|
|
- UPDATE : 2024.4.26 ±Ý 11:27
|
Ȩ
> ÀÎÅͺä/Ž¹æ |
[ÀÎÅͺä] ¢ß¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç Ȳ±âÇö Àü¹«ÀÌ»ç100%ÀÇ ¿Ïº®À» Ãß±¸ÇÏ´Â ¿µ¾÷öÇÐÀ¸·Î °í°´°úÀÇ ½Å·Ú ±¸Çö |
|
ÈĹßÁÖÀÚ·Î º¸±âµå¹® ¼º°øºñ°áÀº °æ¿µÀÚÀÇ °ú°¨ÇÑ °áÁ¤ÀÌ ÇÑ ¸ò
ÃÖ±Ù ¸î ³â°£ ±¹³» »ê¾÷¿ë°¡½º ¾÷°è¿¡ °¡Àå Ä¿´Ù¶õ º¯ÈÀÇ ¹°°áÀ» À̲ö ±â¾÷À» ²ÅÀ¸¶ó¸é ù ¹ø° ÀÚ¸®ÀÇ ÁÖÀÎÀº ´Ü¿¬ ¢ß¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç(´ëÇ¥ ÀÌ¿µ±Õ)ÀÇ Â÷ÁöÀÏ °ÍÀÌ´Ù.
Áö³ 2002³âÃÊ Æ¯¼ö°¡½º(NF3) Á¦Á¶¾÷ ÁøÃâÀ» ¼±¾ðÇÑÁö 2³â¸¸¿¡ ±¹³»¿Ü ÀüÀÚ.¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º ¾÷°èÀÇ Çٽɾ÷ü·Î ºÎ»óÇÏ°í ÀÖÀ½Àº ¹°·Ð ±×µ¿¾È ¼öÀÔ¿¡ ÀüÀûÀ¸·Î ÀÇÁ¸ÇØ¾ß Çß´ø ±¹³» Ư¼ö°¡½º ¾÷°è¿¡ ±¹»êÈ ¹Ù¶÷À» ÀÏÀ¸Å² ÁÖ¿ªÀ̱⠶§¹®ÀÌ´Ù.
ÀÌ·¯ÇÑ ¼ÒµðÇÁÀÇ µ¹Ç³ÀÇ Á߽ɿ¡´Â ¿Ïº®ÇÑ º¯È¸¦ Ãß±¸Çϸç NF3 »ç¾÷°³½Ã ÃʱâºÎÅÍ Æ¯¼ö°¡½º ¿µ¾÷.¸¶ÄÉÆÃÀ» ÃÑ°ýÃ¥ÀÓÁö°í Àִ Ȳ±âÇö Àü¹«°¡ ÀÖ´Ù.
ÇÏ·ç 24½Ã°£ÀÌ ¸ðÀÚ¶ö Á¤µµ·Î ¹Ù»Û ½Ã°£À» º¸³»°í Àִ Ȳ Àü¹«ÀÇ ÀÏ°ú´Â ÇÏ·ç°¡ ¸Ö´ÙÇÏ°í ÃßÁøµÇ´Â ÀæÀº ±¹³»¿Ü ÃâÀå°ú ȸÀÇ ±×¸®°í ¾ÆÀ̵ð¾î âÃâÀ» À§ÇÑ Àá½ÃÀÇ Â«ÀÌ ÀüºÎ´Ù.
ÀÌÁ¦´Â ÀÚ½ÅÀ» À§ÇÑ ¿©À¯·Î¿î ½Ã°£À¸·Î ÀλýÀ» µÇµ¹¾Æ º¼ ½Ã±âÀÓ¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í ±×ÀÇ ¸ðµç »ý°¢°ú Çൿ ÀÚü°¡ ¾÷¹«¿Í ¿¬°üÀÌ µÇ°í ÀÖ´Ù´Â °ÍÀÌ´Ù.
Áö³ 2³â¿© µ¿¾È »ï¼ºÀüÀÚ¸¦ ºñ·Ô LGÇʸ³½ºLCD, ÇÏÀ̴нº, ÇÏÀ̵𽺠µî ±¹³»ÀÇ ¸ðµç ¾÷üµéÀÌ ¼ÒµðÇÁÀÇ NF3¸¦ »ç¿ëÇÏ°Ô ¸¸µé¾úÀ¸¸ç UMC, AU¿ÉÆ®·Î´Ð½º, ChiMei µî ´ë¸¸ÀÇ À¯¸í LCD ¹× ÆÄ¿îµå¸® ¾÷ü¿ÍÀÇ °è¾àµµ ¸ðµÎ ±×ÀÇ ¼ÕÀ» °ÅÃÄ ÀÌ·ç¾îÁ³´Ù.
ÀÌ¿¡ ´ëÇØ È² Àü¹«´Â ¡°¿ì¼öÇÑ Ç°Áú°ú ±â¼ú·Â, ÃÖ°í°æ¿µÀÚÀÇ ½Å¼Ó °ú°¨ÇÑ ÀÇ»ç°áÁ¤ÀÌ ÇöÀçÀÇ ¼ÒµðÇÁ¸¦ ¸¸µç ¿øµ¿·Â¡±À̶ó¸ç ¡°Áö±Ý±îÁö ÈĹßÁÖÀڷμ ¼º°øÀûÀÎ ½ÃÀåÁøÀÔ¿¡ ¸ñÇ¥¸¦ µ×´Ù¸é ÀÌÁ¦´Â ¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®, ÄÅ䵧ī µî ¼±¹ß¾÷ü¿Í ´ëµîÇÑ À§Ä¡¿¡¼ ¼¼°è¸¦ ¹«´ë·Î Áø°Ë½ÂºÎ¸¦ ÆîÃÄ ³ª°¥ °èȹ¡±À̶ó°í ¹àÇû´Ù.
½ÇÁ¦·Î ¼ÒµðÇÁ´Â ÀÌ¹Ì Áß±¹, ½Ì°¡Æú, ÀϺ» µîÀÇ ¾÷ü¿Í Á¦Ç°°ø±ÞÀ» À§ÇÑ Å×½ºÆ®¸¦ ÁøÇàÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç ÃÖ±Ù Çѱ¹․´ë¸¸․ÀϺ»À» Áß½ÉÀ¸·Î ºÒ°í ÀÖ´Â TFT-LCD ¾÷°èÀÇ ¼³ºñ ½Å․Áõ¼³ ¿±âµµ ÀÌ°°Àº °èȹ¿¡ û½ÅÈ£¸¦ º¸³»ÁÖ°í ÀÖ´Ù.
ÀÌ¿Í °ü·Ã Ȳ Àü¹«´Â ¡°Àü¼¼°è NF3½ÃÀåÀÌ ¿ÃÇØ 2õ5¹éÅæ¿¡¼ ³»³â 3õÅæ ±Ô¸ð·Î ¾à 20%ÀÇ ¼ºÀåÀÌ ¿¹°ßµÈ´Ù¡±¸ç ¡°¿¬»ê 3¹éÅæÀÇ Á¦1°øÀå¿¡ ´õÇØ ¿ÃÇØÁß 6¹éÅæ±Ô¸ðÀÇ Á¦2°øÀåÀÌ ¿Ï°øµÇ¸é °ø±Þ¾ÈÁ¤¼º°ú °¡°Ý°æÀï·Â µî¿¡¼ »ó´çÇÑ °æÀï·Â »ó½ÂÈ¿°ú°¡ ³ªÅ¸³¯ °Í¡±À̶ó°í ¼³¸íÇß´Ù.
ƯÈ÷ ¿À´Â 11¿ù°æ 1´Ü°è ¾ç»êÀ» °³½ÃÇÏ´Â WF6(¿¬»ê 50Åæ)¿Í ¿ÃÇØÁß Âø°øÇÏ¿© 2006³âÃÊ »ý»êµ¹ÀÔ ¿¹Á¤ÀÎ SiH4¿¡ °Å´Â ±â´ë´Â ³²´Ù¸£´Ù. ´Ù¾çÇÑ Æ¯¼ö°¡½º¸¦ ÆÐÅ°Áö ÇüÅ·Π°ø±ÞÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ´É·ÂÀ» °®ÃßÁö ¾Ê°í´Â ¼ºÀå¿¡ ÇÑ°è°¡ ÀÖÀ½À» Á÷½ÃÇÏ°í Àֱ⠶§¹®ÀÌ´Ù.
Ȳ Àü¹«´Â ¡°NF3, WF6, SiH4´Â 3´ë ÇÙ½É ÀüÀÚ․¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º·Î¼ ÇöÁ¸Çϴ Ư¼ö°¡½º ¾÷üÁß 3Á¾ ¸ðµÎ¸¦ Á÷Á¢ »ý»ê․°ø±ÞÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¾÷ü´Â ¾ø´Ù¡±°í ÀüÁ¦ÇÏ°í ¡°2006³â°æ ¼ÒµðÇÁ´Â ¸·°ÇÑ ¸¶ÄÉÆà ÆÄ¿ö¸¦ ÅëÇØ ÇÑ Â÷¿ø ´õ ³ô°Ô µµ¾àÇÏ°Ô µÉ °Í¡±À̶ó°í °Á¶Çß´Ù.
Ȳ Àü¹«´Â ¶Ç ¡°ÇöÀå°ü¸®, °ø±Þ½Ã½ºÅÛ ¼³Ä¡ µî °¡½º°ø±Þ ÀÌ¿ÜÀÇ ¼ºñ½º¿¡¼ ³ªÅ¸³ Ãë¾àÁ¡À» ÇØ°áÇϱâ À§ÇØ ¸ð Àü¹®¾÷ü¿Í ¾÷¹«Çù¾àÀ» ü°á, °¡½º°ø±Þ½Ã½ºÅÛ ¼³Ä¡ ¹× °ü¸®´É·Â È®º¸¿¡ ³ª¼°í ÀÖ´Â µî Ư¼ö°¡½º °ü·Ã ÅäÅ»¼ºñ½º Á¦°ø¿¡µµ ¸¸ÀüÀ» ´ÙÇÏ°í ÀÖ´Ù¡±°í µ¡ºÙ¿´´Ù.
¡®°í°´ÀÇ ½Å·Ú°¡ ¹«³ÊÁö¸é °áÄÚ È¸º¹ÇÒ ¼ö ¾øÀ¸¸ç ¸ðµç ºÐ¾ß¿¡¼ 100%¸¦ Ãß±¸Çؾ߸¸ ÃÖ¼ÒÇÑ 80%ÀÇ ¼º°øÀ» ÀÌ·ê ¼ö ÀÖ´Ù¡¯´Â ¿µ¾÷öÇÐÀ» ¸ÅÀÏ ¾Æħ µÇ»õ±ä´Ù´Â Ȳ±âÇö Àü¹«.
Ç°Áú¿¡ ´ëÇÑ Àڽۨ°ú Æ÷±âÇÏÁö ¾Ê´Â ÃßÁø·ÂÀ» ¹«±â·Î ¿¬¸¶Àç Á¦Á¶¾÷ü¿´´ø ¡®´ë¹é½Å¼ÒÀ硯¸¦ Ư¼ö°¡½º ¾÷üÀÎ ¡®¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀ硯·Î º¯½Å½ÃŲ ±×ÀÇ ¿Á¤ÀÌ ±¹³»ÃÖÃÊÀÇ ÅäÁ¾ Ư¼ö°¡½º Á¦Á¶¾÷ü ¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀ縦 ¼¼°è¼Ó¿¡ ¿ì¶Ò ¼¼¿ï ¼ö Àֱ⸦ ±â´ëÇØ º»´Ù. |
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ¾ÆÀÌ°¡½ºÀú³Î ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷±ÝÁö> |
|
|
|
|
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0) |
|
|
|
|
|
ȸ»ç : i°¡½ºÀú³Î | Á¦È£ : ¿Â¶óÀΰ¡½ºÀú³Î | µî·Ï¹øÈ£ : ¼¿ï, ¾Æ53038 | µî·ÏÀÏÀÚ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | ¹ßÇàÀÎ : À̶ô¼ø | ÆíÁýÀÎ : ±èÈ£ÁØ
ÁÖ¼Ò : ¼¿ï½Ã °¼±¸ ¸¶°îÁß¾Ó4·Î 18 ¸¶°î±×¶ûÆ®À©Å¸¿ö Bµ¿ 702È£| ÀüȹøÈ£ : 02-2645-9701 | ¹ßÇàÀÏ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : À̶ô¼ø
Copyright © 2004 ¾ÆÀÌ°¡½ºÀú³Î. All rights reserved.
|
|
|
|