<반도체동향>주성ENG, 美 소자업체에 ALD장비 수출

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<반도체동향>주성ENG, 美 소자업체에 ALD장비 수출매출 7백92억원, 수출비중 75% 목표

i가스저널 | webmaster@igasnet.com

승인 2002.04.15

주성엔지니어링은 최근 미국의 주력 소자업체에 총액 2백만달러 상당의 알루미늄 산화막 원자층증착(ALD) 장비를 수출키로 계약했다고 밝혔다.

ALD는 경박단소화 추세에 있는 반도체 소자를 제조하기 위해 균일하고 순수한 박막을 저온에서 형성하도록 해주는 신공법으로 향후 반도체 공정이 0.10미크론 이하로 미세화될 경우 기존 화학기상증착(CVD) 방식을 대체할 수 있는 공법으로 평가받고 있다.

주성측은 이번에 수출하는 장비가 CVD가 아닌 ALD장비인데다 반도체 선진국인 미국에서 먼저 판매된다는 점에 큰 의미를 두고 있다.

이 회사의 한관계자는 “주성이 전공정장비시장에서 기술력을 인정받아온 CVD장비 외에도 최근 건식식각장비와 ALD장비 등을 추가로 상용화하면서 종합 장비 제조업체로 발돋움할 수 있는 기반이 마련됐다”고 평가했다.

한편 주성은 올해 수출비중을 75%이상으로 확대하는 한편 전년대비 59% 늘어난 총 4백99억원의 매출을 달성할 계획이다.

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