프렉스에어가 반도체용 갈륨질화물에 사용되는 99.99995%의 고순도 암모니아의 공식 판매에 나선다.
이 제품은 50ppb미만의 산소와 200ppb미만의 물(H2O)만을 포함하고 있으며 반도체업체들의 요구에 의해 개발됐다고 프렉스에어는 설명했다.
반도체업체들은 이러한 고순도 암모니아를 LED(발광다이오드), 고성능 광전자공학, 차세대 전자장치들의 제작으로 위해 사용되는 갈륨질화물에 사용하는데 순도가 높을수록 습기와 금속성분이 감소해 제품의 품질을 높일 수 있는 것으로 알려졌다.
프렉스에어는 관련시장에서 계속 선두적인 입지를 굳히기 위해 앞으로 실리콘 및 반도체합성물질 제조업체들의 요구에 대응할 수 있는 고순도 암모니아 제품의 다양성과 포트폴리오 확대에 주력할 계획이다. 특히 여기에는 sputtering target, chucks, 예비부품, 소모품 관리 등의 분야도 포함시킬 방침이다.
