¼ö¿äó ¾ÈÁ¤Àû °ø±Þ…¼öÀ͵µ Áõ°¡¼¼
ÃÊÀú¿Â ¹ëºê ¹× ÀåºñÀü¹® ¾÷üÀÎ (ÁÖ)·ÎŸ·º½º ·ç½ºÅ×Å©(´ëÇ¥ Áø°æÁø)°¡ Àü³âµµ¿¡ À̾î Áö³ÇØ¿¡µµ °æ¿µ½ÇÀû¿¡¼ Ç÷¯½º ¼ºÀûÇ¥¸¦ ¹Þ¾Ò´Ù.
ÃÖ±Ù ·ÎŸ·º½º ·ç½ºÅ×Å©°¡ ¹ßÇ¥ÇÑ 2021ȸ°è³âµµ °æ¿µ½ÇÀû º¸°í¼¿¡ µû¸£¸é ÀÌ È¸»ç´Â Áö³ÇØ ÃÑ 2280¾ï6,000¸¸¿øÀÇ ¸ÅÃâÀ» ±â·Ï, Àü³â(216¾ï3,000¸¸¿ø)´ëºñ 5.7% Áõ°¡Çϸç źźÇÑ ¼ºÀå¼¼¸¦ ³ªÅ¸³Â´Ù.
À̰°Àº ȸ»çÀÇ ½ÇÀû Áõ´ë´Â Áö³ÇØ Äڷγª19 ¿©ÆÄ¿¡ µû¸¥ Àü¹æ»ê¾÷ ħü·Î ´Ù¼Ò °íÀüÀÌ ¿¹»óµÆÁö¸¸ ¹ÝµµÃ¼ ¾÷ȲÀÇ È£Á¶¼¼¿Í ¸Â¹°·Á ¹ÝµµÃ¼ ¹× ÀÏ¹Ý Æ¯¼ö°¡½º ½Ç¸°´õ ¹ëºê ¹× °¢Á¾ ·¹±Ö·¹ÀÌÅÍÀÇ ²ÙÁØÇÑ ÆÇ¸Å°¡ ÀÌ·ïÁøµ¥ µû¸¥ °ÍÀ¸·Î ºÐ¼®µÈ´Ù. ¶ÇÇÑ ¼Ò°ø°£ ÀÚµ¿ ¼ÒÈ ½Ã½ºÅÛ ¹× °¨Áö ¹× ÈÀç Áø¾Ð ½Ã½ºÅÛ »ç¾÷ ºÎ¹®µµ ½ÇÀûÀ» µÞ¹Þħ ÇÑ °ÍÀ¸·Î Á¶»çµÆ´Ù.
ÀÌ¿Í ÇÔ²² ȸ»ç´Â Áö³ÇØ ¸ÅÃâ¾×´ëºñ ¸ÅÃâ¿ø°¡ ºñÁßÀ» 10% °¡±îÀÌ ÁÙÀÌ°í ÆÇ¸Åºñ¿Í °ü¸®ºñ°¡ Ç϶ôÇÏ¸é¼ Àü³â(41¾ï¿ø)´ëºñ 33.3% Áõ°¡ÇÑ 54¾ï7,000¸¸¿øÀÇ ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀ» ´Þ¼ºÇß´Ù. ¾Æ¿ï·¯ ¿µ¾÷¿Üºñ¿ë °¨¼Ò·Î °æ»óÀÌÀÍÀÌ ´Ã¸é¼ ´ç±â¼øÀÌÀÍ ¿ª½Ã Àü³â(35¾ï1,000¸¸¿ø)º¸´Ù 31.2% Áõ°¡Çϸç 46¾ï1,000¸¸¿øÀ» ¿Ã¸° °ÍÀ¸·Î Áý°èµÆ´Ù.
·ÎŸ·º½º ·ç½ºÅ×Å©´Â ¿ÃÇØµµ ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß µî Àü¹æ»ê¾÷ÀÌ È°±â¸¦ ¶ì°í ÀÖ¾î ±âÁ¸ ¼ö¿äó¿¡ ¾ÈÁ¤Àû °ø±ÞÀ» À¯ÁöÇÏ°í ¿µ¾÷·ÂÀ» ´õ¿í ²ø¾î ¿Ã·Á ½Å±Ô ¼ö¿äó È®´ë¿¡ ¸ÅÁøÇÒ °èȹÀÌ´Ù. »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ¹°·ùºñ ¹× ±âŸ Á¦¹Ýºñ¿ëÀ» ÁÙ¿© ¼öÀÍÀ» ²ø¾î ¿Ã¸± ¹æÄ§ÀÌ´Ù.
ÇÑÆí ·ÎŸ·º½º±×·ìÀÇ Çѱ¹ÃÑÆÇÀ¸·Î Ư¼ö°¡½º Àåºñ Àü¹®±â¾÷ÀÎ ·ÎŸ·º½º ·ç½ºÅ×Å©´Â ¸ð³ë½Ç¶õ(SiH4) µîÀÇ ½Ç¶õ°è °¡½º¿ë ¹ëºê ¹× ·¹±Ö·¹ÀÌÅ͸¦ ºñ·ÔÇØ S-¶óÀΰú ºÒ¼Ò(F2)¿ëÀÎ F¶óÀÎ, »ïºÒÈÁú¼Ò(NF3)¿ëÀÎ T¶óÀÎ µîÀÇ Æ¯¼ö°¡½º Àü¿ë ¹ëºêÁ¦Ç° µîÀ» °ø±ÞÇϰí ÀÖÀ¸¸ç ¼Ò°ø°£ ÀÚµ¿ ¼ÒÈ ½Ã½ºÅÛ ¹× ¿Ïº®ÇÑ °¨Áö ¹× ÈÀç Áø¾Ð ½Ã½ºÅÛ »ç¾÷µµ ÇÔ²² ÁøÇàÇϰí ÀÖ´Ù.
|