국내 4대 액메이커중 하나인 프렉스에어코리아(대표 이강호)는 경기 수원의 삼성전자 공급용 고순도 질소 온사이트 플랜트를 완공하고 본격적인 공급에 나섰다고 밝혔다.
이번에 완공된 N-500 UHP/MGR 플랜트는 질소생산 전용이며 산소불순물 기준으로 1ppb단위의 고순도 기체가스를 시간당 14,000㎥가량 생산할 수 있는 동시에 액체가스도 약 40톤/일 생산이 가능하다는 설명이다.
특히 이 설비는 프렉스에어가 올해초 개발을 완료한 최초설비로 공기단축(12개월)은 물론 Cold Box를 더블칼럼으로 제작했으며 냉매부분에서도 기존 장식과는 달리 N2, Ar, 프레온 등 수가지 혼합가스 냉매를 이용함으로써 에너지 절감효과부분에서도 30%가량 낮출 수 있다는 게 회사측의 설명이다.
한편 이번 N-500 UHP/MGR 플랜트 설비의 배관 시공은 한양엔지니어링에서 담당했다.
