¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®°¡ ½ÃȰø´Ü³» °Ç¼³ÁßÀÎ SiF4 Á¦Á¶°øÀå°ú NF3 ÃæÀü°øÀåÀÌ ÀÌ´ÞÁß Áõ¼³ ¿Ï°ø, ¿À´Â 4¿ùºÎÅÍ ¾ç»êüÁ¦¿¡ µé¾î°£´Ù. ƯÈ÷ À̹ø SiF4.NF3 ÃæÀü°øÀåÀº »ê¼Ò, Áú¼Ò, ¾Æ¸£°ïÀ» Á¦¿ÜÇÑ ±¹³» À¯ÀÏÀÇ »ê¾÷¿ë°¡½º »ý»ê±âÁö¶ó´Â Á¡¿¡¼ ¾÷°è¿¡ ½Ã»çÇÏ´Â ¹Ù°¡ Å©´Ù.
ÃÖ±Ù ¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®ÀÇ ±¹³»¹ýÀÎÀÎ ´ëÇÑÆ¯¼ö°¡½º¿Í Çѱ¹»ê¾÷°¡½º´Â ½ÃȰø´Ü³» ¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®ÀÇ SiF4 ¹× NF3 °øÀåÀÌ ÀÌ´ÞÁß ¿Ï°øÀ» ¾ÕµÎ°í ÀÖÀ¸¸ç 4¿ù°æ º»°ÝÀûÀÎ »ý»ê.ÆÇ¸Å¿¡ µ¹ÀÔÇÑ´Ù°í ¹àÇû´Ù.
¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®ÀÇ ±¹³» SiF4.NF3 Á¦Á¶°øÀå °Ç¼³Àº ¹ÝµµÃ¼ ¹× ¼¶À¯±¤Çко߿¡¼ »ç¿ëµÇ´Â Ư¼ö°¡½ºÀÇ ¼ö¿äÁõ°¡¿¡ ´ëºñÇÑ »ý»ê·® Áõ´ëÂ÷¿ø¿¡¼ ÃßÁøµÈ °ÍÀ¸·Î Áö³ÇØ 10¿ù ¸ð¸®½ººô »ý»ê±âÁö ¼³¸³°ú ÃÖ±Ù Ä«Åõ»ç °øÀå Áõ¼³¹ßÇ¥ µî°úµµ °°Àº ¸Æ¶ôÀÌ´Ù.(°ü·Ã±â»ç Á¦2È£ 18¸é)
ƯÈ÷ ¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®´Â À̹ø ½ÃȱâÁö¸¦ ¾Æ½Ã¾ÆÁö¿ª °ø·«ÀÇ ÀüÁø±âÁö·Î »ï´Â´Ù´Â ¹æÄ§ÀÌ´Ù.
ÀÌ¿Í °ü·Ã ȸ»çÀÇ ÇÑ °ü°èÀÚ´Â “½ÃȱâÁö¿¡¼ »ý»êµÈ SiF4.NF3¸¦ ÅëÇØ ±¹³»¼ö¿ä¸¦ Ãæ´çÇÏ´Â ÇÑÆí ÇØ¿Ü¼öÃâµµ Àû±Ø ÃßÁøÇÒ °èȹ”À̶ó¸ç “´ë»ó±¹°¡´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¾÷ü°¡ ¸¹Àº ´ë¸¸ ¹× ¸»·¹À̽þƸ¦ ÇʵηΠÀϺ».Áß±¹ µî µ¿¾Æ½Ã¾Æ Áö¿ª”À̶ó°í ¹àÇû´Ù.
ÀÌ¿¡ µû¶ó ½ÃȱâÁö´Â 3´ë »ê¾÷¿ë°¡½º¸¦ Á¦¿ÜÇÑ ±¹³» À¯ÀÏÀÇ Æ¯¼ö°¡½º Á¦Á¶±âÁö¶ó´Â ¸í¿¹¿Í ÇÔ²² ±¹³»¿¡¼ »ý»êµÈ Ư¼ö°¡½º¸¦ ÇØ¿Ü·Î ¼öÃâÇÏ´Â ¿µ±¤µµ ÇÔ²² ´©¸®°Ô µÉ Àü¸ÁÀÌ´Ù.
ÀÌ »çÀåÀº ¶Ç ÇâÈÄ ½ÃÈÇ÷£Æ®¿¡¼ SiF4.NF3¿Ü¿¡µµ ¿©Å¸ ºÒ¼Ò°è¿ÀÇ Æ¯¼ö°¡½º¸¦ Á÷Á¢ »ý»êÇÒ °¡´É¼º¿¡ ´ëÇØ¼µµ ¿©Áö¸¦ ³²°å´Ù.
ÇÑÆí ¾÷°èÀü¹®°¡µéÀº ¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½ºÀÇ °æ¿ì Çѱ¹ÀÌ ¹ÝµµÃ¼ºÐ¾ß¿¡¼ ¼¼°èÃÖ°íÀÇ ±â¼ú·ÂÀ» º¸À¯Çϰí Àִµ¥´Ù ¼¼°èÃÖ´ë ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê±¹ÀÎ ´ë¸¸À» Àαٿ¡ µÎ°íÀÖ¾î ÇâÈÄ ÇØ¿Ü ¸ÞÀÌÀú±â¾÷µéÀÇ ±¹³» »ý»ê±âÁö ¼³¸³ÀÌ ÀÕµû¸¦ °ÍÀ̶ó°í ¿¹°ßÇß´Ù. |