반도체 장비제조업체인 아토(대표 문상영)가 충북 청원에 반도체용 고순도 특수가스 공장을 신규 건설한다.
아토는 최근 충북 청원소재 오창과학산업단지에 총 59억5백만원을 투자해 산업용 고순도가스 생산설비를 건설키로 결정했다고 공식 발표했다.
이번 고순도 특수가스 공장 신설은 반도체 산업에서 고순도 가스의 필요성이 증가함에 따른 사업 다각화의 일환으로 추진됐으며 현재 6천3백여평의 부지를 확보하고 4천4백여평 규모의 공장건물을 짓고 있다.
이와 관련 아토는 이미 지난해 저순도 원료를 흡착 및 증류방식을 통해 가공, 99.9999%이상의 초고순도 N2O(아산화질소)를 생산하는 정제기술을 확보(관련기사 제22호 14면)하고 시제품을 출시한바 있으며 오는 8월말 공장이 완공되면 아산화질소(N2O)를 비롯 정제원리가 유사한 탄산, 암모니아(NH3) 등도 자체적으로 양산할 계획이다.
특히 아토는 반도체장비시장에서 확보한 자사의 영향력이 특수가스의 영업에도 상당한 시너지효과를 가져다 줄 것으로 판단, 반도체 및 LCD업계를 대상으로 본격적인 마케팅을 펼쳐나간다는 복안이다.
아토측은 “반도체 제조공정에 투입되는 필수원료인 특수가스의 시장수요가 지속 증대될 것으로 예상되고 있지만 그동안 많은 부분이 수입 외산제품에 의존해왔다”고 지적하고 “아토의 국산 특수가스가 양산되면 상당한 수입대체효과가 기대된다”고 강조했다.
그러나 특수가스 및 혼합가스 등을 제조하기 위한 원료가스 수급부분에 대해서는 아직까지 알려진 바가 없어 일반가스의 고순도 정제를 통한 순수가스나 단순 혼합가스 제조에만 한정될 수도 있다는 게 주변 업계의 설명이다.
한편 반도체장비업체인 아토의 특수가스 생산계획은 연마제 제조업체인 대백신소재의 NF3 제조에 이어 순수 국내업체로는 2번째의 특수가스 시장 진출이며 한국메티슨특수가스도 최근 저순도 원료를 정제하는 방식으로 특수가스 국산화를 추진하는 등 국내 특수가스 시장이 어느때보다 활발한 움직임을 보이고 있어 관심이 집중되고 있다.
