¿ì¸®³ª¶ó´Â 50%ÀÌ»ó ·¯½Ã¾Æ¿Í ¿ìÅ©¶óÀ̳ª¿¡¼ ¼öÀÔ
¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ »ý»êȰµ¿ Ÿ°Ý ºÒ°¡ÇÇ
·¯½Ã¾Æ°¡ ¿ìÅ©¶óÀ̳ª ÀüÀï ÈļÓÀ¸·Î ½Ä·®, ¼ÒÀç µî ÀÚ¿øÀÇ ¹«±âÈ Àü·«À» È®´ëÇϰí ÀÖ´Ù.
ÀÌ¿Í °ü·Ã ÃÖ±Ù ·¯½Ã¾Æ´Â ºñ¿ìÈ£Àû ±¹°¡·Î ÁöÁ¤ÇÑ Çѱ¹, ÀϺ» µî¿¡ÀÇ ºÒȰ¼º°¡½º ¼öÃâÀ» Á¦ÇÑÇÏ´Â Á¶Ä¡¸¦ ÃëÇß´Ù. ¶§¹®¿¡ Àü ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷Àº ºÒ³ µ¥ ±â¸§À» ³¢¾ñ´Â ÃÖ¾ÇÀÇ »óȲÀ» ¸Â°Ô µÆ´Ù.
·¯½Ã¾ÆÀÇ ¼öÃâÁ¦ÇÑ ºÒȰ¼º°¡½º ǰ¸ñÀº ³×¿Â, Å©¸³Åæ, Á¦³í, ¶óµ· ¹× ¾Æ¸£°ï, Çï·ý µî 6Á¾ÀÌ´Ù. ÀÌÁß ³×¿Â(Ne), Å©¸³Åæ(Kr), Á¦³í(Xe) µî Èñ±Í°¡½º´Â ·¯½Ã¾Æ¿¡ ´ëÇÑ ÀÇÁ¸µµ°¡ °¢°¢ 5.3%, 17.5%, 31%¿¡ ´ÞÇϰí ÀÖÁö¸¸ ¹®Á¦´Â ÀüÀïÀ¸·Î ÀÎÇØ ¿ìÅ©¶óÀ̳ª »ý»ê±âÁöµµ °¡µ¿À» Áß´ÜÇÏ¸é¼ ³×¿Â 23%, Å©¸³Åæ 31%, Á¦³í 18%ÀÇ °ø±ÞÀÌ Áߴܵƴٴ °ÍÀÌ´Ù.
À̷νá Ç¥¸éÀûÀ¸·Î´Â ·¯½Ã¾Æ¿Í ¿ìÅ©¶óÀ̳ª¸¦ ÅëÇØ ¼öÀÔÇß´ø ³×¿Â 28.3%, Å©¸³Åæ 48.5%, Á¦³í 49%°¡ Àü¸éÀûÀ¸·Î °ø±Þ Áß´ÜµÈ ¼ÀÀÌ´Ù.
ÇÏÁö¸¸ ¼öÃâÁ¦ÇÑÀ¸·Î ÀϺ», ´ë¸¸ µî ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê±¹µéÀÇ Èñ±Í°¡½º È®º¸ °æÀïÀÌ °ú¿µÇ¸é¼ Áß±¹, ¹Ì±¹, µ¶ÀÏ µî ±âÁ¸ ¼öÀÔ±¹À¸·ÎºÎÅÍ ¹èÁ¤¹Þ´Â ¹°·®µµ Å©°Ô ÁÙ¾îµé ¼ö¹Û¿¡ ¾ø´Ù´Â °á·ÐÀÌ´Ù.
µû¶ó¼ ÇöÀç ¿ì¸®³ª¶ó´Â Èñ±Í°¡½º °¢ Á¦Ç°º° ¼öÀÔ°¨¼Ò·®Àº 50%¸¦ Èǽ ³Ñ¾î¼³ °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ. ´õºÒ¾î À̰°Àº ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê°øÁ¤¿¡¼ Èñ±Í°¡½ºÀÇ ºÎÁ· Çö»ó°ú ¸Â¹°·Á °¡°Ý ÆøµîÀº »ó»óÀ» ÃÊ¿ùÇÏ´Â »óȲ¿¡ Á¢¾îµé¾ú´Ù.
Áö³ 5¿ù ±âÁØÀ¸·Î 47§¤ ½Ç¸°´õ ±âÁØÀÇ Èñ±Í°¡½º´Â ³×¿Â, Å©¸³ÅæÀÌ ¾à 1¾ï¿øÀ» È£°¡Çϰí ÀÖÀ¸¸ç Á¦³íÀº 10¾ï¿øÀ» »óȸÇϰí ÀÖÁö¸¸ ÇöÀç´Â ±¸ÇÒ ¼ö°¡ ¾ø¾î ºÎ¸£´Â °Ô °ªÀ̶ó°í ÇÒ Á¤µµ·Î °¡°ÝÀº õÁ¤ºÎÁö·Î Ä¡¼Ú°í ÀÖ´Ù. À̰°Àº °¡°ÝÀº Àü³âµ¿±â´ëºñ ¾à 10¹è °¡·® »ó½ÂÇÑ »óȲÀÌ´Ù.
±×³ª¸¶ ³×¿ÂÀÇ °æ¿ì´Â ¿ì¸®³ª¶ó Æ÷½ºÄÚ¿Í Áß±¹ ö°È¸»çµé·ÎºÎÅÍ Crude GasÀÇ »ý»ê·®ÀÌ Áõ°¡Çϰí ÀÖ¾î »ó´ëÀûÀ¸·Î ¹°·®È®º¸°¡ ´Ù¼Ò Èñ¸ÁÀûÀÎ »óȲÀÌ µÉ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ³»´Ùº¸°í ÀÖ´Ù.
¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤ Áß ¼³°èÇÑ È¸·ÎÆÐÅÏÀ» ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ¿¡ µµÆ÷ÇÏ°í ºûÀ» Á¶»çÇÔÀ¸·Î½á ¸¶Ä¡ »çÁøÀ» Âï´Â °Íó·³ ȸ·ÎÆÐÅÏÀ» »õ±â´Â ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ(Lithography)¶ó°í ÇÑ´Ù. À̶§ Á¤¹ÐÇÏ°Ô È¸·Î¸¦ »õ±â±â À§ÇØ DUV(Deep Ultra Violet: ½ÉÀڿܼ±)¸¦ ÁÖ·Î »ç¿ëÇϴµ¥ ¿¢½Ã¸Ó·¹ÀÌÀú¸¦ Ȱ¿ëÇÏ´Â °úÁ¤¿¡¼ ³×¿ÂÀÌ ÇʼöÀûÀ¸·Î »ç¿ëµÈ´Ù.
Å©¸³Åæ°ú Á¦³íÀº ¹ÝµµÃ¼ ȸ·ÎÆÐÅÏÀ» Á¦¿ÜÇÑ ³ª¸ÓÁö ºÎºÐÀ» ±ð¾Æ³»´Â ½Ä°¢ °øÁ¤¿¡ ÁÖ·Î ¾²ÀδÙ.
À̵é Èñ±Í°¡½º´Â °ø±â Áß¿¡ 0.0000087% ¹Û¿¡ Æ÷ÇԵŠÀÖÁö ¾ÊÀº Á¦³í(Xe)À» ºñ·ÔÇØ 0.00182%ÀÇ ³×¿Â(Ne), 0.000114%ÀÇ Å©¸³Åæ(Kr) µîÀÌ ´ëÇ¥ÀûÀÌ´Ù.
¿ì¸®³ª¶ó´Â Áö³´ÞºÎÅÍ ³×¿Â, Á¦³í, Å©¸³Åæ µî Èñ±Í°¡½º¿¡ ´ëÇÑ ÇÒ´ç°ü¼¼(5.5%)¸¦ ¸éÁ¦ÇØ ¹ÝµµÃ¼ °¡½º ¼öÀÔ¾÷üµéÀÇ ¼öÀÔ Áö¿ø¿¡ ³ª¼°í ÀÖÁö¸¸ ¿ìÅ©¶óÀ̳ª ÀüÀï Á¾½Ä°ú ±Û·Î¹ú °æÁ¦ ¾ÈÁ¤È¸¦ ´äº¸ÇÏÁö ¾Ê´Â ÀÌ»ó ¾î·Á¿òÀº Áö¼ÓµÉ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù.
ÀüÀï°ú ½Ä·®ºÎÁ· µîÀ¸·Î ÀÚ±¹ÀÇ »óȲµµ ¿©ÀÇÄ¡ ¾ÊÀº »óȲ¿¡¼ ·¯½Ã¾ÆÀÇ ¼öÃâÁ¦ÇÑ °áÁ¤Àº ·¯½Ã¾Æ¿¡ ¹ÝµµÃ¼ °ø±ÞÀ» ±ÝÁöÇÑ ¼¹æ±¹µéÀÇ °æÁ¦Àû Á¦Àç¿¡ ´ëÇÑ º¸º¹À̶ó´Â ½Ã°¢ÀÌ´Ù.
À̹ø ·¯½Ã¾ÆÀÇ ¼öÃâ ±ÔÁ¦ ´ë»ó±¹Àº Áö³ 3¿ù ·¯½Ã¾Æ Á¤ºÎ°¡ ÁöÁ¤ÇÑ ¹Ì±¹, ¿µ±¹, È£ÁÖ, ÀϺ», EU 27°³±¹ µî°ú ¿ì¸®³ª¶ó¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ ºñ¿ìÈ£±¹ 48°³±¹ÀÌ ÇØ´çµÈ´Ù.
|