 |
|
- UPDATE : 2025.6.27 ±Ý 16:56
|
Ȩ
> i°¡½º¿Í¿¡³ÊÁö |
´ë¼º»ê¾÷°¡½º¢ß, °æºÏ ±¸¹Ì¿¡ ÃÊ°í¼øµµ ASUÇ÷£Æ® Áذø¿¬»ê 50¸¸Åæ »ý»ê´É·Â¡¦LGÇʸ³½º, LG½ÇÆ®·Ð µî¿¡ °ø±Þ |
|
´ë¼º»ê¾÷°¡½º¢ß(´ëÇ¥ ¼Õ¹«·æ)´Â ±¸¶ø 16ÀÏ °æºÏ ±¸¹ÌÀÇ ¡®±¸¹Ì Á¦3»ê¾÷´ÜÁö¡¯³» 1¸¸¿©ÆòÀÇ ºÎÁö¿¡ Ãֽм³ºñ¸¦ °®Ãá ½Å±Ô ÃÊ°í¼øµµ(UHP) ASUÇ÷£Æ®¸¦ ÁذøÇϰí LGÇʸ³½ºLCD µîÀ» ´ë»óÀ¸·Î º»°ÝÀûÀÎ °ø±ÞÀ» °³½ÃÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù.
ÃÑ 8¹é¾ï¿øÀÌ ÅõÀÚµÈ ½Å±Ô ±¸¹ÌÇ÷£Æ®´Â ppb´ÜÀ§(9N)ÀÇ ÃÊ°í¼øµµ °¡½º¸¦ ¿¬»ê 50¸¸Åæ ÀÌ»ó »ý»êÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ´É·ÂÀ» °®Ãß°í ÀÖÀ¸¸ç ´ë¼ºÃÊÀú¿Â¿¬±¸¼Ò¿¡¼ °³¹ßÇÑ ¼¼°èÃÖ´ë ±Ô¸ðÀÇ ÀüÀÚµ¿ UHP°¡½º Á¤Á¦ÀåÄ¡(15,000§©/hr)¸¦ ä¿ë, ÀÌ¹Ì Áö³ 1¿ùºÎÅÍ LGÇʸ³½º, LG½ÇÆ®·Ð µî Àα٠¾÷üµéÀ» ´ë»óÀ¸·Î UHP°¡½º¸¦ °ø±ÞÁß¿¡ ÀÖ´Ù.
´ë¼ºÀº ¶Ç ±¸¹ÌÇ÷£Æ®¿¡ °í¼øµµ°¡½º, È¥ÇÕ°¡½º µî ÀüÀÚ.¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º¸¦ À§ÇÑ ÃÖ÷´Ü ºÐ¼®.Á¦Á¶¼³ºñ¿Í ¼öÀÔ°¡½º ÀúÀå¼³ºñµµ ÇÔ²² º¸À¯ÇÔÀ¸·Î¼ UHP Ư¼ö°¡½º¸¦ º¸´Ù ¾ÈÁ¤ÀûÀ¸·Î °ø±ÞÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â¹ÝÀ» ¸¶·ÃÇß´Ù.
ƯÈ÷ ±¸¹ÌÇ÷£Æ®¿¡´Â ±¹³»ÃÖÃÊ·Î ´ë·®ÀÇ Æ¯¼ö°¡½º¸¦ ¹úÅ©¹æ½ÄÀ¸·Î °ø±ÞÇÒ ¼ö ÀÖ´Â BSGS(¹úũƯ¼ö°¡½º°ø±Þ½Ã½ºÅÛ)¸¦ µµÀÔ, LGÇʸ³½º Á¦6¶óÀο¡ SiH4, NF3, SF6, NH3 µîÀ» ¹úÅ©¹æ½ÄÀ¸·Î °ø±ÞÇϰí ÀÖ´Ù.
À̳¯ ´ë¼º±×·ì ±è¿µ´ë ȸÀåÀº Ãà»ç¸¦ ÅëÇØ ¡°¾ÕÀ¸·Î LGÇʸ³½º µî ±¸¹Ì°ø´Ü ÀÔÁÖ¾÷üµéÀÇ ´Ù¾çÇÑ ¿ä±¸¿¡ ¸ÂÃç °í°´ÀÇ °æÀï·ÂÀ» ±Ø´ëÈÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÃÖÀûÀÇ °ø±Þ½Ã½ºÅÛÀ» ±¸ÃàÇÒ °èȹ¡±À̶ó¸ç ¡°ÇöÀç ¼öÀÔ․ÆÇ¸ÅµÇ°í Àִ Ư¼ö°¡½º¸¦ ±¹»êÈÇØ ¿ø°¡Àý°¨°ú ǰÁúÇâ»ó¿¡µµ Áö¼ÓÀûÀÎ ³ë·ÂÀ» °æÁÖÇÒ °Í¡±À̶ó°í ¹àÇû´Ù.
ÇÑÆí Áذø½Ä Çà»ç¿¡´Â ´ë¼º±×·ì ±è¿µ´ë ȸÀå, ´ë¼º»ê¾÷°¡½º ¼Õ¹«·æ ºÎȸÀå µî ´ë¼º±×·ì °è¿»ç »çÀå´Ü ¹× ÀÓÁ÷¿øµé°ú ÇÕÀÛ»çÀÎ ¿¡¾î¸®ÄûµåÀçÆÒ ÀÓ¿øÁø, LGÇʸ³½ºLCD °ü°èÀÚ µî 2¹é¿©¸íÀÌ Âü¼®ÇØ ÃàÇÏÀÇ ¹Ú¼ö¸¦ º¸³Â´Ù. |
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ¾ÆÀ̰¡½ºÀú³Î ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷±ÝÁö> |
|
|
|
|
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0) |
|
|
|
|
 |
ȸ»ç : i°¡½ºÀú³Î | Á¦È£ : ¿Â¶óÀΰ¡½ºÀú³Î | µî·Ï¹øÈ£ : ¼¿ï, ¾Æ53038 | µî·ÏÀÏÀÚ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | ¹ßÇàÀÎ : À̶ô¼ø | ÆíÁýÀÎ : ±èÈ£ÁØ
ÁÖ¼Ò : ¼¿ï½Ã °¼±¸ ¸¶°îÁß¾Ó4·Î 18 ¸¶°î±×¶ûÆ®À©Å¸¿ö Bµ¿ 702È£| ÀüȹøÈ£ : 02-2645-9701 | ¹ßÇàÀÏ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : À̶ô¼ø
Copyright © 2004 ¾ÆÀ̰¡½ºÀú³Î. All rights reserved.
|
 |
|
|