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Praxair, 벨기에에 초고순도가스 충전설비 건설유럽지역 반도체 공정가스 공급 위해 |
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프렉스에어는 최근 자회사인 프렉스에어 N.V社가 벨기에 Oevel지역에 반도체용 초고순도 가스 충전설비를 건설할 예정이라고 발표했다.
프렉스에어는 이번에 착공된 Oevel 충전센터에 자사가 보유한 최신 기술과 장비들을 총망라, 완전 자동화함으로서 배송.저장.충전 등은 물론 ISO규격을 준용한 실린더.드럼(drum).트레일러 등의 테스트도 가능하다.
또한 자동화충전 모듈을 통해 벌크 패키지의 취급이 가능하며 안전성 및 품질향상을 이룩함으로서 고객과 지역사회에 많은 이익을 가져다 줄것으로 기대된다.
이에따라 이 회사는 Oevel 충전설비를 유럽지역에 초고순도 반도체 공정용가스를 공급하는 메카로 육성한다는 계획이다.
프렉스에어의 반도체물질 부문 Frank Crespo 부사장은 “자사는 실린더와 벌크컨테이너에 관계없이 동등한 고품질 공정용가스를 공급할 수 있는 능력을 보유하고 있다”며 “Oevel설비의 능력은 최고수준의 반도체용 고순도 제품공급을 가능케 한다”고 강조했다.
특히 Oevel설비에 대한 투자는 프렉스에어가 유럽지역 전자공학 산업에 장기적 안목의 노력을 기울이고 있음을 반증하고 있기도 하다.
한편 프렉스에어의 반도체물질사업부는 6.5등급의 암모니아 생산을 포함, 고용량 벌크암모니아 시스템 개발 등 생산물질과 서비스의 포트폴리오 확장에 지속적인 노력을 가하고 있다. |
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