PH₃, B₂H₆, GeH₄ 등 전기 가열방식으로 분말처리

특수가스 전문 수출입기업인 ㈜엠지케이(대표 윤명덕)가 독성가스 중화처리 설비를 구축하고 본격적인 사업확장에 나섰다.

엠지케이(MGK.co.,ltd)는 최근 고온가열식 스크러버와 가열배기 시스템 등 첨단 중화설비를 갖추고 PH₃(포스핀), B₂H₆(디보란), GeH₄(저메인) 등 특수 혼합독성가스에 대한 중화처리 사업을 개시했다고 밝혔다.

처리능력은 47ℓ 실린더 기준으로 월 3,000병의 질소, 수소 기반의 혼합가스를 처리할 수 있으며 LPG 등을 사용한 가열방식이 아닌 전기 가열식으로 처리한 이후 분말형태의 잔류물만 남김으로써 환경적 영향도 충분히 고려됐다는 설명이다.

또한 중화처리 후 퍼지용 질소가 충전된 상태에서 출고함으로써 용기 내면에는 영향을 주지 않는 것으로 전해졌다.

이 회사의 윤명덕 사장은 “반도체 가스 등 독성가스의 사용빈도가 높아짐에 따라 제대로 된 중화처리시설을 요구하는 글로벌 가스업체의 요청을 반영한 결과물”이라며 “향후 품목 및 처리능력 확대를 통해 안전한 톡성가스 사용을 지향해 나갈 것”이라고 밝혔다.

이와 함께 엠지케이는 최근 한국표준인증원으로부터 환경경영시스템인 ‘ISO 14001’과 품질경영시스템인 ISO 9001’ 인증을 획득하기도 했다.

이를 통해 최근 확대되고 있는 ESG 경영을 통한 첨단 반도체 공정용 가스의 안전한 공급과 중화처리를 통해 미래 먹거리를 창출해 나간다는 계획이다.