지난 4월 충남 천안에 세계최초의 불소발생기(F2 Generator) 양산(量産)공장을 준공한 성원에드워드㈜(회장 김중조)는 최근 LG필립스LCD 파주공장 제6세대 TFT-LCD라인에 불소발생기 4기의 설치를 완료하고 본격적인 가동에 돌입했다고 밝혔다.
이번에 설치된 모델은 시간당 4백ℓ(16㎏/日)의 고순도 불소(99.96%)를 공급할 수 있는 ‘Generation-F400’으로 여기서 생산된 불소는 CVD(화학기상증착)공정의 클리닝용 가스로 사용된다.
이 회사의 관계자는 “LG필립스 파주공장은 TFT-LCD 양산라인에 불소발생기가 채용된 세계최초의 사례라는 점에서 큰 의미가 있다”며 “제품의 안정성과 신뢰성이 입증되면서 향후 국내외 전자.반도체 업계의 불소발생기 도입이 잇따를 것으로 기대된다.”고 말했다.
실제로 LG필립스와의 계약체결이후 일본 토쿄일렉트론社가 Tohoku공장의 300㎜웨이퍼 제조라인에 ‘Generation-F80’을 도입, 최근 가동을 개시했으며 하이닉스반도체 이천공장에도 이달 중 소용량 모델 2기가 공급될 예정에 있는 등 불소발생기에 대한 반도체 및 TFT-LCD업계의 관심이 고조되고 있는 상황이다.
또한 지난달에는 불소발생기 관련 기술소유권을 놓고 미국 FOC社와 법정분쟁을 벌이고 있는 BOC그룹이 항소심에서 사실상 승소함에 따라 BOC에드워드의 국내 합작법인으로서 불소발생기 사업을 전담하고 있는 성원의 행보도 한층 탄력을 받게 됐다.
이같은 국내외적 호재에 힘입어 성원은 전세계 반도체 및 TFT-LCD제조업계의 설비대형화에 적극 부응하기 위해 하루 최대 64㎏의 불소생산능력을 갖춘 ‘Generation-F1600’ 모델의 개발에 착수했으며 이미 도입의사를 밝힌 국내 모업체를 시작으로 올해 말부터 본격적인 공급에 나설 계획이다.
