에어리퀴드는 최근 세계적인 반도체업체인 텍사스 인스트루먼트(TI)社에 DMOS6 300mm 웨이퍼 공정용 벌크 공급시스템을 제공키로 했다고 밝혔다.
에어리퀴드는 이를통해 산소, 질소, 아르곤, 헬륨, 수소, 압축공기(CDA)는 물론 CDA 및 헬륨 공급시스템도 제공하게 된다.
TI社에 제공되는 모든 산업용가스는 댈러스에 위치한 에어리퀴드 일렉트로닉스의 초고순도 산업용가스 플랜트로부터 파이프라인을 통해 공급될 예정이며 ‘Fabview SCADA시스템’을 통한 모니터링 서비스도 함께 이루어진다.
이와관련 에어리퀴드 일렉트로닉스의 Rich Jahr 부사장은 “이번에 제공되는 에어프로덕트의 기술과 서비스는 반도체업체들의 공정개선을 위해 개발된 근본적인 시스템”이라고 설명하고 “TI社가 이를 활용해 한차원 상승된 기술력을 확보하는데 기여할 수 있을 것으로 판단한다”고 밝혔다.
한편 댈러스에 본사를 둔 에어리퀴드 일렉트로닉스는 그동안 산업용가스 및 관련 화학제품, 서비스, 장비 등을 제공하면서 세계적인 반도체제조업체들과 협력관계를 맺어왔으며 지난해 에어리퀴드 그룹의 가스.서비스 분야 매출중 12%의 비중을 점유한바 있다.
