화학연은 지난 4일 화학공정연구센터 김광주 박사팀이 과학기술부 국가지정연구실 사업의 일환으로 불순물(Fe, Pb, Mg, Mn, Na, Ni, K 등)을 ppb(10억분의 1) 단위까지 정제하는 반도체 공정용 초고순도 인산정제기술을 국산화했다고 밝혔다.
이번에 개발된 공정기술은 저에너지 소모형 청정생산공정인 ‘용융 결정화 기술’을 이용한 것으로 그동안 분리기술상의 단점으로 지적됐던 전처리 공정, 부가적 추출용매사용 및 회수문제, 폐수, 과다 에너지 소모 등을 비롯 다양한 화학물질의 사용에 따른 위험성과 복잡한 조작을 획기적으로 개선했다.
인산은 화학비료, 식료품, 공업용 인산염제조, 반도체 에칭용액 등 광범위한 응용분야를 지니고 있는 무기산이지만 지금까지 대부분 식품용이나 공업용으로 사용하기 위한 단순정제를 거친 제품이 주류를 이루었고 반도체용 고순도 정제인산은 전량 일본으로부터 수입에 의존하는 실정이었다.
이에따라 이 기술이 본격 상업화되면 연간 3백만톤, 약 1백억원의 규모의 수입대체효과가 나타나는 것은 물론 역수출도 가능할 것으로 기대된다. 특히 화학연은 향후 점진적으로 수출시장을 미국, 유럽, 대만, 중국 등지로 확대할 경우 수년이내 약 3백억원의 수출도 가능하다고 설명했다.
한편 화학연은 이번 인산 정제기술을 국내외에 특허출원하는 한편 상업공장 건설을 위한 설계를 진행중에 있으며 반도체 제조업체인 선우ENG와 기술이전 및 기술실시계약 체결했다.
