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Air Products-Kinetics, ASML社 벌크개발시스템 가동화학배송시스템, 계면활성제 등 공급
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승인 2002.04.15  
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에어프로덕트와 Kinetics社는 최근 세계적인 반도체관련 시스템 공급업체인 ASML社의 애리조나州 Tempe R&D설비에 설치한 턴키(turnkey)방식의 벌크개발시스템이 본격 가동에 돌입했다고 밝혔다.

현재 에어프로덕트와 Kinetics社는 반도체 업체들을 대상으로 각종 제품 및 서비스를 제공하기 위해 TRiMEGA Electronics, L.L.C.라는 조인트벤처를 설립했으며 이번 ASML社와의 계약 또한 이러한 전략적 제휴의 일환으로 진행됐다.

이에따라 Kinetics社는 먼저 지난달경 ASML담당자들의 교육과 훈련을 포함한 MegaPure 화학배송시스템의 공급을 완료했다. 이어 에어프로덕트도 최근 계면활성제의 일종인 일명 ‘OptiYield’ 불리는 TMAH(Tetramethyl Ammonium Hydroxide) 포토레지스트 현상액의 공급을 마쳤다.

에어프로덕트의 포토레지스트부문 Leslie Barber 매니저는 “ASML社에 계면활성제를 비롯 자사가 특허권을 보유한 제품들을 공급하게 된데 대해 영광으로 생각한다”며 “이번에 제공된 신종 포토레지스트 현상액은 기존 제품에 비해 비용절감효과가 탁월하다”고 설명했다.

Kinetics社의 Mike Gonzalez부사장도 “에어프로덕트 및 ASML社 등과 함께 이룬 결실에 매우 만족하고 있다”며 “자사의 디자인 및 운용능력을 채용한 Mega시스템 제품라인은 ASML社만을 위한 가장 적합한 솔루션을 창출해냈다”고 밝혔다.
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