검사생략 고압가스용기 반송기한 2년으로 연장

방호벽 설치·용기보관·안전관리자 선임 등

정부가 반도체 초강대국 달성을 위해 가스안전분야 규제 혁신에 나선다.

산업통상자원부(장관 이창양)는 최근 반도체 초강대국 달성을 위해 반도체산업에 사용되는 고압가스에 대한 안전혁신과제 11건을 선정하고 전문가 검토 등을 거쳐 합리적으로 개선해 기업부담을 완화한다고 밝혔다.

산업부는 그동안 반도체 산업을 지원하고 반도체 제조 용도의 디플루오로메탄(CH2F2, 반도체 식각용), 삼불화붕소(BF3, 반도체 도핑용) 가스 등 수입 산업가스 수급안정을 위해 ‘검사생략 고압용기의 해외 반송기한’을 6개월에서 최대 2년으로 연장하는 등 지속적으로 규제를 발굴·개선해 왔다.

특히 반도체 제조공정에 쓰이는 수소를 포함한 고압가스의 규제혁신이 필요한 이번 11개 규제는 규제 개선시 국내 반도체산업의 글로벌 경쟁력을 한층 더 높일 수 있는 과제로 반도체 관련 단체 및 기업과의 간담회·현장방문 등을 통해 도출했다.

산업부는 올해 6월부터 반도체기업 및 유관협회에 대한 의견수렴과 간담회 등을 통해 반도체 제조공정에 쓰이는 수소를 포함한 고압가스의 안전규제에 대해 다양한 개선과제를 발굴했다.

이 가운데 안전성이 확보되면서도 기업 활동을 촉진할 수 있는 고압가스 관련 반도체 생산장비 분야 3건, 저장 등 시설분야 4건 등 총 7건에 대한 과제를 전문가 검토 등을 거쳐 신속히 개선해 나갈 계획이다. 아울러 나머지 4개 과제에 대해서도 관련단체·업계와 간담회, 현장방문 및 전문가 검토 등을 통해 안전성을 확인하고 타 법령과의 연계 가능성 등을 고려해 개선방안을 모색할 예정이다.

주요 규제 및 개선 기대효과는 ▲차세대 EUV 장비의 국내도입시 걸림돌을 제거해 첨단제조설비를 선점함으로써 글로벌 경쟁력을 확보하고 ▲방호벽 설치기준 등을 완화하는 등 반도체 공장의 증설을 용이하도록 함으로써 도체공장 내 부지의 활용도를 제고토록 하는 것이다.

산업부 박일준 2차관은 “반도체 초강대국 달성을 촉진하고 지원하는 기폭제가 될 수 있도록 이번 선정된 혁신규제과제를 신속히 추진하겠다”며 “앞으로도 반도체산업 뿐만 아니라 에너지분야 안전과 관련된 타 산업에서도 안전 확보와 산업 발전의 균형을 도모하는 규제혁신과제를 지속적으로 발굴해 기업경쟁력이 강화되도록 지원할 것”이라고 밝혔다.

■ 고압가스 안전분야 주요 규제 혁신 과제

고압가스 안전분야 주요 규제 혁신과제를 살펴보면 우선 차세대 EUV장비 국내 도입 허용기준을 개선한다.

산업부에 따르면 신소재재질의 배관(슈퍼듀플렉스강)을 사용한 차세대 EUV장비가 개발 완료될 예정이지만 현재 신소재 배관에 대한 고압가스법령 내 사용규정이 없어 국내 도입이 불가한 상황이다. 이에 따라 차세대 첨단장비 선점을 위해 슈퍼듀플렉스강 등 미국기계학회(ASME)에서 인정받은 재료의 배관도 고압가스 배관사용이 가능토록 안전성을 검토 후, 가스상세기준을 개정해 국내 도입이 가능토록 개선할 예정이다.

또 고압가스 폭발시 인근에 보호시설(주택 및 학교 등) 및 인명 보호를 위한 방호벽 관련 다양한 설치기준도 허용한다.

현재 반도체공장은 바닥면이 얇은 경량화된 복층건물구조로, 깊이 묻어야 하는 기존 기초에 400mm 이상의 깊이로 묻거나, 20mm(앵커지름) 이상의 앵커볼트를 사용하는 방호벽 지주의 고정방법으로는 지주설치가 곤란하고 방호벽도 두꺼운 콘크리트재질만 설치 가능해 공장 증설에 어려움이 있는 실정이다.

이에 산업부는 가스상세기준에서 구조기술사 등이 안전성을 확인한 경우에는 접착제 성분의 화학적 물질로 방호벽과 방호벽의 지주를 고정하는 방법인 케미컬앵커 등 ▲다양한 지주설치방법을 허용하고 ▲방호벽도 기존 방호벽의 재질과 동등한 안전수준이면 강판제 등 다양한 재질의 방호벽을 허용토록 기준을 마련해 반도체 공장의 공간 활용을 증대시킬 계획이다.

이와 함께 공장내부의 용기보관(저장용 실린더캐비닛) 기준도 개선한다. 실린더캐비닛은 가스용기를 보관할 목적으로 배기 등 안전장치가 설치된 강판제의 용기 보관함을 말한다.

현행 저장용 실린더캐비닛은 공장내부에 설치 시 설치장소의 지붕을 가벼운 불연재료로만 사용해야 하므로 복층으로 공장 증설할 때 가벼운 지붕은 상층의 바닥이 돼 하중을 견디기 어려워 동 캐비닛을 공장에 설치하기 곤란한 상황이다.

이에 산업부는 전문가 검토 등을 거쳐 저장용 실린더 캐비닛에 대한 안전성을 검증 후 지붕을 가벼운 불연재료로 사용토록 하는 의무 규정을 면제하는 기준을 마련해 반도체공장의 복층 증설을 용이하도록 개선할 예정이다.

이밖에도 검사대상도 합리화한다. 저압으로 수소를 소비하는 반도체 생산장비는 검사대상에서 제외하고 분배장치부터 생산장비까지 저압수소배관은 사업자 자율검사를 실시하며, EUV 장비의 국내반입 소요기간 단축을 위한 검사절차를 개선한다.

뿐만 아니라 중장기 측면에서 고압가스 실린더캐비닛 대표설비 검사 허용기준을 마련하고 반도체산업 관련 고압가스안전관리자 선임기준을 완화한다. 아울러 반도체에 대한 형식승인이나 인증 등 안전관리 신규규정 시 고압가스법 적용대상 제외를 검토하는 등 생산시설에 대한 고압가스법 적용을 완화하고 고압가스법과 소방법에서 중복된 소화설비 관련 인허가·검사를 일원화하는 방안이 모색된다.