한국전기연구원(KERI) 구대현 박사 연구팀은 최근 반도체 공장의 중간 생산물 이송장치(stocker)에 쓰이는 5㎾급 비접촉식 전원공급장치를 개발했다고 밝혔다.
이번에 구 박사팀이 지금까지 전량 수입에만 의존해왔던 비접촉 전원장치의 국산화에 성공함에따라 매년 2백억～3백억원에 달하는 외화를 절감할수 있을 것으로 기대된다.
이송장치는 반도체 제조 과정에서 웨이퍼나 LCD용 유리 등을 잠시 보관했다가 다음 공정으로 옮기는 역할을 하는 장비로 전력공급을 위한 전선이 움직이는 과정에서 발생하는 미세먼지가 문제점으로 지적되고 있다. 그러나 구 박사팀이 개발한 장치는 220V 전기를 20～50㎑의 고주파로 전환해 변압기에서 쓰이는 전자기유도 방식을 이용해 구동 부위에 전기를 공급하는 방식으로 전력변환효율이 95% 이상이며 3% 이내의 전압오차를 지녀 정밀제어에 적합하다. 특히 이 장비는 반도체 제조설비는 물론 산업, 교통, 의료분야 등 불필요한 마찰과 이에따른 불순물발생을 방지해야하는 분야에 다양하게 적용될수 있을 전망이다.
한편 이번 연구에 공동참여한 반도체 설비 제조업체 신성이엔지는 상용화를 통해 오는 2003년에 내수 3백억원, 수출 1백50억원 정도의 매출을 예상하고 있다.
