Ȩ > i°¡½º¿Í¿¡³ÊÁö
¢ß¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç, Áß¼Ò±â¾÷´ë»ó ´ëÅë·Éǥâ ¼ö»ó¿¬»ê 6¹éÅæ NF3 Á¦2°øÀå Áذø¡¦WF6 1/4ºÐ±â º»°Ý °¡µ¿
i°¡½ºÀú³Î  |  webmaster@igasnet.com
ÆùƮŰ¿ì±â ÆùÆ®ÁÙÀ̱â ÇÁ¸°Æ®Çϱ⠸ÞÀϺ¸³»±â ½Å°íÇϱâ
½ÂÀÎ 2005.01.01  
Æ®À§ÅÍ ÆäÀ̽ººÏ ¹ÌÅõµ¥ÀÌ ³×À̹ö ±¸±Û msn
¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º Á¦Á¶¾÷üÀÎ ¢ß¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç(´ëÇ¥ ÇÏ¿µÈ¯)°¡ ±×µ¿¾È ¼öÀÔ¿¡ ÀüÀûÀ¸·Î ÀÇÁ¸ÇؿԴø Ư¼ö°¡½º(NF3, WF6, SiH4)¸¦ ±¹»êÈ­ÇÑ °ø·Î¸¦ ÀÎÁ¤¹Þ¾Æ ÃÖ±Ù ¿­¸° Áß¼Ò±â¾÷´ë»ó ½Ã»ó½Ä¿¡¼­ ´ëÅë·ÉǥâÀ» ¼ö»óÇß´Ù.

¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç´Â ±¸¶ø 15ÀÏ ¼­¿ï ÄÚ¿¢½º ±×·£µåº¼·ë¿¡¼­ °³ÃÖµÈ ¡®Á¦14ȸ Áß¼Ò±â¾÷´ë»ó¡¯¿¡¼­ 31°³ ¼ö»ó±â¾÷µé Áß ÃÖ°íÀÇ ¿µ¿¹ÀÎ ´ëÅë·ÉǥâÀ» ¼ö»óÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù.

Áß¼Ò±â¾÷ÁøÈï°ø´ÜÀÌ ÁÖ°üÇÏ°í »ê¾÷ÀÚ¿øºÎ¿Í Áß¼Ò±â¾÷ûÀÌ ÈÄ¿øÇÏ´Â À̹ø Çà»ç¿¡¼­ ¼ÒµðÇÁ´Â Áö³­ 2001³â¸» ±¹³»¾÷ü·Î´Â ÃÖÃÊ·Î ¹ÝµµÃ¼ ¼¼Á¤¿ë Ư¼ö°¡½ºÀÎ NF3ÀÇ ±¹»êÈ­¿¡ ¼º°ø, ¸·´ëÇÑ ¼öÀÔ´ëüȿ°ú¸¦ ¿Ã¸®´Â µî ±¹°¡°æÀï·Â °­È­¿¡ ±â¿©ÇÑ °ø·Î·Î ´ëÅë·ÉǥâÀÇ ÁÖÀΰøÀ¸·Î ³«Á¡µÆ´Ù.

½ÇÁ¦·Î ¼ÒµðÇÁ°¡ NF3¸¦ ±¹»êÈ­Çϱâ ÀÌÀüÀÎ 2001³â 11¿ù°æ §¸´ç 1¹é76´Þ·¯¼±À̾ú´ø NF3¼öÀÔ°¡°Ý(¹Ì±¹±âÁØ)ÀÌ 2004³â 11¿ù ÇöÀç §¸´ç 78´Þ·¯·Î Àý¹ÝÀÌ»ó ³·¾ÆÁ³À½À» º¸¸é ¼ÒµðÇÁÀÇ NF3°¡ ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ¾÷üµéÀÇ ¿ø°¡ °æÀï·Â »ó½Â¿¡ ¾ó¸¶³ª ¸·´ëÇÑ ÈûÀ» ½Ç¾îÁÖ¾ú´ÂÁö ¸íÈ®È÷ µå·¯³µ´Ù.

¼ÒµðÇÁ ¶ÇÇÑ »ó¿ëÈ­ 2³â°ÀÎ Áö³­ 2003³â NF3 ´ÜÀÏǰ¸ñÀ¸·Î¸¸ Àüü¸ÅÃâ(2¹é90¾ï¿ø)ÀÇ 65%¸¦ ³Ñ¾î¼­´Â 1¹é89¾ï¿øÀ» ¸ÅÃâÀ» ¿Ã¸®´Â µî Ư¼ö°¡½º ±â¾÷À¸·Î¼­ Ãʰí¼Ó ¼ºÀåÀ» °ÅµìÇϰí ÀÖÀ¸¸ç ÀÌ¿¡ ÈûÀÔ¾î ¿ÃÇØ¿¡´Â 2003³â ´ëºñ 80%°¡·® ¼ºÀåÇÑ ¸ÅÃâ 5¹é20¾ï¿ø, ´ç±â¼øÀÍ 1¹é55¾ï¿øÀ» ¿¹»óÇϰí ÀÖ´Ù.

ƯÈ÷ ¼ÒµðÇÁ´Â ±¹³»¿ÜÀÇ NF3 ¼ö¿äÁõ´ë¿¡ ºÎÀÀÇϱâ À§ÇØ ÃÖ±Ù °æºÏ ¿µÁÖ¿¡ ¿¬»ê 6¹éÅæ ±Ô¸ðÀÇ Á¦2°øÀåÀ» ¿Ï°ø, »ý»ê´É·ÂÀ» ÃÑ 9¹éÅæÀ¸·Î È®ÃæÇÔÀ¸·Î¼­ ¿ÃÇØ ¼¼°è 4À§¿´´ø ½ÃÀåÁ¡À¯À²À» 2006³â°æ 2À§±îÁö ²ø¾î¿Ã¸°´Ù´Â º¹¾ÈÀÌ´Ù.

ÀÌ¿¡ ´õÇØ ÇöÀç ¸·¹ÙÁö °ø»ç°¡ ÁøÇàÁßÀÎ WF6 Á¦Á¶°øÀå(¿¬»ê 50Åæ)ÀÌ ³»³â 1/4ºÐ±âÁß º»°Ý ¾ç»ê¿¡ µ¹ÀÔÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ¸ç ³»³âÃÊ SiH4 Á¦Á¶°øÀåµµ Âø°ø(2006³â Áذø)ÀÌ ¿¹Á¤µÇ¾î ÀÖ´Â µî Àû±ØÀûÀÎ ½Å±ÔÅõÀÚ¸¦ ÅëÇØ 2006³â¿¡ À̸£¸é ¸ÅÃâ 1õ1¹é¾ï¿ø, ¼øÀÍ 3¹é¾ï¿øÀ» ´Þ¼ºÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù.
i°¡½ºÀú³ÎÀÇ ´Ù¸¥±â»ç º¸±â  
ÆùƮŰ¿ì±â ÆùÆ®ÁÙÀ̱â ÇÁ¸°Æ®Çϱ⠸ÞÀϺ¸³»±â ½Å°íÇϱâ
Æ®À§ÅÍ ÆäÀ̽ººÏ ¹ÌÅõµ¥ÀÌ ³×À̹ö ±¸±Û msn µÚ·Î°¡±â À§·Î°¡±â
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0)
ÀÚµ¿µî·Ï¹æÁö¿ë Äڵ带 ÀÔ·ÂÇϼ¼¿ä!   
È®ÀÎ
- 200ÀÚ±îÁö ¾²½Ç ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. (ÇöÀç 0 byte / ÃÖ´ë 400byte)
- ¿å¼³µî ÀνŰø°Ý¼º ±ÛÀº »èÁ¦ ÇÕ´Ï´Ù. [¿î¿µ¿øÄ¢]
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0)
°¡Àå ¸¹ÀÌ º» ´º½º
1
[Click]¼ö¼Ò¿¡³ÊÁö ºÐ¾ß ±ÔÁ¦»÷µå¹Ú½º ¡®º¿¹°¡¯
2
µ¿¼ºÈ­ÀÎÅØ, Æó³Ã¸Å ÀçȰ¿ë ¼³ºñ È®Ãæ
3
[COMPANY NEWS](ÁÖ)¿¡¾îÆÛ½ºÆ®, ¡®µµ¾àÀÇ 50³â, ºñ»óÇÏ´Â 100³â¡¯ ¼±Æ÷
4
°¡½º¾ÈÀüÍë, 2025³â »ó¹Ý±â »ç°íÁ¶»ç Àü¹®À§¿øÈ¸ °³ÃÖ
5
PKC, ¿ÃÇØ 1ºÐ±â Àü³âµ¿±â´ëºñ ¸ÅÃâ 8%¡¤¿µ¾÷ÀÍ 9% Áõ°¡
6
°¡½º±â¼úÍë, ´ëÇлý ¡®¼ö¼ÒÀüÁֱ⼾ÅÍ ÇöÀ厹桯 ¿î¿µ
7
Á¦49ȸ ¼®À¯È­ÇÐ Ç÷£Æ® ¾ÈÀü±â¼úÇâ»ó¿¬±¸È¸ °³ÃÖ
8
°¡½ºÍë, ¹Ì·¡¼¼´ë ´«³ôÀÌ·Î ¿¡³ÊÁö º¹Áö ½Çõ
9
(ÁÖ)±×¸°°¡½º¼Ö·ç¼ÇÀ̾ؾ¾, ISO 45001 ¾ÈÀüº¸°Ç°æ¿µ½Ã½ºÅÛ ÀÎÁõ ȹµæ
10
[¸ÅÃâºÐ¼®] Á¶¼±±â±â(ÁÖ)
ȸ»ç¼Ò°³¤ý±â»çÁ¦º¸¤ý±¤°í¹®ÀǤýºÒÆí½Å°í¤ý°³ÀÎÁ¤º¸Ãë±Þ¹æÄ§¤ýÀ̸ÞÀϹ«´Ü¼öÁý°ÅºÎ¤ýû¼Ò³âº¸È£Á¤Ã¥
ȸ»ç : i°¡½ºÀú³Î | Á¦È£ : ¿Â¶óÀΰ¡½ºÀú³Î | µî·Ï¹øÈ£ : ¼­¿ï, ¾Æ53038 | µî·ÏÀÏÀÚ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | ¹ßÇàÀÎ : À̶ô¼ø | ÆíÁýÀÎ : ±èÈ£ÁØ
ÁÖ¼Ò : ¼­¿ï½Ã °­¼­±¸ ¸¶°îÁß¾Ó4·Î 18 ¸¶°î±×¶ûÆ®À©Å¸¿ö Bµ¿ 702È£| ÀüÈ­¹øÈ£ : 02-2645-9701 | ¹ßÇàÀÏ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : À̶ô¼ø
Copyright © 2004 ¾ÆÀ̰¡½ºÀú³Î. All rights reserved.