BOC¿¡µå¿öµå°¡ ±¹³» NF3½ÃÀå¿¡ º»°Ý »ó·úÇÑ´Ù.
BOC±×·ìÀÇ ±¹³» Ư¼ö°¡½ººÐ¾ß ¾÷¹«¸¦ ´ã´çÇÏ´Â ¼º¿ø¿¡µå¿öµå(´ëÇ¥ ±èÁßÁ¶)´Â ÃÖ±Ù ¿Ï°øµÈ ³²¾ÆÇÁ¸®Ä«°øȱ¹ »ý»ê°øÀåÀ¸·ÎºÎÅÍ NF3¸¦ ¼öÀÔ, ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ µî °¢Á¾ ¼ö¿äó¿¡ °ø±ÞÇÒ °èȹÀ̶ó°í ¹àÇû´Ù.
ÇöÀç ³²¾ÆÍì °øÀåÀº ¸ðµç »ý»ê¼³ºñ ±¸ÃàÀ» ¸¶Ä£ »óÅ·Π¿ÃÇØ 1/4ºÐ±â³» ¾ç»êüÁ¦¿¡ µ¹ÀÔÇÏ´Â µ¥·Î ±¹³»¿¡µµ ¹°·®À¯ÀÔÀÌ ÀÌ·ç¾îÁú Àü¸ÁÀÌ´Ù.
BOC°¡½ºÀÇ ³²¾ÆÍì °øÀåÀº Áö³ 96³âºÎÅÍ ÃßÁøÇß´Ù°¡ ³»ºÎ»çÁ¤¿¡ ÀÇÇØ ÀáÁ¤ Áß´ÜµÈ ÈÄ Áö³ 99³â ÀçÃßÁøµÅ À̹ø¿¡ ³²¾ÆÍì Æ縰´Ù¹Ù¿¡ À§Ä¡ÇÑ AECÀÇ ´ÜÁö ³»ºÎ¿¡ ¿¬»ê 2¹é50ÅæÀÇ »ý»ê±Ô¸ð·Î ¿Ï°øµÆ´Ù.
BOC°¡½ºÀÇ ±¹³» NF3½ÃÀå¿¡ÀÇ ÁøÃâÀº Çѱ¹ÀÌ ¼¼°èÀûÀÎ ¹ÝµµÃ¼ °±¹ÀÓÀº ¹°·Ð ÃÖ±Ù »ï¼ºÀüÀÚ, Çö´ëÀüÀÚ, ¾Æ³²¹ÝµµÃ¼, µ¿ºÎÀüÀÚ µî ¸ÞÀÌÀú ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¾÷üµéÀÌ »ý»ê¼³ºñ¸¦ È®ÃæÇÏ´Â µî ¼ö¿ä°¡ È®´ëµÇ°í Àִµ¥ µû¸¥ °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.
¼º¿ø¿¡µå¿öµåÀÇ Æ¯¼ö°¡½º ÃÑ°ý´ã´çÀÚÀÎ ¹ÚÇýÁø Â÷ÀåÀº “Áö³ÇØ ±¹³» NF3 ½ÃÀåÀº ¾à 1¹éÅæ ±Ô¸ð·Î ÃßÁ¤µÈ´Ù”¸ç “¿ÃÇØ È®´ëºÐÀ» °¨¾ÈÇØ Àüü ½ÃÀåÁ¡À¯À² 30%¸¦ ¸ñÇ¥·Î ÇÏ°íÀÖ´Ù”°í ¹àÇû´Ù. À̸¦ À§ÇØ ¿µ¾÷·ÂÀ» ÁýÁß ÅõÀÔ, ÇöÀç ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¾÷üµéÀ» ´ë»óÀ¸·Î ¿µ¾÷·Â °È¿¡ ¹ÚÂ÷¸¦ °¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÇÑÆí °ü·Ã¾÷°è´Â “BOC°¡½ºÀÇ NF3°ø±Þ¿¡ µû¶ó °ú°Å¿Í °°Àº ¼ö¿äºÎÁ·Çö»óÀº ±Ý¸í°£ »ç¶óÁö°Ô µÆ´Ù”°í ¼³¸íÇÑ ¹Ý¸é, “´ë¹é½Å¼ÒÀç°¡ ±¹³»¿¡ NF3 »ý»ê°øÀåÀ» ÃßÁøÁß¿¡ ÀÖ°í ´ëÇÑƯ¼ö°¡½º, ´ë¼º»ê¼Ò, ¼®¿µ»ó»ç µî ±âÁ¸ ¼¼·ÂµéÀÇ °ßÁ¦µµ ¿¹»óµÅ ¿ÃÇØ ±¹³» NF3 ¼ö¿ä½ÃÀåÀ» ³õ°í Ä¡¿ÇÑ ½ÃÀåÀïÅ»ÀüÀÌ Àü°³µÉ °Í”À̶ó°í Àü¸ÁÇß´Ù. |