한국산업가스㈜(대표 이수연, 이하 KIG)는 지난 8일 세계최대 규모의 제7세대 TFT-LCD 제조공장인 삼성전자 탕정공장에 고순도 산소(O2), 질소(N2), 아르곤(Ar) 등을 공급하기 위한 최첨단 신규 ASU플랜트와 액화장치의 건설을 완료하고 본격적인 가동에 돌입했다고 밝혔다.
이번 KIG의 탕정플랜트는 기존 TFT-LCD제조라인과 비교해 5~8배에 수준의 N2를 소비할 것으로 예상되는 삼성 탕정공장의 막대한 고순도 산업용가스 수요를 충당하기 위해 최신형 플랜트로 설계됐다.
구체적인 생산능력은 시간당으로 기체산소 1만2천N㎥, 기체질소 2만9천3백21N㎥ 등이고 액체생산규모는 산소와 질소가 각각 하루 2백톤씩이며 파이프라인과 트레일러 방식으로 공급된다.
이 회사의 한 관계자는 “KIG가 공급한 산업용가스에 의해 세계최초의 제7세대 TFT-LCD가 만들어진다는 사실에 무한한 영광을 느낀다”며 “그동안 쌓아온 삼성전자와의 신뢰성을 바탕으로 고품질의 제품생산과 안정적이고 안전한 공급에 한층 만전을 다할 계획”이라고 밝혔다.
이와 관련 KIG는 삼성 탕정공장의 지속적인 산업용가스 수요확대와 그에 따른 원활한 공급능력 확보를 위해 조만간 ASU플랜트 1기를 추가 건설할 계획인 것으로 전해졌다.
제2호 탕정플랜트는 오는 2005년말 완공을 목표로 하고 있으며 기존 삼성전자 기흥공장 및 천안공장에 가동중인 플랜트와 동일한 규모로 건설된다.
KIG는 또 향후 삼성전자의 TFT-LCD 팹(fab) 신.증설에 대비해 제3호 플랜트의 건설부지까지 이미 확보해 놓은 상태이다.
한편 한국산업가스는 올해 2월 삼성전자와 O2, N2, Ar, NF3(삼불화질소), NH3(암모니아), SiH4(실란) 등을 탕정공장에 공급키로 하는 장기공급계약을 체결한바 있으며 NF3, NH3, SiH4 등 특수가스 3종의 공급설비도 조만간 완공될 예정이다.
