Ȩ > i°¡½º¿Í¿¡³ÊÁö
´ë¹é½Å¼ÒÀç, ¿¬°£ 9¹é¸¸´Þ·¯ NF3 ¼öÃâ°è¾à ü°áÇØ¿Ü¾÷ü¿Í 2004³â±îÁö ´Ù³â°è¾à¡¦¿ÃÇØ SiH4 Á¦Á¶¾÷µµ ÁøÃâ
i°¡½ºÀú³Î  |  webmaster@igasnet.com
ÆùƮŰ¿ì±â ÆùÆ®ÁÙÀ̱â ÇÁ¸°Æ®Çϱ⠸ÞÀϺ¸³»±â ½Å°íÇϱâ
½ÂÀÎ 2002.05.15  
Æ®À§ÅÍ ÆäÀ̽ººÏ ¹ÌÅõµ¥ÀÌ ³×À̹ö ±¸±Û msn
Áö³­ÇØ Àü°ÝÀûÀ¸·Î NF3 Á¦Á¶¾÷ ÁøÃâÀ» ¼±¾ðÇß´ø ´ë¹é½Å¼ÒÀç(´ëÇ¥ ÀÌ¿µ±Õ)°¡ ÃÖ±Ù À¯·´ÀÇ ¸ð±â¾÷°ú 9¹é¸¸´Þ·¯¿¡ ´ÞÇÏ´Â NF3¼öÃâ°è¾àÀ» ü°áÇÑ »ç½ÇÀÌ µÚ´Ê°Ô ¹àÇôÁ³´Ù.

´ë¹é½Å¼ÒÀçÀÇ ÇÑ °ü°èÀڴ¡°Áö³­ 3ÀÏ À¯·´¼ÒÀç ¸ð ¾÷ü¿Í ¿ÃÇØºÎÅÍ 2004³â±îÁö ÃÑ 3³â°£ ¼øµµ 99.999%ÀÇ ºÒ¼Ò°èƯ¼ö°¡½º(NF3)°ø±Þ°è¾àÀ» ü°áÇß´Ù¡±°í ¸»ÇÏ°í ¡°°è¾àÀÏÀº Áö³­´Þ 3ÀÏÀÌÁö¸¸ °è¾à¹ßÈ¿ÀÏÀº Áö³­ 1¿ù1ÀÏÀÌ¸ç ¿ÃÇØ °ø±Þ¹°·®¸¸ 9¹é¸¸´Þ·¯(¾à 1¹é19¾ï6õ¸¸¿ø)¿¡ ´ÞÇÑ´Ù¡±°í ¹àÇû´Ù.

À̰°Àº ¿ÃÇØ ¼öÃâ·®Àº Áö³­ÇØ ´ë¹é½Å¼ÒÀç Àüü ¸ÅÃâ¾×(1¹é72¾ï¿ø)ÀÇ 69.3% ±Ô¸ðÀ̸ç ÇöÀç ¿µÁÖ°øÀå¿¡¼­ »ý»ê°¡´ÉÇÑ ¹°·®ÀÇ 90%¿¡ À̸£´Â °ÍÀ¸·Î ÀÌ À¯·´¾÷ü´Â NF3¸¦ ÀÚü ¼ö¿ä¿Í ÇÔ²² ÀÚ»ç °è¿­»ç¸¦ ÅëÇØ Àü¼¼°è¿¡ À¯Åë½Ãų ¸ñÀûÀÎ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.

2003³â°ú 2004³âÀÇ °è¾à¹°·® ¹× °ø±Þ±Ý¾×Àº ¸Å³â¸» ¾ç»ç°£ ÇùÀÇÈÄ Àç°áÁ¤ÇÒ ¿¹Á¤ÀÌÁö¸¸ ÃÖ¼ÒÇÑ ¿ÃÇØÀÇ ¹°·®¸¸ È®º¸ÇÑ´ÙÇØµµ ´ë¹éÀº NF3·Î¸¸ 3³â°£ ÃÑ 2õ7¹é¸¸´Þ·¯(¾à 3¹é58¾ï8õ¸¸¿ø)ÀÇ ¸ÅÃâÀ» ¿Ã¸± ¼ö ÀÖÀ» ¿¹»óµÈ´Ù.

±×·¯³ª ´ë¹éÀº °í°´»çÀÇ ¿ä±¸¿¡ µû¶ó À̹ø °è¾à°ú °ü·ÃÇØ ¾÷ü¸í.°Å·¡±Ô¸ð µîÀº ¹°·Ð °Å·¡»ç½Ç ÀÚü¸¦ ¹àÈ÷Áö ¾Ê´Â´Ù´Â Á¶°ÇÀ¸·Î °è¾àÀ» ü°á, ÄÚ½º´Úµî·Ï¾÷ü·Î¼­ ±¹³»¹ý»ó ÁÖ¿ä°Å·¡³»¿ªÀ» °ø°³ÇؾßÇÒ Àǹ«¿¡ µû¸¥ ÃÖ¼ÒÇÑÀÇ Á¤º¸¸¸À» °ø°³ÇßÀ» »Ó Ãß°¡Á¤º¸¿¡ ´ëÇØ¼­´Â ÇÔ±¸·Î ÀϰüÇϰí ÀÖ´Ù.
ÀÌ È¸»çÀÇ È²±âÇö Àü¹«´Â ¡°°è¾à»ó´ë¿¡ ´ëÇÑ ¸¹Àº ÃßÃøÀÌ Á¦±âµÇ°í ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ¾È´Ù¡±¸ç ¡°±×·¯³ª °è¾àÁ¶°Ç»ó ÀÌ¹Ì ¹ßÇ¥µÈ ³»¿ëÀ» Á¦¿ÜÇÑ ±× ¾î¶°ÇÑ Á¤º¸¿¡ ´ëÇØ¼­µµ È®Àεµ ºÎÁ¤µµ ÇÏÁö ¾Ê´Â´Ù´Â ¹æÄ§¡±À̶ó°í ¹àÇû´Ù.

ÇÏÁö¸¸ °ü·Ã¾÷°è´Â °è¾à»ó´ë°¡ ¿¡¾î¸®ÄûµåÞä¶ó´Â ÀǰßÀÌ Áö¹èÀûÀÌ´Ù. ÀÌ Á¤µµ ¹°·®À» ¼öÀÔ.À¯Åë½Ãų ¼ö ÀÖ´Â ´É·ÂÀ» °®Ãá À¯·´Áö¿ªÀÇ »ê¾÷¿ë°¡½º ¾÷ü´Â ¿¡¾î¸®Äûµå¿Í BOC, ¸°µ¥ µîÀ¸·Î ¾ÐÃàµÇ´Â »óȲ¿¡¼­ BOCÀÇ °æ¿ì NF3 Á¦Á¶Ç÷£Æ®¸¦ °®Ãß°í ÀÖ°í NF3»ç¾÷ÀÌ °¡´ÉÇÑ ´Ù±¹Àû ±â¾÷À¸·Î´Â ¿¡¾î¸®Äûµå°¡ À¯·Â½ÃµÉ ¼ö¹Û¿¡ ¾ø´Â »óȲÀ̱⠶§¹®ÀÌ´Ù.

ÀÌ¿¡ µû¶ó ¾÷°èÀü¹®°¡µéÀº ÇâÈÄ ¿¡¾î¸®Äûµå°¡ ´ë¹é½Å¼ÒÀ縦 °ø±Þó·Î È®º¸, NF3½ÃÀå¿¡ º»°ÝÀûÀÎ Ãâ»çÇ¥¸¦ ´øÁú °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇϰí ÀÖ´Ù.

´ë¹éÀÇ ÀÔÀå¿¡¼­µµ ±×µ¿¾È Á¦Ç°»ý»ê Â÷Áú, ¼øµµºÒ·® µîÀÇ ¿ì·Á¸¦ ºÒ½Ä½Ã۰í À̹ø °è¾àü°á¿¡ ¼º°øÇϸ鼭 ÇâÈÄ Áַ»ç¾÷ÀÌ ±âÁ¸ ¿¬¸¶Á¦ µî ¼ÒÀç¿¡¼­ Ư¼ö°¡½º ºÐ¾ß·Î ¼±È¸ÇÒ °ÍÀ̶ó´Â Àü¸Áµµ Á¦±âµÇ°íÀÖ´Ù. ÀÌ´Â ¿¬¸¶Á¦ÀÇ °æ¿ì Åæ´ç 4õ´Þ·¯ ¼öÁØÀÌÁö¸¸ Ư¼ö°¡½º´Â ¼ö½Ê¸¸ºÒÀ» È£°¡ÇÏ´Â °íºÎ°¡°¡Ä¡ »ç¾÷À̱⠶§¹®À¸·Î ½ÇÁ¦·Î ´ë¹éÀº ÃÖ±Ù ¹ßÇ¥ÇÑ »ç¾÷º¸°í¼­¸¦ ÅëÇØ NF3¿Í °ü·Ã ±âÁ¸ ÅõÀÚºñ 2¹é¾ï¿ø°ú´Â º°µµ·Î 1¹é50¾ï¿øÀ» Ãß°¡ ÅõÀÚÇÒ °èȹÀÓÀ» ¹àÈù¹Ù ÀÖ´Ù.

ƯÈ÷ ´ë¹éÀº NF3 À̿ܿ¡µµ ¿ÃÇØ ÃÑ 1¹é50¾ï¿øÀ» ½Å±ÔÅõÀÚÇØ SiH4ÀÇ Á¦Á¶´É·Âµµ °®Ãá´Ù´Â ¹æÄ§À¸·Î À̸¦ ÅëÇØ NF3¿Í SiH4¿¡¼­ °¢°¢ ¿¬°£ 6¹é¾ï¿øÀÇ ¸ÅÃâÁõ´ë È¿°ú¸¦ ±â´ëÇϰí ÀÖ´Ù.
i°¡½ºÀú³ÎÀÇ ´Ù¸¥±â»ç º¸±â  
ÆùƮŰ¿ì±â ÆùÆ®ÁÙÀ̱â ÇÁ¸°Æ®Çϱ⠸ÞÀϺ¸³»±â ½Å°íÇϱâ
Æ®À§ÅÍ ÆäÀ̽ººÏ ¹ÌÅõµ¥ÀÌ ³×À̹ö ±¸±Û msn µÚ·Î°¡±â À§·Î°¡±â
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0)
ÀÚµ¿µî·Ï¹æÁö¿ë Äڵ带 ÀÔ·ÂÇϼ¼¿ä!   
È®ÀÎ
- 200ÀÚ±îÁö ¾²½Ç ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. (ÇöÀç 0 byte / ÃÖ´ë 400byte)
- ¿å¼³µî ÀνŰø°Ý¼º ±ÛÀº »èÁ¦ ÇÕ´Ï´Ù. [¿î¿µ¿øÄ¢]
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0)
°¡Àå ¸¹ÀÌ º» ´º½º
1
[Click]¼ö¼Ò¿¡³ÊÁö ºÐ¾ß ±ÔÁ¦»÷µå¹Ú½º ¡®º¿¹°¡¯
2
µ¿¼ºÈ­ÀÎÅØ, Æó³Ã¸Å ÀçȰ¿ë ¼³ºñ È®Ãæ
3
[COMPANY NEWS](ÁÖ)¿¡¾îÆÛ½ºÆ®, ¡®µµ¾àÀÇ 50³â, ºñ»óÇÏ´Â 100³â¡¯ ¼±Æ÷
4
°¡½º¾ÈÀüÍë, 2025³â »ó¹Ý±â »ç°íÁ¶»ç Àü¹®À§¿øÈ¸ °³ÃÖ
5
PKC, ¿ÃÇØ 1ºÐ±â Àü³âµ¿±â´ëºñ ¸ÅÃâ 8%¡¤¿µ¾÷ÀÍ 9% Áõ°¡
6
°¡½º±â¼úÍë, ´ëÇлý ¡®¼ö¼ÒÀüÁֱ⼾ÅÍ ÇöÀ厹桯 ¿î¿µ
7
Á¦49ȸ ¼®À¯È­ÇÐ Ç÷£Æ® ¾ÈÀü±â¼úÇâ»ó¿¬±¸È¸ °³ÃÖ
8
°¡½ºÍë, ¹Ì·¡¼¼´ë ´«³ôÀÌ·Î ¿¡³ÊÁö º¹Áö ½Çõ
9
(ÁÖ)±×¸°°¡½º¼Ö·ç¼ÇÀ̾ؾ¾, ISO 45001 ¾ÈÀüº¸°Ç°æ¿µ½Ã½ºÅÛ ÀÎÁõ ȹµæ
10
[¸ÅÃâºÐ¼®] Á¶¼±±â±â(ÁÖ)
ȸ»ç¼Ò°³¤ý±â»çÁ¦º¸¤ý±¤°í¹®ÀǤýºÒÆí½Å°í¤ý°³ÀÎÁ¤º¸Ãë±Þ¹æÄ§¤ýÀ̸ÞÀϹ«´Ü¼öÁý°ÅºÎ¤ýû¼Ò³âº¸È£Á¤Ã¥
ȸ»ç : i°¡½ºÀú³Î | Á¦È£ : ¿Â¶óÀΰ¡½ºÀú³Î | µî·Ï¹øÈ£ : ¼­¿ï, ¾Æ53038 | µî·ÏÀÏÀÚ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | ¹ßÇàÀÎ : À̶ô¼ø | ÆíÁýÀÎ : ±èÈ£ÁØ
ÁÖ¼Ò : ¼­¿ï½Ã °­¼­±¸ ¸¶°îÁß¾Ó4·Î 18 ¸¶°î±×¶ûÆ®À©Å¸¿ö Bµ¿ 702È£| ÀüÈ­¹øÈ£ : 02-2645-9701 | ¹ßÇàÀÏ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : À̶ô¼ø
Copyright © 2004 ¾ÆÀ̰¡½ºÀú³Î. All rights reserved.