다양한 특수가스 및 불소화학제품 생산

일본 다이킨공업(주)의 한국 내 자회사인 다이킨첨단머티리얼즈코리아(주)는 지난 8월 25일 충남 당진시 송산면 소재 고순도 반도체용 특수가스공장의 준공식을 개최하고 본격적인 가동에 나섰다.

충남도와 당진시 등 관할 지자체와 주요거래처 관계자 및 지역주민 등 120여명이 참석한 이날 준공식에서 다이킨첨단머티리얼즈코리아 카네노 토모히로 사장은 “한국은 반도체분야에 있어 세계 최대의 생산능력을 갖추고 있다”며 “이번 당진 신공장 설립은 한국의 고객사의 수요에 적기 대응하기 위해 이뤄졌다”고 말했다.

회사 측에 따르면 반도체는 AI, 빅데이터, 전기차, 신재생에너지 등 디지털·그린혁명 구현을 위해 필수적인 아이템으로 대규모 데이터의 저장 및 처리·연산을 위해 고속화, 대용량화, 소비전력 저감 반도체에 대한 수요가 급증하고 있다. 이러한 고성능화에 대응하기 위해 반도체 공정의 미세화, 고단 적층, 신소재 개발이 진행되면서 불소 수지와 에칭가스 등 불소재료는 고성능 반도체 생산에 필수불가결한 요소가 되고 있다.

이에 다이킨첨단머티리얼즈코리아는 세계 최대 반도체 생산캐파를 갖추고 있는 한국 고객사의 수요에 적기 대응하기 위해 당진 공장을 설립했다. 특히 냉매로 축적한 기술을 토대로 환경 친화적이면서도 안전한 불소화학제품을 생산·판매하고 있는 다이킨첨단머티리얼즈코리아는 1만여평의 부지에 조성된 당진공장을 통해 반도체제조공정에서 사용하는 드라이에칭용 특수가스 등을 생산, 판매할 예정이다.

회사 관갸자는 “친환경적이면서도 안전한 고품질의 제품을 안정적으로 공급함은 물론 향후 당진공장에 기술센터를 설립해 최첨단 기술개발을 추구하는 고객사의 요구에 대응하는 등 차세대 반도체에 필수적인 재료를 개발해 나갈 계획”이라고 전했다.