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[COMPANY NEWS] 효성화학, 독자 기술로 ‘중수소 D₂’ 국산화 성공반도체 웨이퍼와 광케이블 열처리 공정 등에 활용
이락순  |  rslee@igasnet.com
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승인 2023.01.09  
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▲ 효성화학 Neochem 특수가스 생산기지 옥산공장 전경

Neochem, 10톤/年 생산으로 수입대체 효과 기여

세계 2위의 NF3 생산업체인 효성화학(대표 이건종)이 국내 최초로 독자기술을 활용해 반도체 및 광케이블용 중수소(D2, Deuterium) 생산설비의 국산화에 성공했다.

최근 효성화학은 지난 20여년간 자체적으로 다져온 전기화학기술을 기반으로 연간 10톤 규모의 고순도 중수소 생산설비 구축을 완료했다고 밝혔다.

   
 

지난 2020년부터 약 2년여에 걸친 공사기간을 통해 중수(重水) 정제 후 전기 분해와 수 차례의 정제 과정을 거쳐 수소의 동위원소인 반도체 품질의 고순도 중수소를 생산하는 성능테스트와 제품양산에 돌입했다.

효성화학이 생산에 나선 중수소(D2)는 반도체 미세패턴을 적용한 회로 집적도 기술을 구현하는 과정에 발생하는 회로의 오작동과 수명 단축 문제를 해결하기 위해 반도체 웨이퍼가 받았던 물리화학적 스트레스를 제거하게 시키면서 특성을 향상하는 열처리 공정에 사용되는 가스다. 이와 더불어 광케이블의 수명 및 밝기를 개선하기 위한 열처리 가스로도 많이 사용된다.

중수소는 국가 전략물자로 분류되기 때문에 국가간 수출입이 매우 까다로운 물질로 알려져 있다. 이로 인해 우리나라는 그동안 전량 수입에 의존해 왔던 실정이다.

이번에 효성화학이 준공한 설비는 고순도 중수소를 연간 10톤 생산할 수 있으며 현재 국내 반도체 제조사를 통해 제품에 대한 품질 평가를 진행 중에 있다.

   
 

효성화학 이건종 대표이사는 “전 세계에서 NF3 2위 생산능력을 가진 효성화학이 전기화학 및 특수가스 정제 기술을 바탕으로 중수소 생산의 국산화 쾌거를 달성한 것을 매우 뜻깊게 생각한다”고 말하고 “이를 통해 효성화학의 중수소가 특수가스의 해외 의존도를 해소하고 국내 공급망 안정화에도 기여하게 됐다는데 큰 의미가 있다”고 덧붙였다.

한편 효성화학 Neochem 사업부는 NF3, 20% F2/N2, D2, HCl, Cl2 이외에 제품 다변화를 위해 신성장 동력을 지속적으로 발굴 육성하고 있다.

이를 위해 최근에는 효성화학 옥산공장에 NF3 생산플랜트 증설을 통해 생산거점을 분할해 공급 안정성을 높이는 동시에 옥산공장을 발판으로 특수가스의 제조‧정제‧분석기술을 이용해 신제품 개발을 지속적으로 추진한다는 계획이다.

 

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