일본 에어리퀴드는 최근 일본최초로 온사이트 방식의 불소 공급시스템을 개발했다고 밝혔다. 이번에 개발된 불소 공급시스템은 자국내 전자산업체들에게 보다 안정적으로 관련 가스를 공급하기 위해 추진됐으며 세계적 탄산메이커인 Toyo Tanso社와 공동으로 개발을 완료했다.
이 불소 발생시스템은 경제성과 기능성을 갖춘 소형 발생기로 고객의 필요에 따라 불소 생산량 및 소비패턴을 융통성있게 조절할 수 있다는 점이 특징이다. 또한 반도체나 LCD생산시설에서도 별도의 조치없이 손쉽게 가동되도록 디자인됐다.
이로써 일본 에어리퀴드는 반도체 등 전자업체들을 중심으로한 불소시장에서 향후 상당한 입지를 다질 수 있게될 전망이다.
불소는 잠재적 지구온난화 지수(GWP)가 제로(zero)인 인체에 무해한 물질로 반도체 및 액정디스플레이(LCD)제조시 클리닝공정에 주로 사용되며 실린더로 공급하는 저농도의 불소는 엑시머레이저의 발진에 쓰여진다. 반면 불소는 화학반응성이 높아 취급과 수송에 현실적으로 상당한 어려움이 있기 때문에 지금까지 벌크방식의 불소공급은 금기시되어 왔다.
이같은 제약에도 불구하고 양사는 Toyo Tanso社가 보유한 ‘고효율 탄소 전극(電極)기술’을 바탕으로 신뢰성 높은 전기분해 온사이트 불소 장비를 개발한다면 온사이트 불소공급도 가능할 것으로 판단했고 최근 고품질의 불소를 연속적으로 공급할 수 있는 시스템의 개발에 성공한 것이다. 여기에는 에어리퀴드 본사는 물론 일본 에어리퀴드의 츠쿠바 하이테크 연구센터가 기술적으로 많은 도움을 제공한 것으로 알려졌다.
한편 Toyo Tanso社는 지난 1941년 설립된 탄산메이커로 연간 약 1백80억엔대의 매출을 올리고 있다.
