Ȩ > i°¡½º¿Í¿¡³ÊÁö
¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®, 4¿ùÁß SiF4 ±¹³»¼­ ¾ç»ê½ÃÈ­°ø´Ü »ý»ê±âÁö ¿Ï°ø ÀÓ¹Ú¡¦±¹³» À¯ÀÏÀÇ Æ¯¼ö°¡½º Á¦Á¶½Ã¼³
À̶ô¼ø ±âÀÚ  |  webmaster@igasnet.com
ÆùƮŰ¿ì±â ÆùÆ®ÁÙÀ̱â ÇÁ¸°Æ®Çϱ⠸ÞÀϺ¸³»±â ½Å°íÇϱâ
½ÂÀÎ 2001.02.20  
Æ®À§ÅÍ ÆäÀ̽ººÏ ¹ÌÅõµ¥ÀÌ ³×À̹ö ±¸±Û msn

¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®°¡ ½ÃÈ­°ø´Ü³» °Ç¼³ÁßÀÎ SiF4 Á¦Á¶°øÀå°ú NF3 ÃæÀü°øÀåÀÌ ÀÌ´ÞÁß Áõ¼³ ¿Ï°ø, ¿À´Â 4¿ùºÎÅÍ ¾ç»êüÁ¦¿¡ µé¾î°£´Ù. ƯÈ÷ À̹ø SiF4.NF3 ÃæÀü°øÀåÀº »ê¼Ò, Áú¼Ò, ¾Æ¸£°ïÀ» Á¦¿ÜÇÑ ±¹³» À¯ÀÏÀÇ »ê¾÷¿ë°¡½º »ý»ê±âÁö¶ó´Â Á¡¿¡¼­ ¾÷°è¿¡ ½Ã»çÇÏ´Â ¹Ù°¡ Å©´Ù.

ÃÖ±Ù ¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®ÀÇ ±¹³»¹ýÀÎÀÎ ´ëÇÑÆ¯¼ö°¡½º¿Í Çѱ¹»ê¾÷°¡½º´Â ½ÃÈ­°ø´Ü³» ¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®ÀÇ SiF4 ¹× NF3 °øÀåÀÌ ÀÌ´ÞÁß ¿Ï°øÀ» ¾ÕµÎ°í ÀÖÀ¸¸ç 4¿ù°æ º»°ÝÀûÀÎ »ý»ê.ÆÇ¸Å¿¡ µ¹ÀÔÇÑ´Ù°í ¹àÇû´Ù.

¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®ÀÇ ±¹³» SiF4.NF3 Á¦Á¶°øÀå °Ç¼³Àº ¹ÝµµÃ¼ ¹× ¼¶À¯±¤Çко߿¡¼­ »ç¿ëµÇ´Â Ư¼ö°¡½ºÀÇ ¼ö¿äÁõ°¡¿¡ ´ëºñÇÑ »ý»ê·® Áõ´ëÂ÷¿ø¿¡¼­ ÃßÁøµÈ °ÍÀ¸·Î Áö³­ÇØ 10¿ù ¸ð¸®½ººô »ý»ê±âÁö ¼³¸³°ú ÃÖ±Ù Ä«Åõ»ç °øÀå Áõ¼³¹ßÇ¥ µî°úµµ °°Àº ¸Æ¶ôÀÌ´Ù.(°ü·Ã±â»ç Á¦2È£ 18¸é)

ƯÈ÷ ¿¡¾îÇÁ·Î´öÆ®´Â À̹ø ½ÃÈ­±âÁö¸¦ ¾Æ½Ã¾ÆÁö¿ª °ø·«ÀÇ ÀüÁø±âÁö·Î »ï´Â´Ù´Â ¹æÄ§ÀÌ´Ù.

ÀÌ¿Í °ü·Ã ȸ»çÀÇ ÇÑ °ü°èÀÚ´Â “½ÃÈ­±âÁö¿¡¼­ »ý»êµÈ SiF4.NF3¸¦ ÅëÇØ ±¹³»¼ö¿ä¸¦ Ãæ´çÇÏ´Â ÇÑÆí ÇØ¿Ü¼öÃâµµ Àû±Ø ÃßÁøÇÒ °èȹ”À̶ó¸ç “´ë»ó±¹°¡´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¾÷ü°¡ ¸¹Àº ´ë¸¸ ¹× ¸»·¹À̽þƸ¦ ÇʵηΠÀϺ».Áß±¹ µî µ¿¾Æ½Ã¾Æ Áö¿ª”À̶ó°í ¹àÇû´Ù.

ÀÌ¿¡ µû¶ó ½ÃÈ­±âÁö´Â 3´ë »ê¾÷¿ë°¡½º¸¦ Á¦¿ÜÇÑ ±¹³» À¯ÀÏÀÇ Æ¯¼ö°¡½º Á¦Á¶±âÁö¶ó´Â ¸í¿¹¿Í ÇÔ²² ±¹³»¿¡¼­ »ý»êµÈ Ư¼ö°¡½º¸¦ ÇØ¿Ü·Î ¼öÃâÇÏ´Â ¿µ±¤µµ ÇÔ²² ´©¸®°Ô µÉ Àü¸ÁÀÌ´Ù.

ÀÌ »çÀåÀº ¶Ç ÇâÈÄ ½ÃÈ­Ç÷£Æ®¿¡¼­ SiF4.NF3¿Ü¿¡µµ ¿©Å¸ ºÒ¼Ò°è¿­ÀÇ Æ¯¼ö°¡½º¸¦ Á÷Á¢ »ý»êÇÒ °¡´É¼º¿¡ ´ëÇØ¼­µµ ¿©Áö¸¦ ³²°å´Ù.

ÇÑÆí ¾÷°èÀü¹®°¡µéÀº ¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½ºÀÇ °æ¿ì Çѱ¹ÀÌ ¹ÝµµÃ¼ºÐ¾ß¿¡¼­ ¼¼°èÃÖ°íÀÇ ±â¼ú·ÂÀ» º¸À¯Çϰí Àִµ¥´Ù ¼¼°èÃÖ´ë ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê±¹ÀÎ ´ë¸¸À» Àαٿ¡ µÎ°íÀÖ¾î ÇâÈÄ ÇØ¿Ü ¸ÞÀÌÀú±â¾÷µéÀÇ ±¹³» »ý»ê±âÁö ¼³¸³ÀÌ ÀÕµû¸¦ °ÍÀ̶ó°í ¿¹°ßÇß´Ù.

À̶ô¼ø ±âÀÚÀÇ ´Ù¸¥±â»ç º¸±â  
ÆùƮŰ¿ì±â ÆùÆ®ÁÙÀ̱â ÇÁ¸°Æ®Çϱ⠸ÞÀϺ¸³»±â ½Å°íÇϱâ
Æ®À§ÅÍ ÆäÀ̽ººÏ ¹ÌÅõµ¥ÀÌ ³×À̹ö ±¸±Û msn µÚ·Î°¡±â À§·Î°¡±â
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0)
ÀÚµ¿µî·Ï¹æÁö¿ë Äڵ带 ÀÔ·ÂÇϼ¼¿ä!   
È®ÀÎ
- 200ÀÚ±îÁö ¾²½Ç ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. (ÇöÀç 0 byte / ÃÖ´ë 400byte)
- ¿å¼³µî ÀνŰø°Ý¼º ±ÛÀº »èÁ¦ ÇÕ´Ï´Ù. [¿î¿µ¿øÄ¢]
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0)
°¡Àå ¸¹ÀÌ º» ´º½º
1
[Click]¼ö¼Ò¿¡³ÊÁö ºÐ¾ß ±ÔÁ¦»÷µå¹Ú½º ¡®º¿¹°¡¯
2
µ¿¼ºÈ­ÀÎÅØ, Æó³Ã¸Å ÀçȰ¿ë ¼³ºñ È®Ãæ
3
[COMPANY NEWS](ÁÖ)¿¡¾îÆÛ½ºÆ®, ¡®µµ¾àÀÇ 50³â, ºñ»óÇÏ´Â 100³â¡¯ ¼±Æ÷
4
°¡½º¾ÈÀüÍë, 2025³â »ó¹Ý±â »ç°íÁ¶»ç Àü¹®À§¿øÈ¸ °³ÃÖ
5
PKC, ¿ÃÇØ 1ºÐ±â Àü³âµ¿±â´ëºñ ¸ÅÃâ 8%¡¤¿µ¾÷ÀÍ 9% Áõ°¡
6
Á¦49ȸ ¼®À¯È­ÇÐ Ç÷£Æ® ¾ÈÀü±â¼úÇâ»ó¿¬±¸È¸ °³ÃÖ
7
°¡½º±â¼úÍë, ´ëÇлý ¡®¼ö¼ÒÀüÁֱ⼾ÅÍ ÇöÀ厹桯 ¿î¿µ
8
°¡½ºÍë, ¹Ì·¡¼¼´ë ´«³ôÀÌ·Î ¿¡³ÊÁö º¹Áö ½Çõ
9
(ÁÖ)±×¸°°¡½º¼Ö·ç¼ÇÀ̾ؾ¾, ISO 45001 ¾ÈÀüº¸°Ç°æ¿µ½Ã½ºÅÛ ÀÎÁõ ȹµæ
10
[¸ÅÃâºÐ¼®] Á¶¼±±â±â(ÁÖ)
ȸ»ç¼Ò°³¤ý±â»çÁ¦º¸¤ý±¤°í¹®ÀǤýºÒÆí½Å°í¤ý°³ÀÎÁ¤º¸Ãë±Þ¹æÄ§¤ýÀ̸ÞÀϹ«´Ü¼öÁý°ÅºÎ¤ýû¼Ò³âº¸È£Á¤Ã¥
ȸ»ç : i°¡½ºÀú³Î | Á¦È£ : ¿Â¶óÀΰ¡½ºÀú³Î | µî·Ï¹øÈ£ : ¼­¿ï, ¾Æ53038 | µî·ÏÀÏÀÚ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | ¹ßÇàÀÎ : À̶ô¼ø | ÆíÁýÀÎ : ±èÈ£ÁØ
ÁÖ¼Ò : ¼­¿ï½Ã °­¼­±¸ ¸¶°îÁß¾Ó4·Î 18 ¸¶°î±×¶ûÆ®À©Å¸¿ö Bµ¿ 702È£| ÀüÈ­¹øÈ£ : 02-2645-9701 | ¹ßÇàÀÏ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : À̶ô¼ø
Copyright © 2004 ¾ÆÀ̰¡½ºÀú³Î. All rights reserved.