에어프로덕트는 지난달 23일 전세계 반도체업계의 요구에 부응하기 위해 자사의 두 번째 WF6 플랜트를 건설할 계획이라고 밝혔다.
총 3단계로 진행되는 이번 WF6플랜트 건설프로젝트는 오는 2002년초까지 1단계를 완료, 연간 10만파운드(약 45톤)의 WF6를 생산, 주요 반도체제조업체들에게 공급할 예정이다.
또한 관련업계의 수요에 맞춰 빠른 시일내에 2단계와 3단계를 마무리지어 연간 20만파운드(약 90톤)의 생산량 확대를 꾀한다는 방침이다. 이에따라 3단계가 완료되면 이번 신규 플랜트에서만 연간 약 1백35톤의 WF6를 생산하게 되며 지난 99년 가동을 시작한 기존 WF6플랜트와 함께 반도체용 특수가스 시장에 대한 영향력을 강화할 수 있을 것으로 전망된다.
이번 신규 플랜트에는 기존 플랜트와 동일한 설비와 기술이 사용될 예정으로 니켈로 제작된 전자동시스템, 온라인 분석능력 등을 제공한다.
이와관련 에어프로덕트의 전자특수가스 사업부문 Richard C. Kenner회장은 “반도체업계가 전통적으로 사용하고 있는 알루미늄과 텅스텐을 사용하고 있어 WF6의 수요 또한 계속 성장할 것”이라며 “제 2기 WF6공장을 통해 에어프로덕트는 고객들에게 보다 안정적인 공급을 보장할 수 있다”고 강조했다.
한편 에어프로덕트는 전자공학분야의 선도적인 특수가스 공급업체로 생산, 정제, 충전 등의 사업을 전개하고 있다.
