°æºÏ ¿µÁÖ¿¡ À§Ä¡ÇÑ ÀüÀÚ¼ÒÀç±â¾÷ÀÎ ´ë¹é½Å¼ÒÀç°¡ ±¹³»¿¡ NF3(»ïºÒÈÁú¼Ò)°øÀåÀ» ¼³¸³ÇÏ°í Æ¯¼ö°¡½ººÐ¾ß·ÎÀÇ ÁøÃâÀ» ¸ð»öÇϰí ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ¹àÇôÁ® ¾÷°èÀÇ À̸ñÀÌ ÁýÁߵǰí ÀÖ´Ù. ƯÈ÷ ÀÌ È¸»ç´Â NF3À̿ܿ¡µµ 5¢¦6Á¾ÀÇ Æ¯¼ö°¡½º¸¦ ÇÔ²² Ãë±ÞÇÒ °èȹÀ¸·Î ÀÖ¾î ÇâÈÄ ±¹³» »ê¾÷¿ë°¡½º½ÃÀå¿¡ ÀûÁö ¾ÊÀº ÆÇµµº¯È¸¦ ÀÏÀ¸Å³ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù.
ÃÖ±Ù ´ë¹é½Å¼ÒÀçÀÇ ÀÌ¿µ±Õ »çÀåÀº “¼ÒÀç ¹× ÈÇкоßÀÇ ±â¼úÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î NF3 ±¹³» »ý»ê°øÀå ¼³¸³ °èȹÀ» ³»ºÎÀûÀ¸·Î È®Á¤ÇÑ »óÅ”¶ó¸ç “¿ÃÇØ³» »ý»ê°øÀåÀ» ¼³¸³ÇÒ °èȹ”À̶ó°í ¹àÇû´Ù. ´ë¹éÀº ¼¼ºÎÀû ÀÏÁ¤ÀÌ È®Á¤µÇ´Âµ¥·Î ÄÚ½º´Ú °ø½Ã µîÀ» ÅëÇØ À̰°Àº ³»¿ëÀ» °ø½Ä¹ßÇ¥ÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
ÀÌ »çÀå¿¡ µû¸£¸é ´ë¹éÀÇ Æ¯¼ö°¡½º»ç¾÷ ÁøÃâÀº ÀÌ È¸»ç°¡ º¸À¯ÁßÀÎ ¼ÒÀç ¹× ÈÇкоßÀÇ ±â¼ú. ³ëÇÏ¿ì¿Í Ư¼ö°¡½º Á¦Á¶ÀÇ ±Ùº»±â¼úÀº Å« Â÷À̰¡ ¾ø´Ù°í ÆÇ´Ü, ÀÌ¹Ì 4¢¦5³â ÀüºÎÅÍ ÁøÃâÀ» °èȹÇß´ø °ÍÀ¸·Î ¹àÇôÁ³´Ù.
¾ÆÁ÷ ±¸Ã¼ÀûÀÎ »ý»ê±Ô¸ð´Â È®Á¤µÇÁö ¾Ê¾ÒÁö¸¸ ÀÚü Á¶»ç°á°ú ¿ÃÇØ ±¹³» NF3½ÃÀåÀ» ¾à 3¹éÅæÀ¸·Î º¸°íÀÖ¾î »ý»ê·®µµ 3¹éÅæ ³»¿Ü·Î °áÁ¤µÉ °ÍÀ¸·Î º¸¿©Áø´Ù. À̿Ͱü·Ã ÀÌ »çÀåÀº “NF3°¡ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡ ÁÖ·Î »ç¿ëµÇ´Â ¸¸Å »ý»ê·®ÀÇ 50%Á¤µµ´Â ´ë¸¸ µî ÇØ¿Ü·Î ¼öÃâÇÒ °èȹ”À̶ó°í ¸»ÇØ, ±¹³»½ÃÀåÀº ¹°·Ð ¹ü¾Æ½Ã¾ÆÁö¿ªÀ» Ä¿¹öÇÏ´Â ¸ÞÀÌÀú¾÷ü·Î ¹ßµ¸¿òÇÒ ¹æÄ§ÀÓÀ» ÇÇ·ÂÇß´Ù.
ÀÌ »çÀåÀº ¶Ç “Ư¼ö°¡½ººÐ¾ßÀÇ °æ¿ì ¾÷°è Ư¼º»ó 1Á¾·ù¸¸À» Ãë±ÞÇØ¼´Â ¿µÇâ·ÂÀ» ¹ßÈÖÇÒ¼ö ¾ø´Â °ÍÀ¸·Î ¾Ë°íÀÖ´Ù”¸ç “¼öÀԷθ¦ È®º¸ÇØ ÇâÈÄ 5¢¦6Á¾ÀÇ Æ¯¼ö°¡½º¸¦ ÇÔ²² Ãë±ÞÇÒ ¿¹Á¤”À̶ó°í µ¡ºÙ¿´´Ù.
À̹ø ´ë¹éÀÇ NF3 °øÀå¼³¸³Àº »ê¼Ò, Áú¼Ò, ¾Ë°ï µîÀ» Á¦¿ÜÇÑ ¸ðµç Ư¼ö°¡½º¸¦ Àü·® ¼öÀÔ¿¡ ÀÇÁ¸Çß´ø °Í°ú ´Þ¸® ±¹³»¿¡¼ ±¹³»±â¼ú·Î Ư¼ö°¡½º¸¦ »ý»êÇÏ´Â ÃÖÃÊÀÇ ½Ãµµ¶ó´Â Á¡¿¡¼ Àǹ̰¡ Å©´Ù. ´õ¿íÀÌ °¡½º°ü·Ã¾÷üµµ ¾Æ´Ñ ´ë¹éÀÇ ½ÃÀåÁøÃâ·Î »ê¾÷¿ë°¡½ººÐ¾ß°¡ ¼öÀͼº ³ôÀº ¸Å·ÂÀûÀÎ »ç¾÷ÀÓÀ» ¹ÝÁõÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î Çö½Ç¿¡ ¾ÈÁÖÇß´ø ¾÷°è¿¡ °æÁ¾À» ¿ï¸®´Â °è±â·Î ÀÛ¿ëÇÒ Àü¸ÁÀÌ´Ù.
ÇÑÆí ´ë¹é½Å¼ÒÀç´Â Áö³82³â ¼³¸³ÀÌÈÄ ¼ÒÀçºÐ¾ß ±¹»êÈ¿¡ ³ª¼ ÇöÀç ¿¬¸¶Á¦¿Í ¿ëÇØ¿ø·á µîÀÇ ºÐ¾ß¿¡¼ ¼¼°èÀûÀÎ ±â¼úÀ» º¸À¯Çϰí ÀÖÀ¸¸ç Áö³ÇØ ¸ÅÃâ 2¹é¾ï¿ø, ´ç±â¼øÀÌÀÍ 30¾ï¿øÀ» ´Þ¼ºÇÑ À¯¸Á Áß°ß±â¾÷ÀÌ´Ù. |