù ÀÖÁö¸¸ ÃÖ±Ù µÎ ´Þ»çÀÌ¿¡ ´ëÇü NF3 °è¾àÀÌ ÀÕµû¸£¸é¼ ÀÏ´Ü NF3¿¡ ÁÖ·ÂÇϰí SiH4 ÁøÃâÀº À¯º¸ÀûÀÎ ÀÔÀåÀ» Ç¥¸íÇϰí ÀÖ´Ù. |
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ¾ÆÀ̰¡½ºÀú³Î ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷±ÝÁö> |
|
|
|
|
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0) |
|
|
|
|
 |
ȸ»ç : i°¡½ºÀú³Î | Á¦È£ : ¿Â¶óÀΰ¡½ºÀú³Î | µî·Ï¹øÈ£ : ¼¿ï, ¾Æ53038 | µî·ÏÀÏÀÚ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | ¹ßÇàÀÎ : À̶ô¼ø | ÆíÁýÀÎ : ±èÈ£ÁØ
ÁÖ¼Ò : ¼¿ï½Ã °¼±¸ ¸¶°îÁß¾Ó4·Î 18 ¸¶°î±×¶ûÆ®À©Å¸¿ö Bµ¿ 702È£| ÀüȹøÈ£ : 02-2645-9701 | ¹ßÇàÀÏ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : À̶ô¼ø
Copyright © 2004 ¾ÆÀ̰¡½ºÀú³Î. All rights reserved.
|
 |
|
|