|
|
- UPDATE : 2024.9.13 ±Ý 14:56
|
Ȩ
> Çؿܵ¿Çâ |
BOC, ¼¼ÀÌÄÚÞäÀÇ Åͺ¸ºÐÀÚÆßÇÁ »ç¾÷ ÀμöÀμö±Ý¾× ¾à 7õ¸¸À¯·Î¡¦BOC¿¡µå¿öµå¼ Àü´ã |
|
BOC´Â Áö³5ÀÏ ÀϺ»ÀÇ ¼¼ÀÌÄÚÀüÀÚÞä·ÎºÎÅÍ Åͺ¸ºÐÀÚÆßÇÁ(turbomolecular pump)»ç¾÷À» ÀμöÅ°·Î Çß´Ù°í ¹àÇû´Ù.
¾ç»ç´Â À̳¯ ÀÌ°°Àº ³»¿ëÀÇ ÀμöÀÇÇ⼿¡ ¼¸íÇßÀ¸¸ç ½ÃÀ嵶Á¡À» °¨½ÃÇÏ´Â °øÁ¤°Å·¡À§¿øȸÀÇ Á¤½Ä ½ÂÀÎÀ» ºñ·ÔÇÑ ÀϺΠÀýÂ÷´Â ¾ÆÁ÷ ³²¾ÆÀÖ´Â »óÅÂÀÌ´Ù. ÀμöÀÌÈÄ¿¡µµ »ý»ê¼³ºñµéÀº ÇöÀçÀÇ ÀϺ» Ä¡¹Ù Áö¹æ¿¡¼ ¿î¿µµÉ ¿¹Á¤À̸ç Á¤È®ÇÑ Àμö±Ý¾×Àº µå·¯³ªÁö ¾Ê¾ÒÁö¸¸ Àü¹®°¡µéÀº ÃѾױâÁØÀ¸·Î ¾à 7õ¸¸À¯·Î ¼öÁØ¿¡¼ °áÁ¤µÉ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁÇÏ°í ÀÖ´Ù.
BOC´Â ÀμöÀýÂ÷°¡ ¸¶¹«¸®µÇ´Â µ¥·Î ÀÚȸ»çÀÎ BOC¿¡µå¿öµå¿¡ °ü·Ã»ç¾÷À» Àü´ã½ÃÄÑ ¹ÝµµÃ¼Á¦Á¶¾÷ü¸¦ ´ë»óÀ¸·Î ÇÑ ¼¼°èÀûÀÎ Áø°øÆßÇÁ¸ÞÀÌÄ¿·Î À°¼ºÇÑ´Ù´Â °èȹÀÌ´Ù. BOC¿¡µå¿öµå´Â Áö³ 18³âµ¿¾È ¼¼ÀÌÄÚÀüÀÚ¿Í Çù·Â°ü°è¸¦ ±¸Ãà, Çѱ¹.¹Ì±¹.À¯·´Áö¿ª¿¡ µ¶Á¡ÀûÀ¸·Î Á¦Ç°À» °ø±ÞÇØ¿Ô´Ù.
ÀÌ¿¡ ´ëÇØ BOC¿¡µå¿öµåÀÇ ¹ÝµµÃ¼»ç¾÷°³¹ßºÎ Brian EmslieÀÌ»ç´Â ¡°ÀÚ»ç´Â ÀÌ¹Ì ¼¼ÀÌÄÚÞäÀÇ Á¦Ç°¿¡ Á¤ÅëÇØ ÀÖ´Ù¡±¸ç ¡°¿ì¸®ÀÇ Áø°ø±â¼ú°ú ¿¬°èÇÔÀº ¹°·Ð °ø±Þ³×Æ®¿öÅ© ÃÖÀûÈ¿Í °í°´¼ºñ½º °³¼± µîÀ» ÅëÇØ ½ÃÀåÁ¡À¯À²À» È®´ëÇØ ³ª°¥ °Í¡±À̶ó°í °Á¶Çß´Ù.
¹ÝµµÃ¼Á¦Á¶½Ã ¿¡Äª, CVD µîÀÇ °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ¼¼ÀÌÄÚÀÇ Áø°øÆßÇÁ´Â 4¸¸8õrpmÀÇ È¸Àü¼Óµµ·Î ÃÊ´ç 3õ¸®ÅÍ¿¡ À̸£´Â ³ôÀº Áø°ø·Â°ú Àç·á󸮷®À» Á¦°øÇÑ´Ù.
ÇÑÆí BOC¿¡µå¿öµå´Â ¼¼°èÀûÀÎ ¹ÝµµÃ¼ ¼Ö·ç¼Ç °ø±Þ¾÷ü·Î Áö³ 2001ȸ°è³âµµ¿¡ ÃÑ 8¾ï7õ3¹é¸¸À¯·ÎÀÇ ¸ÅÃâÀ» ±â·ÏÇѹ٠ÀÖ´Ù. |
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ¾ÆÀÌ°¡½ºÀú³Î ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷±ÝÁö> |
|
|
|
|
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0) |
|
|
|
|
|
ȸ»ç : i°¡½ºÀú³Î | Á¦È£ : ¿Â¶óÀΰ¡½ºÀú³Î | µî·Ï¹øÈ£ : ¼¿ï, ¾Æ53038 | µî·ÏÀÏÀÚ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | ¹ßÇàÀÎ : À̶ô¼ø | ÆíÁýÀÎ : ±èÈ£ÁØ
ÁÖ¼Ò : ¼¿ï½Ã °¼±¸ ¸¶°îÁß¾Ó4·Î 18 ¸¶°î±×¶ûÆ®À©Å¸¿ö Bµ¿ 702È£| ÀüȹøÈ£ : 02-2645-9701 | ¹ßÇàÀÏ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : À̶ô¼ø
Copyright © 2004 ¾ÆÀÌ°¡½ºÀú³Î. All rights reserved.
|
|
|
|