 |
|
- UPDATE : 2025.6.27 ±Ý 16:56
|
Ȩ
> i°¡½º¿Í¿¡³ÊÁö |
ÇÁ·º½º¿¡¾îÄÚ¸®¾Æ¢ß, »ï¼ºÀüÀÚ È¼º°øÀå ¿Â»çÀÌÆ®Ç÷£Æ® °Ç¼³¹ÝµµÃ¼Á¦Á¶¿ë °í¼øµµ N2, O2, Ar, He, SiH4 µî °ø±Þ |
|
ÇÁ·º½º¿¡¾îÄÚ¸®¾Æ¢ß(´ëÇ¥ À̰ȣ, ÀÌÇÏ PKC)°¡ ÃÖ±Ù »ï¼ºÀüÀÚ¿Í È¼º°øÀåÀÇ »ê¾÷¿ë°¡½º °ø±Þ°è¾àÀ» ü°áÇÏ°í ½Å±Ô ASUÇ÷£Æ® °Ç¼³¿¡ ³ª¼±´Ù.
ÃÖ±Ù ¹Ì±¹ ÇÁ·º½º¿¡¾î´Â Çѱ¹³» ÀÚȸ»çÀÎ PKC°¡ »ï¼ºÀüÀÚ¿Í È¼º°øÀåÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¶óÀÎ ¼³ºñÁõ¼³¿¡ µû¸¥ ¹ÝµµÃ¼¿ë °í¼øµµ »ê¾÷¿ë°¡½º ¹× Ư¼ö°¡½º °ø±Þ°è¾àÀ» ü°áÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù.
À̹ø °è¾àÀ¸·Î PKC´Â Áú¼Ò(N2), »ê¼Ò(O2), ¾Æ¸£°ï(Ar) µî °í¼øµµ »ê¾÷¿ë°¡½º 3Á¾°ú Çï·ý(He), ½Ç¶õ(SiH4) µî ¹ÝµµÃ¼¿ë Ư¼ö°¡½º 2Á¾À» °ø±ÞÇÏ°Ô µÈ´Ù.
ÀÌ¿¡µû¶ó PKC´Â Çѱ¹, ¹Ì±¹, Áß±¹ µî¿¡ À§Ä¡ÇÑ ÇÁ·º½º¿¡¾î ¿£Áö´Ï¾î¸µ »ç¾÷ºÎÀÇ µµ¿òÀ» ¹Þ¾Æ ½Å±Ô ¿Â»çÀÌÆ® ASUÇ÷£Æ® 1±â¸¦ °Ç¼³ÇÒ °èȹÀÌ¸ç ½Å±ÔÇ÷£Æ®°¡ ¿Ï°øµÇ¸é PKC´Â »ï¼º ȼº°øÀå¿¡¸¸ ÃÑ 4±âÀÇ ASUÇ÷£Æ®¸¦ º¸À¯ÇÏ°Ô µÈ´Ù.
½Å±ÔÇ÷£Æ®ÀÇ Á¤È®ÇÑ Âø°ø ¹× ÁذøÀÏÁ¤Àº »ï¼ºÃøÀÇ ¼³ºñÁõ¼³ °èȹ¿¡ ¸ÂÃçÁú °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.
PKCÀÇ ÇѰü°èÀÚ´Â ¡°ÇÁ·º½º¿¡¾îÀÇ Áß´ëÇü ASUÇ÷£Æ®´Â °ø±Þ¾ÈÁ¤¼º, ½Å·Ú¼º, È¿À²¼º Ãø¸é¿¡¼ Ź¿ùÇÔÀ» ÀÔÁõ¹Þ¾Æ Ä¡¿ÇÑ ±â¼ú°³¹ß °æÀïÀÌ ÀÌ·ç¾îÁö°í ÀÖ´Â ¹ÝµµÃ¼¾÷°èÀÇ ¿ä±¸¿¡ Àû±Ø ºÎÀÀÇϰí ÀÖ´Ù¡±¸ç ¡°À̸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î »ï¼ºÀüÀڿʹ ȼº°øÀå, ±âÈï°øÀå, ÅÁÁ¤°øÀå µî¿¡ À̸£±â±îÁö Áö³ 15³â°£ À¯±âÀûÀÎ °ü°è¸¦ Áö¼ÓÇϰí ÀÖ´Ù¡±°í ¼³¸íÇß´Ù. |
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ¾ÆÀ̰¡½ºÀú³Î ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷±ÝÁö> |
|
|
|
|
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇÑ ´ñ±Û À̾߱â (0) |
|
|
|
|
 |
ȸ»ç : i°¡½ºÀú³Î | Á¦È£ : ¿Â¶óÀΰ¡½ºÀú³Î | µî·Ï¹øÈ£ : ¼¿ï, ¾Æ53038 | µî·ÏÀÏÀÚ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | ¹ßÇàÀÎ : À̶ô¼ø | ÆíÁýÀÎ : ±èÈ£ÁØ
ÁÖ¼Ò : ¼¿ï½Ã °¼±¸ ¸¶°îÁß¾Ó4·Î 18 ¸¶°î±×¶ûÆ®À©Å¸¿ö Bµ¿ 702È£| ÀüȹøÈ£ : 02-2645-9701 | ¹ßÇàÀÏ : 2020³â 5¿ù 7ÀÏ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : À̶ô¼ø
Copyright © 2004 ¾ÆÀ̰¡½ºÀú³Î. All rights reserved.
|
 |
|
|